北京卓立汉光仪器有限公司光机与自动化产品
23
隔振光学平台 运动控制 光机械件 光学元件
光机与自动化产品
V23版
北京卓立汉光仪器有限公司
ZOLIX INSTRUMENTS CO.,LTD.
公司简介
资质说明
光电科技引领者,世界品牌制造商。卓立汉光从事光电仪器和精密光学
机械运动控制产品、系统解决方案和应用服务,是国产光电领域率先进行自
主研发制造的企业之一。经过多年积累,公司已经拥有较为齐全的产品矩阵
以及丰富的应用经验,在对标国际领先技术的同时,基于具体应用场景的需
求进行应用创新,逐步在细分市场建立了产品的竞争优势。
2005年卓立汉光在业内率先通过ISO9001质量管理体系SGS国际认证。
2010 年通过了国家级高新技术企业评审,并一直持续通过评审至今。2016
年卓立汉光技术中心顺利通过市级技术中心评审。2019 年,卓立汉光成为
第一批国家级专精特新 “小巨人” 企业,并在此之后陆续荣获多次国家专精
特新 “小巨人” 企业高质量发展资金支持。20 多年来公司陆续获得国家技术
发明奖二等奖、中华人民共和国教育部技术进步一等奖、神农中华农业科技
奖一等奖、中国商业联合会科学技术奖特等奖项。先后取得百余项有效专利,
其中近三十项发明专利和多项国际专利。
公司以精密光学机械组件为核心的各类多功能运动、支撑及调节系统和
产品已经形成产品系列化 , 规格多元化,国内众多科研单位、激光加工设备
厂商、光纤设备厂商等都在使用我们的产品。我们坚持从设计、零件选型、
制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好全方位质量保证,就是
要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择卓立
汉光真诚的回报。
产品概览
特别说明:
本手册所载文字、图片、技术参数等信息仅作为产品功能及特性的参考说明,可能因技术迭代、生产批次差异或
版本更新等因素与实际产品存在出入。用户在操作前需以实物配置及性能参数为准。
本公司保留在不事先通知的情况下对产品规格、性能、配件或服务进行优化、调整或停用的权利。
如有问题,请与我们联系:010-56370168。
更多产品详细信息,请访问我们的网站:www.zolix.com.cn / www.shop.zolix.com.cn
光学平台 运动控制
常温压电位移台
低温压电位移台
电动滑台
控制器
手动滑台
光机械件
光学系统
笼式系统
反射/分束镜调整架
工业调整架
透镜调整架
偏振元件调整架
滤光片固定架
棱镜/圆柱体调整架
专用调整架
空间滤波产品
接杆及杆架
光学调整架附件及其他
光学元件
光学元件基础知识
激光窗口及毛玻璃
反射镜
分束镜(非偏振光)
透镜
激光扩束镜
显微物镜
棱镜
滤光片
偏振元件
激光器及其他
光学面包板
阻尼隔振平台
气浮隔振平台
主动隔振光学平台
仪器架
平台配件及应用案例
A17
A24
A34
A46
A68
A71
B2
B27
B38
B180
B204
C6
C12
C84
C122
C125
C131
C134
C138
C145
C153
C163
C182
D2
D8
D13
D33
D45
D60
D62
D69
D75
D104
D126
B
D
A
C
隔离杯
图标示意说明
三线摆 真蜂窝台面
440不锈钢
微步能力≤5µm
燕尾副导轨
Micro Step
≤5µm
Dovetail
Slide Guide
410不锈钢
气浮平台
线性滚珠导轨
灵敏度≤2µm
分厘卡
C7级螺杆
标准型
5维调节
长方体/立方体
带锁紧
气浮隔振
430不锈钢
灵敏度≤3µm
螺纹副
研磨丝杠
直线轴承
6维调节
Linear Bearing
2024铝合金
双向频率
阻尼平台
C3级螺杆
齿轮齿条
交叉滚柱导轨
分辨率0.1°
弧形交叉滚柱导轨
圆光栅
高精密
螺距0.25mm
3维调节
圆形柱状
0.25mm
Pitch
Resolution
Curved Cross
Roller Guide
Circular Grating Encoder
Rack and
Pinion
双频阻尼
304不锈钢
同步带
R型一体化导轨
灵敏度≤1µm
弧形V型滚珠导轨
C5级螺杆
精密型
螺距0.3mm
矩形片状
4维调节
0.3mm
Pitch
Curved Ball Guide
面包板
6061铝合金
固有频率
超高精密
蜗轮蜗杆
分辨率≤1µm
交叉滚柱轴环
线性滑块导轨
光栅尺
滚珠丝杠
圆形片状
螺距0.2mm
CE FCC RoHS
2维调节
0.2mm
Pitch
Linear Slide Guide
Worm and Gear
Resolution
6061
光机与自动化产品
隔振光学平台
隔振光学平台 运动控制 光机械件 光学元件
V23版
您身边的隔振专家!
产品目录
光学平台
A2 隔振光学平台综合介绍
A8 主动隔振原理及介绍
A9 拼接平台技术
A10 材料和使用说明
A12 隔振光学平台相关的名词解释
A16 隔振光学平台的分类
A17 光学面包板
A17 OTSB系列铝合金面包板
A18 NTBB系列不锈钢面包板
A19 NTBP系列不锈钢面包板
A20 NTBR系列不锈钢面包板
A21 NTBK系列蜂窝不锈钢面包板
A22 OTMP系列大理石光学平台平板
A24 阻尼隔振平台
A24 SRB系列薄型阻尼隔振光学平台
A26 SRP系列标准阻尼隔振光学平台
A28 DRB系列薄型双频阻尼隔振光学平台
A30 DRP系列标准双频阻尼隔振光学平台
A32 DRN系列精密双频阻尼隔振光学平台
A34 气浮隔振平台
A34 ZTP系列半膜片式气浮隔振光学平台
A36 NAP系列气浮隔振光学平台
A38 TPR系列气浮隔振光学平台
A40 ZDH系列高性能独立型气浮隔振支撑腿
A42 ZSR-P系列独立型气浮隔振光学平台
A44 ZDR系列独立型气浮隔振光学平台
A46 主动隔振平台
A46 ZVI-FT系列气浮主动隔振平台
A47 ZVI-ST系列钢弹簧主动隔振平台
A48 ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台
A49 ZVI-VB系列真空主动隔振平台
A51 一体式主动隔振平台
A52 Accurion i4桌面级主动隔振台
A55 Accurion Nano桌面级主动隔振台
A57 Accurion隔音罩——优质声学隔断设备
A59 lVF主动振动隔离工作站
A61 Accurion Vario主动隔振模块
A64 Accurion主动振动工作站
A67 主动独立隔振器
A70 DVIA-MO系列主动隔振光学平台
A73 仪器架
A73 OTNS系列隔振光学平台仪器支架
A74 FG覆盖式遮光帘暗室
A75 HG滑轨式遮光帘暗室
A76 平台配件及应用案例
A77 ESD 静电释放器
A78 隔振光学平台拼接案例
A79 隔振光学平台应用实例
隔
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光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
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A2Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
隔振光学平台广泛应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业
的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中,其动态力学特性的好坏直接影响试验结果的准确性和可靠性。仪器设备的微振动直接影
响精密仪器设备的测量精度。随着精密隔振要求的提升,需要不断提高隔振光学平台的振动隔离技术。
精密隔振系统设计需要考虑的环境微振动干扰是复杂的,包括 :大型建筑物本身的摆动、地面或楼层间传来的振动、电动仪器和设
备的振动、各类机械振动、声音引起的振动、外界街道交通引起的振动,甚至包括人员走动所引起的振动等,见图 1 和表 1。
振动源 频率范围
大地
20Hz以下。
地震产生的次声波频率范围大致为
10-5
~20Hz;而爆破引起的地表振动
频率比天然地震高1~2个数量级。
楼层间 5~50Hz。
大型建筑
0.1~5Hz。
具体频率同建筑物的结构、层高、材
料等很多方面相关,比如:一幢24层
的住宅楼,频率大概在0.85Hz左右。
街道
15~100Hz。
街道的振动来源是多方面的,包括各
种车辆、人员、机械设备、噪音等。
声音 20Hz以上。通常人耳能分辨的声音
振动频率在:20~20KHz
机械设备 10~200Hz
电动设备 10~540Hz
注:振动与震动的区别:
振动:周期性重复发生的在一定范围内的持续一定时
间的运动。
震动:突发或偶发的一次或多次运动。
精密的光学实验依赖于可靠的定位稳定性,工作区域内及附近的振动会造成光学部件间的相对运动,从而产生不可接受的偏移,这
些偏移会导致 :采集的图像模糊(参见图 2)、光斑偏移造成无法采集数据或数据采集不准等现象(参见图 3),所以隔振光学平台的选
择对于提升实验精度,起着至关重要的作用。
图1. 外界振动源示意图
a.无振动时 b.小幅振动时
图2. 显微镜下的图像(上组:细胞结构;下组:金属的表面结构)
c.强烈振动时
表1:各种振动源及振动频率
激光束 镜架倾斜
振动引起
平台台面弯曲
图3. 平台台面振动引起的光斑偏移
激光束 镜架倾斜
振动引起
平台台面弯曲
5µm 5µm 5µm
隔振光学平台综合介绍
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
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主动隔振光学平台
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A3
2. 当外界振动频率和系统固有频率相同时(ω/ωn=1),隔振光学平台可能发生共振,严重时会损毁设备(含隔振光学平台上安装的
设备),所以隔振光学平台的选择非常重要。
3. 隔振光学平台的振动传递率 TDp < 1(即频率比 ω/ωn > )时,才具有隔振效果,也就是说固有频率 ωn 必须小于外界振动频率
ω 的 倍时,隔振光学平台才可能起到隔振的作用。
具体分析如下 :
• ω/ωn<1时,振动传递率TDp>1,不但无法隔离外界振动,而且还一定程度上放大了外界振动,且频率比ω/ωn的值越接近1,振动传递
率TDp越大,即放大外界振动的现象越严重。
• ω/ωn=1时,即固有频率和基础振动频率相同时,振动传递率TDp达到极大,此时平台同外界振动产生共振现象,应尽量避免。
• 当1<ω/ωn< 时,振动传递率TDp>1,依旧会放大外界振动。
• 当ω/ωn= 时,振动传递率TDp为1,外界振动100%传递至平台上方,无隔振效果。
• 当ω/ωn> 时,振动传递率TDp<1逐步减小,隔振效果随之逐步增加。
上述说明,可以简化为表 2。
√2
精密隔振系统可以用图 4 所示的动力学模型来表示,其中 m 为精密隔
振系统的质量、 k 为等效刚度系数、c 为黏性阻尼系数,对于确定的隔振系统,
这三个量是常数。x 为精密隔振光学平台的振动位移(指竖直方向的位移)、
x0 为基础干扰(指外界振动)位移、fd 为作用于精密隔振系统的直接干扰、
u 为作用于隔振系统的主动控制力。在基础干扰和直接干扰的同时作用下,
隔振系统的动力学方程可以表示为式 1 :
(1)
隔振光学平台的数学模型
影响隔振光学平台隔振效果的因素很多,比如 :台面材料、结构、物理尺寸(包括长厚比等)、支架的结构和隔振材料等。要想对
隔振光学平台的隔振技术进行深入了解,并提出很好的解决方案,需要通过建立隔振光学平台的数学模型,进行计算和仿真。
隔振光学平台隔振的计算和仿真非常复杂,现在较先进的手段是利用非线性有限元分析软件(如 :ABAQUS 或 ANSYS 等)或动力
学仿真软件(如 :ADAMS 等)建立多体动力学仿真模型来进行分析。
对于被动隔振系统(无 fd 和 u),上述动力学方程可以简化为式 2 :
(2)
隔振系统的性能好坏通常可以通过振动传递率(TDp)来加以评价。振
动传递率是指通过隔振装置后传递到基础上的力的幅值与作用在振动系统上
的激振力的幅值之比。经过计算,上述被动隔振系统的振动传递率 TDp 为 :
( 3 )
式中,ω 为基础振动频率 ;ωn 为系统固有频率 ;ξ 为阻尼比 ;
考虑到阻尼比(ξ)为定值时,上式简化后可知 TDp 和 ω/ωn 的关系为 :
( 4 )
上式的函数曲线见图 5。
上述曲线很直观地表明了,隔振光学平台设计时的一些基本问题 :
1. 当外界振动频率和系统固有频率都确定并且系统的设计满足隔振要求(如 :未发生共振现象)时,阻尼比越接近于 0,系统的振
动传递率 TDp 越小,即隔振效果越好。一般来说,刚性越高的系统,阻尼比越接近于 0 ;柔性越高的系统,阻尼比越接近于 1。所以,隔
振光学平台的设计,尤其是平台支架的设计,必须具有一定的刚性。
图5.振动传递率和频率比(ω/ωn)的关系曲线
振
动
传
递
率
TDp
频率比(ω/ωn)
2
防振原理
√2
√2
√2
√2
若外界振动频率是确定的,若想大幅提升比值 ω/ωn,只能将系统的固有
频率做到很小,虽然这非常困难,但正是卓立汉光努力的方向!
表2. 频率比、振动传递率和隔振效果的关系
频率比 振动传递率 隔振效果
ω/ωn=1 TDp→∞ 引起共振,应尽量避免
ω/ωn≤ TDp≥1 无隔振效果,且有可能
放大外界振动
ω/ωn> TDp<1 有隔振效果
√2
√2
图4. 隔振系统动力学模型
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隔振对象
隔振对象的振动
地基振动
!
!̈+ #!̇ + %! = #!& + %!& + '( + )
!̈+ #!̇ + %! = #!& + %!&
*+, = !(-.)
!/(-.) = 1 + 20 . .⁄ 1 3
1 − . .⁄ 1 3 3 + 20./.1 3
*+, = 1
1 − . .⁄ 1 3
!̈+ #!̇ + %! = #!& + %!& + '( + )
!̈+ #!̇ + %! = #!& + %!&
*+, = !(-.)
!/(-.) = 1 + 20 . .⁄ 1 3
1 − . .⁄ 1 3 3 + 20./.1 3
*+, = 1
1 − . .⁄ 1 3
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*+, = !(-.)
!/(-.) = 1 + 20 . .⁄ 1 3
1 − . .⁄ 1 3 3 + 20./.1 3
*+, = 1
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1 − . .⁄ 1 3 3 + 20./.1 3
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1 − . .⁄ 1 3 3 + 20./.1 3
*+, = 1
1 − . .⁄ 1 3
隔
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名称 隔振材料类型 固有频率 隔振效果
普通阻尼(橡胶)
隔振垫 <9~30Hz 普通隔振
国标规定的阻尼隔
振垫 <7~18Hz 标准隔振
DRB系列双频阻尼
隔振系统 <7~20Hz 双频阻尼
隔振
DRP系列双频阻尼
隔振系统 <6~15Hz 双频阻尼
隔振
DRN系列双频阻尼
隔振系统 <6~12Hz 双频阻尼
隔振
表3. 卓立汉光使用的各种阻尼隔振材料
• 台面物理性能:要求台面有一定的刚性而且较轻(硬重比),这样的台面可以有效减少共振时的振幅,这一点在后面阐述
• 台面内部结构:台面的内部结构,除了负责减轻支架未能消除的外界振动外,对于降低或消除因台面上的冲击和相对运动引起的振
动,起到至关重要的作用
a.台面 b.支架 c.隔振光学平台
图6.隔振光学平台整体结构
平台支架
由于隔振材料或隔振机构通常安装在平台支架上(或其内
部),所以平台支架对隔振光学平台的隔振性能起到决定性
作用。
隔振光学平台的基本要求是稳定、可靠,并具有一定的隔
振性能。平台支架做为隔振光学平台的 “根基”,如果没有很好
的刚性、稳定性、可靠性,那么隔振性能将无从谈起。
卓立汉光的隔振光学平台(阻尼式和气浮式),全部采用
整体焊接式支架(图 7、图 8),具有刚性高、可靠性高、负载
能力强、稳定性好等优点。
隔振材料或隔振机构
隔振光学平台的隔振性能,主要依靠隔振材料或隔振机构来实现。隔振光学平台从原理上来说,主要分为 :阻尼(橡胶)隔振和气
浮隔振。
从结构上来看,隔振光学平台(图 6c)主要分为台面(图
6a)和支架(图 6b)两部分,所以隔振光学平台的隔振性
能取决于台面本身和支架的隔振性能,总体上说,通过三个
方面来实现 :
• 隔振支架:通常来说,气浮式隔振支架性能优于阻尼式隔
振支架,部分性能优异的隔振支架可以将外界振动(常见
10~200Hz)减少一至两个数量级
DRB系列支架 DRP系列支架
ZTP系列支架
图7. 阻尼平台的整体焊接支架
图8. 气浮平台的整体焊接支架
DRR系列支架
TPR系列支架
DRN
阻尼(橡胶)隔振
阻尼隔振光学平台的隔振机构主要分为三种 :普通阻尼(橡胶)
隔振垫、国标规定的阻尼隔振垫和双频阻尼隔振。卓立汉光使用的各
种阻尼隔振材料请参见表 3。
双频阻尼隔振
双频阻尼隔振从原理上说,是在精密阻尼隔振器的基础上,增加
了其他阻尼隔振材料。将两种固有频率相近但不同的阻尼隔振材料结
合在一起,可以拓展隔振频率范围、提高隔振效果、降低固有频率、
提升隔振性能。双频阻尼隔振技术,是卓立汉光通过大量的测试和实
验数据验证后提出的。双频阻尼隔振光学平台的固有频率,已经接近
早期开发的气浮平台,卓立汉光现已申请发明专利和实用新型专利。
隔振光学平台整体结构
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A5
阻尼(橡胶)隔振与负载的关系
外界振动频率不变时,阻尼(橡胶)隔振在负载情况下,会发生
形变,载荷越大,变形量也越大,此时橡胶材料的阻尼比、振动传递
率(即系统的固有频率)会发生变化,实验表明,固有频率和负载成
反比关系,即 :负载越大,固有频率越低。图 10 为两款隔振橡胶垫
固有频率和负载的实验曲线图。
图10. 固有频率和负载的反比关系
Load(Kg)
阻尼(橡胶)隔振适合于大部分实验室的使用或非复杂振动的隔
离,若外界基础振动频率在 10~200Hz,结合之前的分析,此时选择
ω/ωn > ,即隔振光学平台固有频率 ωn < 7.1~141.4Hz,才会起到
隔振效果,这也正是卓立汉光阻尼隔振材料的设计范围。
阻尼平台若想达到较好隔振效果,除了 :
• 采用整体焊接支架:刚性高、可靠性高、负载能力强,稳定性好
• 选取合适的隔振材料(或机构)
还需要综合考虑:外界振动、负载情况、橡胶垫的材质、硬度、形状、
厚度、大小等一系列因素,卓立汉光可以帮助您提供性价比较高的隔
振解决方案,欢迎来电垂询。
气浮隔振
对于气浮(或称空气弹簧)隔振系统,情况与阻尼(橡胶)隔振有所不同,气浮隔振光学平台的主要特点包括 :
• 优异的隔振性能:空气弹簧隔振器在各种类型的隔振器中,具有较高的隔振能力。优质空气弹簧的固有频率可以低至1Hz,如果配备
适当的气室,固有频率可进一步降低。
• 稳定的隔振效果:由于刚度和阻尼可以调节,优质的空气弹簧隔振器在载荷改变时,固有频率不会发生显著变化,即不受外界振动干
扰。研究表明,目前常见的气浮式隔振系统的阻尼比可变范围为0.15~0.4。
• 精确的高度控制:空气弹簧隔振器通常具有高度调整机构,可以实现隔振体系刚度中心对质心位置移动的跟踪,保持隔振光学平台的
水平,横向稳定性好。
• 承载范围大:通过调节气囊内气压可获得不同承载力。
8
JRN 橡膠式避震器
特性:
‧外殼鐵件包覆設計,安全性佳。
‧鐵件電鍍處理,耐候性佳。
‧有效隔絕機械產生之振動&結構噪音。
主要用途:
‧各種工作機械馬達、引擎、發電機。
‧變壓器。
‧車載的電子設備。
4.结构和使用:国标规定的橡胶隔振垫基本块尺寸为
85mm×85mm×20mm,结构和照片见图9。
可根据不同载荷或设计要求任意裁切组合使用。
橡胶垫可单层或多层使用。需要多层叠合使用时,层间须用钢板相
隔。多层使用时,其载荷仍为单层载荷量但固有频率可降低,可适当
提升隔振效果。
图9. 国标规定的橡胶隔振垫基本块
5.运输、贮存:橡胶垫产品在贮运过程中应避免阳光直射、雨雪浸淋、锐器划伤,避免与酸、碱、油及各种有机溶剂接触。产品的贮存
地点应距热源1m以上,环境温度应在15℃~40℃。
√2
阻尼隔振垫
根据中华人民共和国国家标准 GB/T 20029-2005《仪器、设备用橡胶隔振垫》中的说明和要求 :
1.材料:制作隔振垫的胶料应以天然橡胶或合成橡胶为选用胶种,不应选用再生胶。天然橡胶在物理机械的综合性能方面较优越,而合
成橡胶则在某些特殊性能,如耐油、耐老化、耐酸碱、耐臭氧、耐高温等方面较突出。
2.硬度:按橡胶硬度(邵尔A)分:40度、60度和80度三种。不同邵氏硬度的隔振垫,在相同荷载条件下,其静态压缩量不同。在实际
使用时,可根据载荷和设计要求,选择硬度不同的隔振垫。
3.阻尼比:橡胶隔振垫的阻尼比(ξ)应在0.05~0.15的范围内。阻尼比过大或过小的材料,不适合作为隔振垫使用。刚性越高的材料,
其阻尼比越小,如:钢的阻尼比一般为0.0001~0.0006,而被大家诟病的(国内)汽车上常用的沥青阻尼片的阻尼比大致为0.27~0.44,
虽有一定的隔振效果,但我们仍强烈建议相关厂家将其换为环保的高分子树脂材料或橡胶材料。
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表5. 卓立汉光使用的各种台面
台面
隔振光学平台的台
面通常采用 :面板 + 内
部支撑结构 + 底板的三
层夹心式结构,面板和
底板的材料、加工精度、
厚度等情况各个厂家均
有所不同。卓立汉光隔
振光学平台使用的各种
台面,请看表 5。
三线摆结构
单摆结构
层流阻尼
图12.气浮隔振光学平台振动传递率曲线图
其中气浮平台的固有频率、振动传递率的曲线图可参考图 12。
对于隔振要求较高的领域,气浮式结构支架无疑是一个较好的
解决方案,但空气弹簧的选用、气室的结构、大小、布局、气动元
件的灵敏度和响应速度等诸多因素,都会影响隔振光学平台的隔振
效果。
台面系列 NTBB系列台面 NTBP系列台面 NTBR系列台面 NTBK系列
照片
结构 三层夹心式蜂窝结构 三层夹心式蜂窝结
构(带隔离杯)
工艺 焊接工艺 胶粘工艺
台面材料 SUS430高导磁不锈钢
侧面材料及颜色 灰色铝塑板 黑色铝塑板 蓝色PU皮革 黑色PU皮革
• 采用极低摩擦力的三线摆系统进行水平方向的振动隔离;
• 三线摆的自然频率非常低,通常在1Hz~2Hz之间,也取决于摆线的长度;
• 三线摆系统通过挠曲运动,对运动没有摩擦阻力,可以隔离非常低振幅的机械运动。
• 单摆系统在垂直方向提供振动隔离,在水平方向通过机械过滤系统实现水平隔离;
• 单摆系统通过引入各种型式类旋转机构或水平机械机构来隔离水平振动,结构简单,
效果显著,但机构表面具有机械缺陷或表面粗糙时,会引入摩擦噪声,会限制高精度
系统水平方向振动的隔离。
• 连接气室之间的阻尼方式为层流阻尼系统(NAP、TPR系列);
• 层流阻尼系统的设计不是单小孔,而是包含着数千个小孔,多小孔金属制成;
• 层流阻尼系统可提高阻尼效率,这些小孔有助于在更大范围的工作条件下保持层流,
以提高阻尼效率;
• 层流阻尼系统可提高整体系统响应性;
Transmissibility
Frequency (Hz)
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
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主动隔振光学平台
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A7
气浮平台的调整
对于气浮式平台,可把其简化为弹簧振子结构,由弹簧振子的回复力表达式 :
F=-kx 可知,当外界振动源或者负载发生变化时,为了保持较好的隔振效果,通常可
以通过两个办法改善 :
• 改变空气压力
1. 卓立汉光常规的台面内部为“井字形”支撑结构(图13a),采
用焊接工艺,强度高、刚性好。产品型号K后缀及国外品牌的
台面内部采用真蜂窝(带隔离杯)支撑结构(图13b)。
2. 台面的板材并不是越厚越重越好。在保持一定刚性的前提
下,隔振光学平台台面的上下板材较轻时,可以降低共振时
的振幅,对于气浮隔振光学平台,还可以显著缩短振动恢复
时间。
3. 隔振光学平台的台面设计,需要遵循一定的长厚比,一般取
10:1左右,原则上不建议低于7:1或高于15:1。
主动式隔振
我们上面讨论的阻尼式隔振光学平台和气浮式隔振光学平
台,均是不考虑 fd(作用于精密隔振系统的直接干扰)和 u(作
用于隔振系统的主动控制力)的情况(见式 2 及图 4),这种隔
振系统我们称为被动隔振系统。 图15.主动隔振光学平台
当存在外力干扰 fd 时,我们通常需要提供反向的主动控制力,以便让整套系统保持隔振状态。若 fd 频繁变化,则需要有较高灵敏度
的传感器 , 以及精密型驱动装置(通常为压电式或磁致式), 提供反方向的力或位移,这就是主动隔振系统的工作原理,产品照片见图
15。
目前国内外较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定
值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行
闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振
光学平台中。
卓立汉光具有多种主动隔振光学平台的解决方案,如果您需要主动式隔振光学平台,请您联系我们。
改变空气压力,相当于改变了空气弹簧的弹性系数 k,但工作气压可调整的范围
较小(一般为 3~7kgf/cm²),而且由于采用垂直增强隔离气室结构,空气压力的改变
对于负载能力和隔振效果而言,并不是线性变化的,可能需要多次尝试,这在调整时
需要注意。
• 改变空气弹簧的行程
当空气弹簧的弹性系数 k 变化不大时,对弹力起决定性作用的,是空气弹簧的行程。
但上面提到过,空气弹簧的行程较短,当外界振动源或负载频繁变化时,就需要有一
个可进行高度调整的机构(参照图 14),来使空气弹簧维持在一定的伸缩量,以维持
较好的隔振效果。
图14. 气浮平台的高度调整机构
b.真蜂窝结构(带隔离杯)
图13. 隔振光学平台台面内部支撑结构
面板
a. 井字形支撑结构
隔离杯
真蜂窝结构
虽然各种隔振光学平台台面表面上看起来区别不大,但有几个需要注意的地方 :
隔
振
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主动隔振原理及介绍
主动隔振的总体介绍
主动隔振平台技术详解
主动隔振(Active Vibration Isolation, AVI)平台是一种通过实时传感、控制算法和作动器系统主动抵消外部振动的精密设备。相比
被动隔振(如橡胶垫、空气弹簧),它能够动态调整输出力,适应复杂振动环境,尤其擅长抑制低频(<5Hz)和微幅振动(纳米级)。以
下从原理、系统组成、关键技术、应用及发展趋势等方面深入解析。
1.主动隔振的基本原理
1.1 振动抵消机制
主动隔振的核心是 “检测-计算-抵消”闭环控制:
• 振动检测:传感器(如加速度计、地震仪)实时测量基础或平台
的振动信号
• 控制算法处理:控制器根据输入信号计算需施加的反向力 ,通常
要求:
• 幅值匹配:与干扰振动幅度相同。
• 相位相反:相位差180°(即“反振动”)。
• 作动器执行:电磁、压电或气动作动器生成反向力,抵消振动。
1.2 与被动隔振的本质区别
特性 主动隔振 被动隔振
控制方式 闭环动态调节
固定物理结构
(如弹簧、气
浮隔振腿)
低频效果 可抑制0.1Hz~2Hz振动 仅有效>2Hz
适应性 自动适应环境变化 无法动态调整
成本 较高(需传感器、控制器等) 较低
2. 系统组成与关键技术
2.1 传感器系统
• 加速度计:测量高频振动(如MEMS加速度计)。
• 地震仪/地震检波器:检测超低频振动(如0.1Hz地脉动)。
• 激光干涉仪:纳米级位移测量(用于极高精度场景)。
2.2 控制器与算法
• 经典控制算法:
• PID控制:简单易实现,但对非线性振动适应性差。
• 自适应滤波(FxLMS):适用于周期性振动(如电机振动)。
• 现代智能算法:模型预测控制(MPC):优化多自由度耦合问题。
• 神经网络控制:学习复杂振动模式,提高鲁棒性。
2.3 作动器类型
音圈电机 电磁驱动(类似扬声器) 无摩擦、高精度 半导体光刻机
3. 核心性能指标
• 隔振带宽:有效抑制的振动频率范围(如0.1Hz~1kHz)。
• 衰减比:振动能量降低程度(如-40dB表示振幅降至1/100)。
• 稳定性:长时间工作时的漂移量(如<1nm/min)。
• 承载能力:最大负载(从几kg到数吨不等)。
4.典型应用场景
4.1 科学研究
• 引力波探测(LIGO):需隔离地脉动(0.1Hz~10Hz),确保干涉仪稳定性。
• 冷冻电镜(Cryo-EM):抑制环境振动,提高成像分辨率(<0.1Å)。
• 光学实验:激光干涉仪、量子光学实验需亚纳米级稳定性。
4.2 工业制造
• 半导体光刻(EUV):晶圆台振动控制(<1nm误差)。
• 精密加工:超精密机床(如金刚石车削)防振。
• 航天测试:卫星载荷地面微振动模拟与隔离。
4.3 医疗与生物
• 电子显微镜:生物样本成像时防颤振。
• 手术机器人:减少机械臂振动,提高操作精度。
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A9
拼接平台技术
拼接平台技术
在一些光学、精密机械等需要振动隔离的环境中,往往需要一些非常规外形尺寸或者超大尺寸的隔振光学平台,限于运输、安装等
过程中存在的困难以及一些复杂异形的加工难度,往往很难一蹴而就,拼接技术应运而生。
拼接方式
拼接式隔振光学平台的本质还是隔振光学平台,
是标准的平台按照使用者的需求连接起来,达到实
际的使用效果,采用拼接的方式,是实现这一目的
的方法。
通过拼接技术,卓立汉光成功实现了更长、更
宽的 “一” 字型或 “L” 型或 “U” 型等数十种组合拼接,
满足了客户不同场合的应用。如 :“一” 字型在平行
光管检测中的应用,“U” 型地月通信接收模拟装置等。
拼接细节
拼接平台的双重连接方式主要由两张厚钢板组
成,两张钢板均安装在光学台面侧面,焊接在台面
顶板与底板上。一张钢板上有一系列的螺纹孔,另
一张钢板上有与之相匹配的连接螺栓。并且,一张
钢板上有一对精密销孔,另一张钢板上有一对精密
销,两个精密销起到定位作用。两张光学台面相互
刚性连接成一个整体时,可以像单张光学台面一样
进行使用或移动。
拼接平台平面度的检验
平台完成拼接以后,拼接之处的平面度是检验拼
接是否合格的重要指标。
检验工具 :大理石量块 / 刀口尺。
图16.拼接方式
图17.拼接细节
图18. 拼接平台平面度的检验
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材料和使用说明
卓立汉光隔振光学平台(含光学面包板)所使用的材料,主要包括铝合金、铁磁不锈钢等。根据中华人民共和国国家标准 GB
20878-2007《不锈钢牌号及化学成分》、GB/T 3190-2008《铝合金化学成分》以及其它行业标准中的说明,对卓立汉光隔振光学平台
使用的主体材料介绍如下 :
铝合金面包板材料:
• 牌号:新牌号为2A12,对应老牌号为LY12,对应国外牌号为:
2024
• 综述:该合金是一种高强度硬铝,可进行热处理强化,在退火
和新淬火状态下塑性中等;该合金在淬火和冷作硬化后其可切
削性能尚好,退火后可切削性低。 LY12为铝﹣铜﹣镁系中的典型
硬铝合金,其成份比较合理,综合性能较好
• 特点:强度较高,有一定的耐热性,可用作150℃以下的工作零
件。热状态、退火和新淬火状态下成形性能都比较好,热处理
强化效果显著,但热处理工艺要求严格。抗蚀性不高,常采用
阳极氧化处理与涂漆方法或表面加包铝层以提高其抗腐蚀能力
• 应用:广泛用于飞机结构、铆钉、卡车轮毂、螺旋桨元件及其
它结构件
不锈钢:
以不锈、耐腐性为主要特性,且铬含量至少为 10.5%,碳含
量最大不超过 1.2% 的钢。按照组织状态不锈钢一般分为:马氏体、
铁素体、奥氏体、奥氏体 - 铁素体(双相)不锈钢及沉淀硬化不
锈钢等。
• 马氏体不锈钢:基体为马氏体组织,有磁性,通过热处理可调
整其力学性能的不锈钢
• 铁素体不锈钢:基体为体心立方晶体结构的铁素体组织(α
相)为主,有磁性,一般不能通过热处理硬化,但冷加工可使
其轻微强化的不锈钢
• 奥氏体不锈钢:基体以面心立方晶体结构的奥氏体组织(γ
相)为主,无磁性,主要通过冷加工使其强化(并可能导致一
定的磁性)的不锈钢
410铁磁不锈钢:
• 牌号:SUS410(日本牌号),对应中国新牌号为12Cr13,
中国老牌号为1Cr13;美国牌号为410(ASTM)或称S41000
(UNS);欧洲牌号为X12Cr13。
• 综述:410为马氏体不锈钢,含碳较高,故具有较高的强度、硬
度和耐磨性,但耐蚀性一般。
• 特点:具有良好的机械加工性,要求在淬火、回火处理后使
用。
• 应用:主要用于力学性能要求较高、耐蚀性能要求一般的一些
零件上,如弹簧、汽轮机叶片、水压机阀等。
304不锈钢(无磁):
• 牌号:SUS304(日本牌号),对应中国新牌号
06Cr19Ni10,中国老牌号0Cr18Ni9;美国牌号S30400或
304;欧洲牌号X5CrNi18。
• 综述:304为奥氏体不锈钢,由于铬、镍含量较高,所以具
有优良的不锈耐腐蚀性能和较好的抗晶间腐蚀性能。
• 特点:304不锈钢具有良好的耐蚀性、耐热性、低温强度和
机械特性,具有良好的加工性能和可焊性。
• 应用:是应用较为广泛的一种铬-镍不锈钢,适合用于食品
的加工、储存和运输。也用于板式换热器、波纹管、家庭用
品、建材、化学、食品工业等。304不锈钢为国家认可的食品
级不锈钢。但由于304材料无磁性、不导磁,通常不做隔振光
学平台用。
316不锈钢(无磁):
• 牌号:SUS316(日本牌号),对应中国新牌号
06Cr17Ni12Mo2,中国老牌号0Cr17Ni12Mo2;美国牌号
ASTM316。
• 综述:316为含钼的奥氏体不锈钢,由于含碳量低且含有
2%-3%的钼,提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸、
碱、盐类的耐腐蚀性能。
• 特点:316不锈钢具有优异的耐腐蚀性、高温强度、机械性
能、加工性能以及良好的焊接性能等特点。
• 应用:316不锈钢因其优异的耐腐蚀性、高温强度、机械性
能、加工性能以及良好的焊接性能等特点,被广泛应用于多
种行业和领域。如海洋工程、化工行业、医疗器械、食品加
工、高温环境等。
430铁磁不锈钢:
• 牌号:SUS430(日本牌号),对应中国新牌号10Cr17,中
国老牌号1Cr17;美国牌号S43000;欧洲牌号X6Cr17。
• 综述:430为铁素体不锈钢,由于含铬量较高,耐腐蚀性能
与抗氧化性能均比较好,但机械性能与工艺性能较差。
• 特点:导热性能比奥氏体好,热膨胀系数比奥氏体小,耐热
疲劳,添加稳定化元素钛,焊缝部位机械性能好。这类钢能
抵抗大气、低浓度硝酸及盐水溶液的腐蚀,并具有高温抗氧
化性能好、热膨胀系数小等特点。
• 应用:430不锈钢多用于受力不大的耐酸结构及作抗氧化钢
使用,或用于硝酸及食品工厂设备,也可制作在高温下工作
的零件,如燃气轮机零件等。
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A11
不锈钢耐腐蚀性的特别说明:
• 不锈钢不代表不会生锈,不锈钢是有可能被腐蚀(生锈)的
合金钢
• 隔振光学平台的选材需考虑多方面的因素,耐腐蚀性是重要
特性,但不是唯一特性
• 通常来说,不锈钢的耐腐蚀性:奥氏体优于铁素体,铁素体
优于马氏体,但由于机械加工、热处理、表面处理工艺的差
异,也有可能表现出不同的情况
• 不锈钢被腐蚀(生锈)的原因可能包括:
■ 机械加工:产品磨削、抛光时,因砂布、砂纸或砂轮中含有Fe的成
分,会导致表面出现锈斑
■ 环境:在高温、高湿的环境中(比如在受潮的包装箱中长期放置),
容易产生腐蚀或生锈的情况
■ 氯离子:氯离子广泛存在,比如食盐/汗迹/海水/海风/土壤等等。不锈
钢在氯离子存在下的环境中,腐蚀很快,甚至超过普通的低碳钢
■ 未经固溶处理:合金元素没有溶入基体,致使基体组织合金含量低,
抗蚀性能差
■ 天生的晶间腐蚀:碳化物的析出可能导致不锈钢在某些环境中产生晶
间腐蚀(如:焊接侵蚀)
卓立汉光对产品的防锈处理:
卓立汉光生产的产品会进行一定程度的防锈处理,如 :铝合金
氧化发黑或采用不锈钢材质等。我们可以承诺 :在产品检验合格入
库时,是无锈的状态。但由于材料被腐蚀的原因很多以及运输、贮
存、环境变化等情况,我们无法保证产品(长期)使用过程中不会
发生锈蚀现象。
我们为了避免部分产品(如铁磁不锈钢平台、部分不锈钢接杆
以及部分产品的接触面、承顶面等)在运输、贮存过程中的生锈问题,
可能会在其表面涂抹防锈油脂,如果防锈油脂影响您的使用,请您
擦除后使用产品。可能给您带来的不便,敬请谅解!
如果在产品质保期内,您发现我们的产品有生锈情况,请您及
时联系我们。我们保留对原材料(或配件)供应商、物流公司或应
当对材料生锈负责单位的追诉权利。质保期外的产品若发生生锈情
况,也可联系我们,或参照下列办法处理。
• 不锈钢产品除锈方法:
■ 用除锈剂或除锈液除锈,干燥后,均匀涂抹不锈钢钝化膏(或防锈油)
■ 用砂纸(建议800目或称W10以上金相砂纸)打磨除锈后,抹防锈油
■ 用无砂百洁布打磨除锈,或用布抛光轮抛光除锈
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固有频率(Natural Frequency):
平台振动的周期或频率与初始(或外界)条件无关,而只与系统的固有特性有关,称为隔振光学平台的固有频率或者固有周期。通
常来说,固有频率越低,系统的隔振性能就越强。
外界振动同物体的固有频率相同时,通常会引起共振,往往不是好事,甚至会产生严重后果,比如:正常人体的固有频率为 7.5Hz 左右,
其中各部分又有自己的固有频率,如内脏为 4~6Hz,头部为 8~12Hz 等,正是由于这个原因,次声波(10-5
~20Hz)对人体有很大的破坏。
固有频率还分为水平方向和竖直方向,通常来说竖直方向的固有频率对整体隔振性能的影响,起到决定性作用,但在高精密的实验中,
水平方向的固有频率也是不容忽视的,详情参见三线摆气浮隔振光学平台 TPR 系列的相关说明。
振动恢复时间(Damping Settling Time):
也叫衰减周期,是指 :某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的最短时间。若把隔振光学平台简化为弹簧振子,由弹簧振子的
回复力表达式 :
计算可知,弹簧振子的周期公式为 :
从上式分析可知 :若要缩短隔振光学平台的振动恢复时间,通常有两个办法 :
• 增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振光学平台,可以换用材质较硬的阻尼材料;对于充气平台,可以适度增加空气压力
• 控制隔振光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下,台面质量越轻,振动恢复时间越短,使用效果就越好。卓立汉光的隔振光学平
台,采用优质铁磁不锈钢,上台面钢板厚度为4~6mm,在确保系统刚性的前提下,整体重量适中,可充分发挥出平台优秀的隔振性能
平面度(Surface Flatness):
隔振光学平台的平面度,通常是指单位面积内,被测实际表面相对其理想平面的变动量。通常国外隔振光学平台的平面度指标为 :
±0.1mm/600mm×600mm,卓立汉光的隔振光学平台,通过精密磨削工艺,将平面度指标提高到 0.02~0.05mm/600mm×600mm。
但严格意义上来说,隔振光学平台平面度,对于隔振性能,没有任何影响,甚至若为了追求高平面度,往往会牺牲掉隔振光学平台
的隔振性能,原因如下 :
振动(Vibration):
振动是指在基准位置上产生的机械式摇动,也就是说,构造物或地板等受动态外力之后,随着时间推移,开始从运动平衡位置产生
重复运动的现象。
振动的分类:
根据一定时间内出现的次数不同,振动分为周期振动和非周期振动。周期振动一般出现在旋转的机器上,可通过振幅谱测量。除此
之外的所有振动则属于非周期振动,该类振动可通过振幅谱密度来测量。
隔振光学平台相关的名词解释
F = −kx
T = 2π√??
??
F = −kx
T = 2π√??
??
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对象
地基振动
直接干扰 声音干扰
振动源(Vibration Source):
振动的来源大体上有三种 :
1)地基振动 :引发安装台面的地板摇动的所有因素,比如步行、车辆的行驶、施
以建筑物外墙上的风压、空调设备等。
2)声音干扰 :由外部噪音等直接给产品带来影响的因素。
3)直接施加给隔振对象的干扰 :在隔振对象安放的平台上直接施力,也就是说,
其指的是既是由机器连接的振动源,又是因地基振动通过支撑传达到平台上的外部力量,
因与平台之上的设备、装备相连接的线、管而产生的振动都属于该类振动。
• 我们知道,隔振光学平台台面,若为达到高平面度,通常需要反复磨削,在加工过程中,多次磨削容易使材料产生形变,为了减少形
变,通常要加厚台面,但我们通过振动恢复时间的说明已经知道,台面加厚质量增加,平台的振动恢复时间往往成倍(甚至几倍)增
加,在很多精密光学实验中,这是不可接受的;
图19.振动源
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A13
• 隔振光学平台的磨削是有极限的,这个加工的极限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,换算成平方米大约为:±0.03mm/m2
,
但这个平面度,同大理石平台的平面度相差甚远。所以若您需要高平面度的台面,强烈建议您选购大理石平台;
• 对于平台上的光学元件来说,平面度引起的高度差,通常可以忽略不计,若确有必要考虑高度差,则完全可以通过卓立汉光精密调整
的滑台来实现。
综上所述,隔振光学平台的平面度,同隔振光学平台的隔振性能不相关,只能做为隔振光学平台的一个辅助指标,供参考。
振幅(Amplitude):
振动物体离开平衡位置的最大距离叫振动的振幅。
振幅在数值上等于最大位移的大小。对于隔振光学平台系统,台面受外力作用时,离开平衡位置的最大距离,同隔振光学平台系统
的结构、受力大小、受力的位置、瞬时加速度、速度、持续时间、台面的刚性、隔振系统的阻尼比等诸多因素有着非常复杂的非线性函
数关系,如果标称振幅的具体指标,需要注明上述特定的实验条件,否则振幅的指标,变得没有意义。对于阻尼隔振的隔振光学平台,
振幅通常在微米量级,而气浮式隔振光学平台,振幅通常为亚微米量级。卓立汉光及国外厂商的隔振光学平台并未标称隔振光学平台振
幅的指标。
表面粗糙度(Surface Roughness):
有部分厂家,在隔振光学平台的指标中,标称表面粗糙度的概念,往往存在一些误导。国家标准 GB/T3505-2000 中规定了评定表
面粗糙度的各种参数,其中常用的是轮廓算术平均偏差 Ra。轮廓算术平均偏差 Ra 是指在取样长度内,沿测量方向(z 方向)的轮廓线
上的点与基准线之间距离绝对值的算术平均值。
若只标称 Ra 的数值,但并未公布取样长度,这样的数值标称变得毫无意义,而且有误导消费者的可能。比如说,标称表面粗糙度为:
0.5~0.8µm,但若取样长度分别为 10mm、1mm 和 0.1mm,实际上表面粗糙度的差别可达百倍!
根据 GB1031 的推荐值 :取样长度若取 0.25mm 时,精密及超精密加工表面的表面粗糙度 Ra > 0.02~0.1µm ;当取样长度取 0.8mm
时,普通精加工表面 Ra > 0.1~2µm。
根据上述说明,取样长度为 0.8mm,表面粗糙度为 0.5~0.8µm 时,表面加工精度属于一般水平。卓立汉光的隔振光学平台,表面粗
糙度实测指标均符合 GB1031 中推荐标准。
另外,表面粗糙度通常是评定(小型)零件表面质量的指标,属于微观几何形状误差。加工表面的粗糙度是加工过程中多种因素(机
床刀具工件系统、加工方法、切削用量、冷却润滑液)共同作用的结果。这些因素的作用过程相当复杂,而且是不断变化的。所以用不
同加工方法或在同样加工方法、同样加工条件下加工出来的同一批零件,不同表面不同部位其粗糙度值也不完全相同。而且同上面介绍
的平面度概念一样,它同隔振光学平台的隔振效果没有关系,卓立汉光及国外厂商的隔振光学平台并未标称表面粗糙度的指标。
挠度(Flexibility):
挠度是指结构构件的轴线或中面由于弯曲引起垂直于轴线或中面方向的线位移。对于细长物体或薄物体,挠度是在受力后弯曲变形
程度的度量。细长物体(如梁或柱)的挠度是指在变形时其轴线上各点在该点处轴线法平面内的位移量。薄板或薄壳的挠度是指中面上
各点在该点处中面法线上的位移量。通俗地讲,挠度就是构件的竖向变形。
挠度系数同刚性系数、抗拉强度、杨氏弹性模量等类似,是标称材料特性的一个常数,对于隔振光学平台而言,其它因素相同只有
厚度不同的情况下,钢板越厚,挠度越小。卓立汉光的隔振光学平台台面为三层夹心结构,上台面厚度 4~6mm,采用铁磁不锈钢材质时,
最大动挠度系数(Maximum Dynamic Deflection Coefficient)一般小于 2~4×10-3
。
最大相对位移(Maximum Relative Motion Value):
隔振光学平台中提到的最大相对位移有别于精密滑台中的相关概念,通常隔振光学平台的最大相对位移指标,是指在特定的测试条
件和环境中,台面本身的变形量。比如在一个隔离了外界振动的环境中,放置负载和空载情况下,通过平面度检测仪测量台面的变形。
台面的尺寸,通常取 300mm×300mm,负载安置在此面积的中心位置,负载也有一定的要求(比如取 114 公斤)。
隔振光学平台的最大相对位移值,主要同平台的结构和材料刚性相关,在同样测试条件,且隔振光学平台的结构和材料相近的情况下,
最大相对位移的值相差不大。卓立汉光的隔振光学平台台面,采用三层夹心结构,上台面厚度 4~6mm,采用铁磁不锈钢材质,此时测
试的最大相对位移,在 10-7
mm 量级,同国外同类产品指标相近。
隔
振
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振动标准:
一般来说,为了测量振动信号而使用加速度传感器时,可确认随着时间推移而变化的波动振幅,但这种振动信号中包含着众多的频
率范围,因此很难作具体区分。
为了作出区分,人们进行了很多的研究,并且发现,根据频率的不同,设备所作出的位移响应虽然不同,然而速度响应几乎是相同的。
因此,为了规定各种活动以及对于设备所允许的振动级标准,通常使用 1/3 倍频带速度谱。这一标准曲线的优点是能够表示用速度的有
效值来表达出振动,而非用位移或加速度来表达,以及如果设备种类相同,性能开始受影响的速度值也基本相似。
重复定位精度(Repeatability):
隔振光学平台中的重复定位精度同精密滑台中概念不同,隔振光学平台的重复定位精度,是指在空载和在一定条件下加上负载并去
除负载,隔振光学平台最终稳定后的高度差。这个指标同负载的大小、加载的位置、加载时的速度、加速度、卸载时的速度、加速度等
等指标有很大的关系,对于充气式平台,还有一个重要前提,就是加载前后,气囊中空气的压力、温度和质量不发生变化。卓立汉光的
隔振光学平台,在上述各种条件符合特定要求时,测试出阻尼式平台的重复定位精度,为微米量级,而气浮式平台的重复定位精度一般
为亚毫米量级。
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1 10 100
Amplitude
Frequency(Hz)
Workshop(ISO)
Office(ISO)
Residential Day(ISO)
Operating Theatre(ISO)
VC-A
VC-B
VC-C
VC-D
VC-E
VC-F
VC-G
800 !/\"
400 !/\"
200 !/\"
100 !/\"
50 !/\"
25 !/\"
12.5 !/\"
6.25 !/\"
3.12 !/\"
1.56 !/\"
0.78 !/\"
#$/%
通用振动准则:
1/3 倍频带速度谱图表:
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主动隔振光学平台
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地 板
平 台
载 荷 传感器
反馈
前反馈
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地 板
平 台
载 荷
重心与台面的稳定度
如放置设备的平台狭窄,或设备本身的重心过高,会导致台面的稳定性出现问题。
气浮隔振系统的旋转中心位于两个距离最窄的隔振支腿之间。大部分情况下,重
心比隔振机构高时会出现荷载问题,从而导致倾斜,倾斜越严重,隔振系统的刚性使
其产生反弹力,会出现反复性地左右摇动的现象。
越是刚性高的隔振系统,稳定度越好,但隔振性能可能会较差 ;相反,刚性低的
隔振系统虽稳定度较差,但隔振性能较好。因此,选择隔振系统时,需要在稳定度——
隔振性能之间作出合适的取舍。
解决方案
1)优化隔振系统结构,以此降低负载重心 ;
2)使两隔振支腿间距变宽 ;
被动隔振光学平台
被动隔振光学平台一般由质量 - 弹簧 - 阻尼系统组成,主要使用线圈弹簧、隔振
橡胶垫或空气弹簧来隔离地基振动,或是隔离振动源使其振动不至于传递到地基。该
系统的优点为简单的构成即可获得最大的隔振效果,但其缺点为在低频段的共振,需
要很长的稳定时间。
主动隔振光学平台
被动隔振光学平台在低频段难以隔离振动,为改善其隔振性能,主动隔振光学平
台安装振动传感器和执行器,以此有效控制振动。
主动隔振光学平台上台面安装振动传感器,测量上台面振动,由反馈控制主动控
制力消除振动,同时主动隔振光学平台可以预测地板的振动,由前反馈控制主动控制
力消除地板的振动。使用这一控制系统,不仅能够大幅改善被动隔振光学平台的特性,
还能有效改善低频段隔振性能,并且不会出现共振。
图20.重心与台面的稳定度
图21.被动隔振光学平台
图22.主动隔振光学平台
隔振光学平台的检验说明
卓立汉光具有检测隔振光学平台的设备和能力,主要设备包括 :刀口尺、平面度检测仪、振动频率检测仪等,参见图 23。
图23. 卓立汉光隔振光学平台检测设备
隔振光学平台的检验,对于检验设备和检验环境的要求较高,我们不提供出货以后的精度检验服务。详情请联系相关(销售)人员
或参照本手册中电动产品综合介绍部分的检验说明。
近年来,卓立汉光一直关注并努力改善隔振光学平台的动力学性能,并致力于隔振光学平台隔振性能的研究。卓立汉光研发、生产、
销售的隔振光学平台是通过技术改进,不断完善,并经过包括科研单位及很多工业企业的试验、演示,创新开发出来的高科技产品。
此外,我们还代理众多国外知名隔振光学平台厂商的产品,包括 :韩国大一(DAEIL SYSTEM)、日本西格玛( SIGMA KOKI)等。
我们将秉承 “客户至上,质量优先” 的质量方针,贯彻 “研发创新、快速反应、优质服务” 的经营理念,发挥 “高新技术企业” 的优势,
走技术型、专业化道路,为隔振光学平台市场,带来更多、更好、更新的产品。
振动频率检测仪 平面度检测仪
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铝合金面包板
铁磁不锈钢面包板
阻尼隔振光学平台
半膜片式
气浮隔振光学平台
实心铝合金面包板
光
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台
无磁,亚光黑色
厚度13mm
特点
SUS430不锈钢
厚度50~200mm
瞬时提供相反相位的振动
实现主动隔振
OTSB系列
NTBB系列
对应产品
薄型面包板
(台面)
面包板
DRB系列 薄型台面
阻尼隔振垫+精密阻尼减振器
SUS430,整体焊接支架
台面厚度50~200mm
带脚轮
DRP系列 标准型台面
国标阻尼隔振垫+精密阻尼减振器
SUS430,整体焊接支架
台面厚度100~300mm
带脚轮
简述
DRN系列 标准型台面
精密阻尼减振器+精密阻尼减振器
SUS430,整体焊接支架
台面厚度100~300mm
带脚轮
ZTP系列 标准型台面
半膜片式空气弹簧
SUS430台面
半膜片式空气弹簧支架
台面厚度100~300mm
带脚轮
ZDR系列 卓立汉光增强型台面,
韩国大一独立气浮支撑腿
台面厚度100~300mm
430铁磁不锈钢台面
韩国大一独立腿气浮支架
气浮隔振光学平台
主动隔振光学平台
韩国大一
气浮隔振光学平台
分类 系列名称
薄型双频
阻尼隔振光学平台
标准双频
阻尼隔振光学平台
精密双频
阻尼隔振光学平台
SUS430,带独立隔离杯
厚度50~300mm NTBK系列 粘接蜂窝面包板
(台面)
三线摆式
气浮隔振光学平台 NAP系列
标准型台面
半膜片式空气弹簧
整体焊接支架
SUS430台面
半膜片式空气弹簧支架
台面厚度100mm
带脚轮
韩国大一DVIA系列
SRB系列 薄型台面
阻尼隔振垫
SUS430,整体焊接支架
台面厚度50~200mm
带脚轮
薄型
阻尼隔振光学平台
SRP系列 标准型台面
国标阻尼隔振垫
SUS430,整体焊接支架
台面厚度100~300mm
带脚轮
标准
阻尼隔振光学平台
三线摆式
气浮隔振光学平台 TPR系列
标准型台面
半膜片式空气弹簧
整体焊接支架
SUS430台面
半膜片式空气弹簧支架
台面厚度100~300mm
带脚轮
大理石光学平台平板 实心大理石平板 精度等级00级,支持定制
尺寸 OTMP系列
SUS430不锈钢
厚度50~300mm NTBP系列 不锈钢面包板
(台面)
SUS430不锈钢
厚度50~300mm NTBR系列 不锈钢面包板
(台面)
半膜片式
独立支撑气浮隔振光学
平台
ZSR-P系列 标准型台面
半膜片式空气弹簧
SUS430台面
半膜片式空气弹簧支架
独立支撑型
台面厚度100~300mm
ZDH系列
park桌面式主动隔振
大负载超精密主动隔振
三线摆式
独立型气浮隔振支撑腿
可选不锈钢台面或大理石台面
独立型支撑腿
半膜片式空气弹簧组件
台面厚度可定制
隔振光学平台的分类
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主动隔振光学平台
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A17
特点:
• 非磁性实心铝合金面包板。
• 哑光黑色处理,低反射工作表面。
• 方便安装的沉头通孔。
技术指标:
• 材料:铝合金
• 厚度:13mm
• 平面度:0.3mm/600mm×600mm
• 安装孔:M6
命名规则:
选型表:
型号 名称 尺寸(mm) L W D
OTSB2020-13 铝合金面包板 200×200×13 200 200 \\
OTSB2030-13 铝合金面包板 300×200×13 300 200 \\
OTSB3030-13 铝合金面包板 300×300×13 300 300 \\
OTSB3045-13 铝合金面包板 450×300×13 450 300 75
OTSB3060-13 铝合金面包板 600×300×13 600 300 75
OTSB4545-13 铝合金面包板 450×450×13 450 450 75
OTSB4560-13 铝合金面包板 600×450×13 600 450 75
OTSB6060-13 铝合金面包板 600×600×13 600 600 75
OTSB6090-13 铝合金面包板 900×600×13 900 600 75
注:部分型号产品无尺寸D,表明此型号无中心M6沉头孔;
注:OTSB4560-13铝合金面包板四角沉孔固定时,中心施加120N的力;
可选配件:
尺寸图:
OTSB-HD100铝合金面包板把手 RBL橡胶垫脚
光学面包板
OTSB系列铝合金面包板
• 孔距:25mm×25mm
• 安装孔距边:25mm
• 沉头孔:M6沉头孔
• 重量:约3Kg/300mm×300mm
Page 2 of 2
file:///D:/ANSYS2021R2/ANSYS%20Inc/v212/aisol/DesignSpace/DSPages/html/PrintPreview.htm 2022/4/1
OTSB 30 30 - 13
系列代码:
OTSB:铝合金
面包板
整体厚度:
13:13mm
面板长度:
20:200mm
30:300mm
45:450mm
⁝
面板宽度:
20:200mm
30:300mm
45:450mm
⁝
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特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17)
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择
整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 侧面为灰色铝塑板,美观、实用,四角用不
锈钢板包角。
命名规则:
技术指标:
• 平面度:0.1mm/600mm×600mm
• 厚度:50/100/150/200mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚:约110Kg/m2
100mm厚:约120Kg/m2
150mm厚:约130Kg/m2
200mm厚:约140Kg/m2
选型表:
型号 名称 尺寸(mm)
NTBB33-50 不锈钢面包板 300×300×50
NTBB345-50 不锈钢面包板 450×300×50
NTBB4545-50 不锈钢面包板 450×450×50
NTBB36-50 不锈钢面包板 600×300×50
NTBB456-50 不锈钢面包板 600×450×50
NTBB66-50 不锈钢面包板 600×600×50
NTBB459-50 不锈钢面包板 900×450×50
NTBB69-50 不锈钢面包板 900×600×50
NTBB99-50 不锈钢面包板 900×900×50
NTBB810-50 不锈钢面包板 1000×800×50
NTBB612-50 不锈钢面包板 1200×600×50
NTBB812-50 不锈钢面包板 1200×800×50
NTBB912-50 不锈钢面包板 1200×900×50
NTBB1212-50 不锈钢面包板 1200×1200×50
NTBB615-50 不锈钢面包板 1500×600×50
NTBB915-100 不锈钢面包板 1500×900×100
NTBB1015-100 不锈钢面包板 1500×1000×100
NTBB1215-100 不锈钢面包板 1500×1200×100
NTBB1515-100 不锈钢面包板 1500×1500×100
NTBB918-100 不锈钢面包板 1800×900×100
NTBB1018-100 不锈钢面包板 1800×1000×100
NTBB1218-100 不锈钢面包板 1800×1200×100
NTBB1518-100 不锈钢面包板 1800×1500×100
NTBB1020-150 不锈钢面包板 2000×1000×150
NTBB1220-150 不锈钢面包板 2000×1200×150
NTBB1520-150 不锈钢面包板 2000×1500×150
NTBB1520-200 不锈钢面包板 2000×1500×200
NTBB1224-150 不锈钢面包板 2400×1200×150
NTBB1224-200 不锈钢面包板 2400×1200×200
NTBB1524-150 不锈钢面包板 2400×1500×150
NTBB1524-200 不锈钢面包板 2400×1500×200
NTBB1824-150* 不锈钢面包板 2400×1800×150
NTBB1824-200* 不锈钢面包板 2400×1800×200
NTBB1230-200 不锈钢面包板 3000×1200×200
NTBB1530-200 不锈钢面包板 3000×1500×200
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
NTBB系列不锈钢面包板
NTBB 3 3 – 50 (-304) (-316)
系列代码:
NTBB:不锈钢
面包板
整体厚度:
50:50mm
100:100mm
150:150mm
⁝
面板长度:
3:300mm
6:600mm
9:900mm
⁝
面板宽度:
3:300mm
6:600mm
9:900mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
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A19
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17)
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择整
体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 侧面为黑色铝塑板,美观、实用,四角用不
锈钢板包角。
命名规则:
NTBP系列不锈钢面包板
技术指标:
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 厚度:50/100/150/200/300mm
选型表:
型号 名称 尺寸(mm)
NTBP33-50 不锈钢面包板 300×300×50
NTBP345-50 不锈钢面包板 450×300×50
NTBP4545-50 不锈钢面包板 450×450×50
NTBP36-50 不锈钢面包板 600×300×50
NTBP456-50 不锈钢面包板 600×450×50
NTBP66-100 不锈钢面包板 600×600×100
NTBP459-100 不锈钢面包板 900×450×100
NTBP69-100 不锈钢面包板 900×600×100
NTBP99-100 不锈钢面包板 900×900×100
NTBP810-100 不锈钢面包板 1000×800×100
NTBP612-100 不锈钢面包板 1200×600×100
NTBP812-100 不锈钢面包板 1200×800×100
NTBP912-100 不锈钢面包板 1200×900×100
NTBP1212-100 不锈钢面包板 1200×1200×100
NTBP615-100 不锈钢面包板 1500×600×100
NTBP915-100 不锈钢面包板 1500×900×100
NTBP915-150 不锈钢面包板 1500×900×150
NTBP915-200 不锈钢面包板 1500×900×200
NTBP1015-100 不锈钢面包板 1500×1000×100
NTBP1015-150 不锈钢面包板 1500×1000×150
NTBP1015-200 不锈钢面包板 1500×1000×200
NTBP1215-100 不锈钢面包板 1500×1200×100
NTBP1215-150 不锈钢面包板 1500×1200×150
NTBP1215-200 不锈钢面包板 1500×1200×200
NTBP1515-100 不锈钢面包板 1500×1500×100
NTBP1515-150 不锈钢面包板 1500×1500×150
NTBP1515-200 不锈钢面包板 1500×1500×200
型号 名称 尺寸(mm)
NTBP918-100 不锈钢面包板 1800×900×100
NTBP918-150 不锈钢面包板 1800×900×150
NTBP918-200 不锈钢面包板 1800×900×200
NTBP1018-100 不锈钢面包板 1800×1000×100
NTBP1018-150 不锈钢面包板 1800×1000×150
NTBP1018-200 不锈钢面包板 1800×1000×200
NTBP1218-100 不锈钢面包板 1800×1200×100
NTBP1218-150 不锈钢面包板 1800×1200×150
NTBP1218-200 不锈钢面包板 1800×1200×200
NTBP1518-100 不锈钢面包板 1800×1500×100
NTBP1518-150 不锈钢面包板 1800×1500×150
NTBP1518-200 不锈钢面包板 1800×1500×200
NTBP1020-150 不锈钢面包板 2000×1000×150
NTBP1020-200 不锈钢面包板 2000×1000×200
NTBP1220-150 不锈钢面包板 2000×1200×150
NTBP1220-200 不锈钢面包板 2000×1200×200
NTBP1520-150 不锈钢面包板 2000×1500×150
NTBP1520-200 不锈钢面包板 2000×1500×200
NTBP1224-150 不锈钢面包板 2400×1200×150
NTBP1224-200 不锈钢面包板 2400×1200×200
NTBP1524-150 不锈钢面包板 2400×1500×150
NTBP1524-200 不锈钢面包板 2400×1500×200
NTBP1230-200 不锈钢面包板 3000×1200×200
NTBP1230-300 不锈钢面包板 3000×1200×300
NTBP1530-200 不锈钢面包板 3000×1500×200
NTBP1530-300 不锈钢面包板 3000×1500×300
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚:约110kg/m²
100mm厚:约120kg/m²
150mm厚:约130Kg/m2
200mm厚:约140kg/m²
300mm厚:约167kg/m²
NTBP 6 6 – 100 (-304) (-316)
系列代码:
NTBP:不锈钢
面包板
整体厚度:
100:100mm
200:200mm
300:300mm
⁝
面板长度:
6:600mm
9:900mm
12:1200mm
⁝
面板宽度:
6:600mm
9:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A20Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17)
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择
整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 侧面为蓝色PU皮革,美观、实用,四角用不
锈钢板包角。
命名规则:
NTBR系列不锈钢面包板
选型表:
型号 名称 尺寸(mm)
NTBR33-50 不锈钢面包板 300×300×50
NTBR345-50 不锈钢面包板 450×300×50
NTBR4545-50 不锈钢面包板 450×450×50
NTBR36-50 不锈钢面包板 600×300×50
NTBR456-50 不锈钢面包板 600×450×50
NTBR66-100 不锈钢面包板 600×600×100
NTBR459-100 不锈钢面包板 900×450×100
NTBR69-100 不锈钢面包板 900×600×100
NTBR99-100 不锈钢面包板 900×900×100
NTBR810-100 不锈钢面包板 1000×800×100
NTBR612-100 不锈钢面包板 1200×600×100
NTBR812-100 不锈钢面包板 1200×800×100
NTBR912-100 不锈钢面包板 1200×900×100
NTBR1212-100 不锈钢面包板 1200×1200×100
NTBR615-100 不锈钢面包板 1500×600×100
NTBR915-100 不锈钢面包板 1500×900×100
NTBR915-150 不锈钢面包板 1500×900×150
NTBR915-200 不锈钢面包板 1500×900×200
NTBR1015-100 不锈钢面包板 1500×1000×100
NTBR1015-150 不锈钢面包板 1500×1000×150
NTBR1015-200 不锈钢面包板 1500×1000×200
NTBR1215-100 不锈钢面包板 1500×1200×100
NTBR1215-150 不锈钢面包板 1500×1200×150
NTBR1215-200 不锈钢面包板 1500×1200×200
NTBR1515-100 不锈钢面包板 1500×1500×100
NTBR1515-150 不锈钢面包板 1500×1500×150
NTBR1515-200 不锈钢面包板 1500×1500×200
型号 名称 尺寸(mm)
NTBR918-100 不锈钢面包板 1800×900×100
NTBR918-150 不锈钢面包板 1800×900×150
NTBR918-200 不锈钢面包板 1800×900×200
NTBR1018-100 不锈钢面包板 1800×1000×100
NTBR1018-150 不锈钢面包板 1800×1000×150
NTBR1018-200 不锈钢面包板 1800×1000×200
NTBR1218-100 不锈钢面包板 1800×1200×100
NTBR1218-150 不锈钢面包板 1800×1200×150
NTBR1218-200 不锈钢面包板 1800×1200×200
NTBR1518-100 不锈钢面包板 1800×1500×100
NTBR1518-150 不锈钢面包板 1800×1500×150
NTBR1518-200 不锈钢面包板 1800×1500×200
NTBR1020-150 不锈钢面包板 2000×1000×150
NTBR1020-200 不锈钢面包板 2000×1000×200
NTBR1220-150 不锈钢面包板 2000×1200×150
NTBR1220-200 不锈钢面包板 2000×1200×200
NTBR1520-150 不锈钢面包板 2000×1500×150
NTBR1520-200 不锈钢面包板 2000×1500×200
NTBR1224-150 不锈钢面包板 2400×1200×150
NTBR1224-200 不锈钢面包板 2400×1200×200
NTBR1524-150 不锈钢面包板 2400×1500×150
NTBR1524-200 不锈钢面包板 2400×1500×200
NTBR1230-200 不锈钢面包板 3000×1200×200
NTBR1230-300 不锈钢面包板 3000×1200×300
NTBR1530-200 不锈钢面包板 3000×1500×200
NTBR1530-300 不锈钢面包板 3000×1500×300
技术指标:
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 厚度:50/100/150/200/300mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚:约110kg/m²
100mm厚:约120kg/m²
150mm厚:约130Kg/m2
200mm厚:约140kg/m²
300mm厚:约167kg/m²
NTBR 6 6 – 100 (-304) (-316)
系列代码:
NTBR:不锈钢
面包板
整体厚度:
100:100mm
200:200mm
300:300mm
⁝
面板长度:
6:600mm
9:900mm
12:1200mm
⁝
面板宽度:
6:600mm
9:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
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振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
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主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
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A21
特点:
• 上台板SUS430(1Cr17)高导磁不锈钢。
• 六角蜂窝内芯粘接结构。
• 每个螺纹孔下方具有隔离杯密封,方便清洁。
• 侧面为黑色PU皮革,美观、实用,四角用不锈钢板包角。
技术指标:
• 平面度:0.1mm/600mm×600mm
• 台面:5mm厚SUS430(1Cr17)高导磁不锈钢
• 底板:4mm厚碳钢,表面喷黑塑处理
• 厚度:50/100/150/200/300mm
NTBK系列蜂窝不锈钢面包板
选型表:
型号 名称 尺寸(mm)
NTBK33-50 蜂窝不锈钢面包板 300×300×50
NTBK345-50 蜂窝不锈钢面包板 450×300×50
NTBK4545-50 蜂窝不锈钢面包板 450×450×50
NTBK36-50 蜂窝不锈钢面包板 600×300×50
NTBK456-50 蜂窝不锈钢面包板 600×450×50
NTBK66-100 蜂窝不锈钢面包板 600×600×100
NTBK459-100 蜂窝不锈钢面包板 900×450×100
NTBK69-100 蜂窝不锈钢面包板 900×600×100
NTBK99-100 蜂窝不锈钢面包板 900×900×100
NTBK810-100 蜂窝不锈钢面包板 1000×800×100
NTBK612-100 蜂窝不锈钢面包板 1200×600×100
NTBK812-100 蜂窝不锈钢面包板 1200×800×100
NTBK912-100 蜂窝不锈钢面包板 1200×900×100
NTBK1212-100 蜂窝不锈钢面包板 1200×1200×100
NTBK615-100 蜂窝不锈钢面包板 1500×600×100
NTBK915-100 蜂窝不锈钢面包板 1500×900×100
NTBK915-150 蜂窝不锈钢面包板 1500×900×150
NTBK915-200 蜂窝不锈钢面包板 1500×900×200
NTBK1015-100 蜂窝不锈钢面包板 1500×1000×100
NTBK1015-150 蜂窝不锈钢面包板 1500×1000×150
NTBK1015-200 蜂窝不锈钢面包板 1500×1000×200
NTBK1215-100 蜂窝不锈钢面包板 1500×1200×100
NTBK1215-150 蜂窝不锈钢面包板 1500×1200×150
NTBK1215-200 蜂窝不锈钢面包板 1500×1200×200
NTBK1515-100 蜂窝不锈钢面包板 1500×1500×100
NTBK1515-150 蜂窝不锈钢面包板 1500×1500×150
NTBK1515-200 蜂窝不锈钢面包板 1500×1500×200
型号 名称 尺寸(mm)
NTBK918-100 蜂窝不锈钢面包板 1800×900×100
NTBK918-150 蜂窝不锈钢面包板 1800×900×150
NTBK918-200 蜂窝不锈钢面包板 1800×900×200
NTBK1018-100 蜂窝不锈钢面包板 1800×1000×100
NTBK1018-150 蜂窝不锈钢面包板 1800×1000×150
NTBK1018-200 蜂窝不锈钢面包板 1800×1000×200
NTBK1218-100 蜂窝不锈钢面包板 1800×1200×100
NTBK1218-150 蜂窝不锈钢面包板 1800×1200×150
NTBK1218-200 蜂窝不锈钢面包板 1800×1200×200
NTBK1518-100 蜂窝不锈钢面包板 1800×1500×100
NTBK1518-150 蜂窝不锈钢面包板 1800×1500×150
NTBK1518-200 蜂窝不锈钢面包板 1800×1500×200
NTBK1020-150 蜂窝不锈钢面包板 2000×1000×150
NTBK1020-200 蜂窝不锈钢面包板 2000×1000×200
NTBK1220-150 蜂窝不锈钢面包板 2000×1200×150
NTBK1220-200 蜂窝不锈钢面包板 2000×1200×200
NTBK1520-150 蜂窝不锈钢面包板 2000×1500×150
NTBK1520-200 蜂窝不锈钢面包板 2000×1500×200
NTBK1224-150 蜂窝不锈钢面包板 2400×1200×150
NTBK1224-200 蜂窝不锈钢面包板 2400×1200×200
NTBK1524-150 蜂窝不锈钢面包板 2400×1500×150
NTBK1524-200 蜂窝不锈钢面包板 2400×1500×200
NTBK1230-200 蜂窝不锈钢面包板 3000×1200×200
NTBK1230-300 蜂窝不锈钢面包板 3000×1200×300
NTBK1530-200 蜂窝不锈钢面包板 3000×1500×200
NTBK1530-300 蜂窝不锈钢面包板 3000×1500×300
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚:约90kg/m²
100mm厚:约115kg/m²
150mm厚:约120Kg/m2
200mm厚:约135kg/m²
300mm厚:约162kg/m²
命名规则:
NTBK 3 3 – 50
系列代码:
NTBK:蜂窝不
锈钢面包板
整体厚度:
50:50mm
100:100mm
150:150mm
⁝
面板长度:
3:300mm
6:600mm
9:900mm
⁝
面板宽度:
3:300mm
6:600mm
9:900mm
⁝
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A22Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
OTMP系列大理石光学平台平板
说明:
OTMP 系列大理石光学平台平板,采用地表下经过千万年甚至上亿年天然形成
的花岗岩石材。经长时期天然时效,内应力完全消失,材质稳定,变形小。并且受
温度影响小,耐腐蚀,无磁性。
大理石平台的台面,平面度非常高,通常作为精密测量的基准面。常用于精密
微加工、航空航天、晶圆检测、精密仪器检测检测等实验。也经常作为三坐标测量
仪,高精度显微镜、主动隔振平台等设备的基座。
该产品可以定制尺寸,可以拼接,可按照实际需要进行打孔,配阻尼支撑架或
高负载气浮支撑架,组成大理石隔振平台。
特点:
• 进口或国产材质可选
• 材质稳定,变形小
• 耐腐蚀,无磁性
• 可打孔镶嵌金属套便于固定设备
• 尺寸可定制
技术指标:
• 平面度:0级、1级、2级、3级可选
(GB/T 20428-2006)
• 密度:2500kg/m3
~3000kg/m3
• 抗压强度:100N/mm2
~300N/mm2
• 抗拉强度:7N/mm2
~35N/mm2
• 吸水率:1%~3%
• 孔隙率:1%~1.5%
定制安装孔
大理石台面为保证平面度,可以不打孔,如果安装
设备或者固定工件,可以在特定位置打孔,或均匀分布
螺纹孔。石材打孔后会镶嵌镶嵌钢制牙套或铜制牙套,
以便于固定设备。
• 孔径:可定制孔径
• 孔距:可定制孔距或特殊位置打孔
重量:
• 50mm厚:约150Kg/m2
• 100mm厚:约300Kg/m2
• 150mm厚:约450Kg/m2
• 200mm厚:约600Kg/m2
• 250mm厚:约750Kg/m2
• 300mm厚:约900Kg/m2
型号 名称 尺寸
OTMP33-50 大理石光学平台平板 300×300×50
OTMP345-50 大理石光学平台平板 450×300×50
OTMP4545-50 大理石光学平台平板 450×450×50
OTMP36-50 大理石光学平台平板 600×300×50
OTMP456-50 大理石光学平台平板 600×450×50
OTMP66-100 大理石光学平台平板 600×600×100
OTMP69-100 大理石光学平台平板 900×600×100
OTMP810-150 大理石光学平台平板 1000×800×150
OTMP812-150 大理石光学平台平板 1200×800×150
OTMP912-150 大理石光学平台平板 1200×900×150
OTMP1012-150 大理石光学平台平板 1200×1000×150
OTMP915-150 大理石光学平台平板 1500×900×150
OTMP1015-150 大理石光学平台平板 1500×1000×150
OTMP1018-200 大理石光学平台平板 1800×1000×200
OTMP1218-200 大理石光学平台平板 1800×1200×200
OTMP1020-200 大理石光学平台平板 2000×1000×200
OTMP1220-200 大理石光学平台平板 2000×1200×200
OTMP1520-200 大理石光学平台平板 2000×1500×200
OTMP1224-250 大理石光学平台平板 2400×1200×250
OTMP1524-250 大理石光学平台平板 2400×1500×250
OTMP1230-300 大理石光学平台平板 3000×1200×300
OTMP1530-300 大理石光学平台平板 3000×1500×300
0级:平面度公差为1x(1+d/1000)µm;
1级:平面度公差为2x(1+d/1000)µm;
2级:平面度公差为4x(1+d/1000)µm;
3级:平面度公差为8x(1+d/1000)µm;
其中d为大理石对角线长度(单位:mm)
测量温度一般在20±2℃;
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
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振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
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主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
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阻
尼
隔
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A23
大理石案例图片:
隔
振
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台
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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
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振
光
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平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
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A24Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
阻尼隔振平台
SRB系列薄型阻尼隔振光学平台
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 ) 高导磁
不锈钢,台面也可选择整体材料为SUS304弱磁不锈
钢面包板, 台面也可选择整体材料为SUS316极弱
磁不锈钢面包板。
• 采用阻尼隔振垫,固有频率通常小于9~30Hz。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
技术指标:
• 固有频率:<9~30Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.1mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:50/100/150/200mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
应用领域:
• 对隔振性能要求不高的生产与实验,
如机械运动实验、教学类光电实验、
工件装配等。
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚台面约:110Kg/m2
100mm厚台面约:120Kg/m2
150mm厚台面约:130Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
细节说明:
上方调整机构
(3+1结构) 下方调整高度机构
其它配件:
扳手 水平仪
9~30Hz
美国科顺(colson)
静音脚轮(带刹车)
调整高度时用的调整杆
命名规则:
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 侧面为灰色铝塑板,美观、实用,四
角用不锈钢板包角。
• 高性价比的阻尼隔振光学平台。
SRB 06 - 06 (-K) (-304) (-316)
系列代码:
SRB:薄型阻尼
隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
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主动隔振光学平台
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台单频阻尼隔振
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频
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振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A25
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支撑腿截面积(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
SRB06-06(-K) 600×600×800 50 40 80×80 500 4支撑
SRB09-06(-K) 900×600×800 50 59 80×80 500 4支撑
SRB10-08(-K) 1000×800×800 50 88 80×80 500 4支撑
SRB12-06(-K) 1200×600×800 50 79 80×80 500 4支撑
SRB12-08(-K) 1200×800×800 50 106 80×80 500 4支撑
SRB12-09(-K) 1200×900×800 50 119 80×80 500 4支撑
SRB12-12(-K) 1200×1200×800 50 158 80×80 500 4支撑
SRB15-09(-K) 1500×900×800 100 162 120×120 800 4支撑
SRB15-10(-K) 1500×1000×800 100 180 120×120 800 4支撑
SRB15-12(-K) 1500×1200×800 100 216 120×120 800 4支撑
SRB15-15(-K) 1500×1500×800 100 270 120×120 800 4支撑
SRB18-09(-K) 1800×900×800 100 194 120×120 800 4支撑
SRB18-10(-K) 1800×1000×800 100 216 120×120 800 4支撑
SRB18-12(-K) 1800×1200×800 100 259 120×120 800 4支撑
SRB18-15(-K) 1800×1500×800 100 324 120×120 800 4支撑
SRB20-10(-K) 2000×1000×800 150 260 160×160 1000 4支撑
SRB20-12(-K) 2000×1200×800 150 312 160×160 1000 4支撑
SRB20-15(-K) 2000×1500×800 150 390 160×160 1000 4支撑
SRB24-12(-K) 2400×1200×800 150 374 160×160 1000 4支撑
SRB24-15(-K) 2400×1500×800 150 468 160×160 1000 4支撑
SRB24-18* 2400×1800×800 150 562 160×160 1000 4支撑
SRB30-12(-K) 3000×1200×800 200 504 160×160 1500 6支撑
SRB30-15(-K) 3000×1500×800 200 630 160×160 1500 6支撑
SRB35-12 3500×1200×800 200 588 160×160 1500 6支撑
SRB35-15 3500×1500×800 200 735 160×160 1500 6支撑
尺寸图:
选型表:
四支撑
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
SRB06-06(-K) 600 600 450 450 50 800 750
SRB09-06(-K) 900 600 600 450 50 800 750
SRB10-08(-K) 1000 800 700 600 50 800 750
SRB12-06(-K) 1200 600 900 450 50 800 750
SRB12-08(-K) 1200 800 900 600 50 800 750
SRB12-09(-K) 1200 900 900 600 50 800 750
SRB12-12(-K) 1200 1200 900 900 50 800 750
SRB15-09(-K) 1500 900 1100 600 100 800 700
SRB15-10(-K) 1500 1000 1100 700 100 800 700
SRB15-12(-K) 1500 1200 1100 900 100 800 700
SRB15-15(-K) 1500 1500 1100 1100 100 800 700
SRB18-09(-K) 1800 900 1200 600 100 800 700
SRB18-10(-K) 1800 1000 1200 700 100 800 700
SRB18-12(-K) 1800 1200 1200 900 100 800 700
SRB18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 100 800 700
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
SRB20-10(-K) 2000 1000 1200 700 150 800 650
SRB20-12(-K) 2000 1200 1200 900 150 800 650
SRB20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 150 800 650
SRB24-12(-K) 2400 1200 1400 900 150 800 650
SRB24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 150 800 650
SRB24-18 2400 1800 1400 1200 150 800 650
SRB30-12(-K) 3000 1200 1100 900 200 800 600
SRB30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 200 800 600
SRB35-12 3500 1200 1200 900 200 800 600
SRB35-15 3500 1500 1200 1100 200 800 600
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A26Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
SRP系列标准阻尼隔振光学平台
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 )
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择
整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 采用国标(GB/T 20029-2005)规定的阻尼
隔振垫,固有频率通常小于7~18Hz。
技术指标:
• 固有频率:<7~18Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:100/200/300mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:100mm厚:约120Kg/m2
200mm厚:约140Kg/m2
300mm厚:约167Kg/m2
细节说明: 其它配件:
美国科顺(colson) 扳手 水平仪
静音脚轮(带刹车)
隔振材料为符合国标要求的标准 调整高度时用的调整杆
阻尼隔振垫,隔振性能大幅提高 下方调整高度机构
应用领域:
• 对隔振性能要求不是很高的生产与实
验,如机械运动实验,教学类光电实
验、工件装配等。
命名规则:
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 侧面为黑色铝塑板,美观、实用,四角用
不锈钢板包角。
• 教学和科研可兼顾的阻尼隔振光学平台。
SRP 06 - 06 (-K) (-304) (-316)
系列代码:
SRP:标准阻尼
隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
7~18Hz
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A27
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支撑腿截面积(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
SRP06-06(-K) 600×600×800 100 43 120×120 600 4支撑
SRP09-06(-K) 900×600×800 100 65 120×120 600 4支撑
SRP10-08(-K) 1000×800×800 100 96 120×120 600 4支撑
SRP12-06(-K) 1200×600×800 100 86 120×120 600 4支撑
SRP12-08(-K) 1200×800×800 100 115 120×120 600 4支撑
SRP12-09(-K) 1200×900×800 100 130 120×120 600 4支撑
SRP12-12(-K) 1200×1200×800 100 173 120×120 600 4支撑
SRP15-09(-K) 1500×900×800 200 189 200×200 1300 4支撑
SRP15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 200×200 1300 4支撑
SRP15-12(-K) 1500×1200×800 200 252 200×200 1300 4支撑
SRP15-15(-K) 1500×1500×800 200 315 200×200 1300 4支撑
SRP18-09(-K) 1800×900×800 200 227 200×200 1300 4支撑
SRP18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 200×200 1300 4支撑
SRP18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 200×200 1300 4支撑
SRP18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 200×200 1300 4支撑
SRP20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 200×200 1300 4支撑
SRP20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 200×200 1300 4支撑
SRP20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 200×200 1300 4支撑
SRP24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 200×200 1300 4支撑
SRP24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 200×200 1300 4支撑
SRP24-18* 2400×1800×800 200 605 200×200 1300 4支撑
SRP30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 200×200 1950 6支撑
SRP30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 200×200 1950 6支撑
SRP30-18* 3000×1800×800 300 902 200×200 1950 6支撑
SRP30-20* 3000×2000×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
SRP35-12 3500×1200×800 300 701 200×200 1950 6支撑
SRP35-15 3500×1500×800 300 877 200×200 1950 6支撑
SRP35-18* 3500×1800×800 300 1052 200×200 1950 6支撑
SRP35-20* 3500×2000×800 300 1169 200×200 1950 6支撑
SRP40-12 4000×1200×800 300 802 200×200 1950 6支撑
SRP40-15 4000×1500×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
SRP40-18* 4000×1800×800 300 1202 200×200 1950 6支撑
SRP40-20* 4000×2000×800 300 1336 200×200 1950 6支撑
SRP45-15 4500×1500×800 300 1127 200×200 1950 6支撑
选型表:
尺寸图:
四支撑 六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
SRP06-06(-K) 600 600 400 400 100 800 700
SRP09-06(-K) 900 600 600 400 100 800 700
SRP10-08(-K) 1000 800 700 600 100 800 700
SRP12-06(-K) 1200 600 900 400 100 800 700
SRP12-08(-K) 1200 800 900 600 100 800 700
SRP12-09(-K) 1200 900 900 600 100 800 700
SRP12-12(-K) 1200 1200 900 900 100 800 700
SRP15-09(-K) 1500 900 1100 600 200 800 600
SRP15-10(-K) 1500 1000 1100 700 200 800 600
SRP15-12(-K) 1500 1200 1100 900 200 800 600
SRP15-15(-K) 1500 1500 1100 1100 200 800 600
SRP18-09(-K) 1800 900 1200 600 200 800 600
SRP18-10(-K) 1800 1000 1200 700 200 800 600
SRP18-12(-K) 1800 1200 1200 900 200 800 600
SRP18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 200 800 600
SRP20-10(-K) 2000 1000 1200 700 200 800 600
SRP20-12(-K) 2000 1200 1200 900 200 800 600
SRP20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 200 800 600
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
SRP24-12(-K) 2400 1200 1400 900 200 800 600
SRP24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 200 800 600
SRP24-18 2400 1800 1400 1200 200 800 600
SRP30-12(-K) 3000 1200 1100 900 300 800 500
SRP30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 300 800 500
SRP30-18 3000 1800 1100 1200 300 800 500
SRP30-20 3000 2000 1100 1200 300 800 500
SRP35-12 3500 1200 1200 900 300 800 500
SRP35-15 3500 1500 1200 1100 300 800 500
SRP35-18 3500 1800 1200 1200 300 800 500
SRP35-20 3500 2000 1200 1200 300 800 500
SRP40-12 4000 1200 1600 900 300 800 500
SRP40-15 4000 1500 1600 1100 300 800 500
SRP40-18 4000 1800 1600 1200 300 800 500
SRP40-20 4000 2000 1600 1200 300 800 500
SRP45-15 4500 1500 1600 1100 300 800 500
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A28Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
DRB系列薄型双频阻尼隔振光学平台
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17)
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选
择整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包
板。
• 采用 B 型双频阻尼隔振系统,固有频率通
常小于7~20Hz。
技术指标:
• 固有频率:<7~20Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.1mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:50/100/150/200mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:50mm厚台面约:110Kg/m2
100mm厚台面约:120Kg/m2
150mm厚台面约:130Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
细节说明:
B型双频阻尼隔振 下方调整高度机构 整体焊接支架
其它配件:
扳手 水平仪
(专利号:ZL201920504626.4)
应用领域:
• 兼顾较低隔振要求与台面稳定的实验
场景,如简单光学实验,放置较低精
度光学仪器。
命名规则:
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 侧面为灰色铝塑板,美观、实用,四角用
不锈钢板包角。
• 高性价比的阻尼隔振光学平台。
DRB 06 - 06 (-K) (-304) (-316)
系列代码:
DRB:双频阻尼
隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
7~20Hz
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A29
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支撑腿截面积(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
DRB06-06(-K) 600×600×800 50 40 80×80 500 4支撑
DRB09-06(-K) 900×600×800 50 59 80×80 500 4支撑
DRB10-08(-K) 1000×800×800 50 88 80×80 500 4支撑
DRB12-06(-K) 1200×600×800 50 79 80×80 500 4支撑
DRB12-08(-K) 1200×800×800 50 106 80×80 500 4支撑
DRB12-09(-K) 1200×900×800 50 119 80×80 500 4支撑
DRB12-12(-K) 1200×1200×800 50 158 80×80 500 4支撑
DRB15-09(-K) 1500×900×800 100 162 120×120 800 4支撑
DRB15-10(-K) 1500×1000×800 100 180 120×120 800 4支撑
DRB15-12(-K) 1500×1200×800 100 216 120×120 800 4支撑
DRB15-15(-K) 1500×1500×800 100 270 120×120 800 4支撑
DRB18-09(-K) 1800×900×800 100 194 120×120 800 4支撑
DRB18-10(-K) 1800×1000×800 100 216 120×120 800 4支撑
DRB18-12(-K) 1800×1200×800 100 259 120×120 800 4支撑
DRB18-15(-K) 1800×1500×800 100 324 120×120 800 4支撑
DRB20-10(-K) 2000×1000×800 150 260 160×160 1000 4支撑
DRB20-12(-K) 2000×1200×800 150 312 160×160 1000 4支撑
DRB20-15(-K) 2000×1500×800 150 390 160×160 1000 4支撑
DRB24-12(-K) 2400×1200×800 150 374 160×160 1000 4支撑
DRB24-15(-K) 2400×1500×800 150 468 160×160 1000 4支撑
DRB24-18* 2400×1800×800 150 562 160×160 1000 4支撑
DRB30-12(-K) 3000×1200×800 200 504 160×160 1500 6支撑
DRB30-15(-K) 3000×1500×800 200 630 160×160 1500 6支撑
DRB35-12 3500×1200×800 200 588 160×160 1500 6支撑
DRB35-15 3500×1500×800 200 735 160×160 1500 6支撑
尺寸图:
选型表:
四支撑 六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRB06-06(-K) 600 600 400 400 50 800 750
DRB09-06(-K) 900 600 600 400 50 800 750
DRB10-08(-K) 1000 800 700 600 50 800 750
DRB12-06(-K) 1200 600 900 400 50 800 750
DRB12-08(-K) 1200 800 900 600 50 800 750
DRB12-09(-K) 1200 900 900 600 50 800 750
DRB12-12(-K) 1200 1200 900 900 50 800 750
DRB15-09(-K) 1500 900 1100 600 100 800 700
DRB15-10(-K) 1500 1000 1100 700 100 800 700
DRB15-12(-K) 1500 1200 1100 900 100 800 700
DRB15-15(-K) 1500 1500 1100 1100 100 800 700
DRB18-09(-K) 1800 900 1200 600 100 800 700
DRB18-10(-K) 1800 1000 1200 700 100 800 700
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRB18-12(-K) 1800 1200 1200 900 100 800 700
DRB18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 100 800 700
DRB20-10(-K) 2000 1000 1200 700 150 800 650
DRB20-12(-K) 2000 1200 1200 900 150 800 650
DRB20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 150 800 650
DRB24-12(-K) 2400 1200 1400 900 150 800 650
DRB24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 150 800 650
DRB24-18 2400 1800 1400 1200 150 800 650
DRB30-12(-K) 3000 1200 1100 900 200 800 600
DRB30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 200 800 600
DRB35-12 3500 1200 1200 900 200 800 600
DRB35-15 3500 1500 1200 1100 200 800 600
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A30Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
DRP系列标准双频阻尼隔振光学平台
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17)
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择
整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 采用 P 型双频阻尼隔振系统,固有频率通常
小于6~15Hz。
应用领域:
• 兼顾一定隔振要求与台面稳定的实验
场景,如精密机械运动、激光相关实
验、毫米波雷达、光学仪器等。
技术指标:
• 固有频率:<6~15Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:100/200/300mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:100mm厚台面约:120Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
300mm厚台面约:167Kg/m2
细节说明:
P型双频阻尼隔振 下方调整高度机构 整体焊接支架
其它配件:
扳手 水平仪 美国科顺(colson)
静音脚轮(带刹车)
(专利号:ZL201920504626.4)
命名规则:
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 侧面为黑色铝塑板,美观、实用,四角用
不锈钢板包角。
• 教学和科研可兼顾的阻尼隔振光学平台。
DRP 06 - 06 (-K) (-304) (-316)
系列代码:
DRP:双频阻尼
隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
6~15Hz
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A31
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支撑腿截面积(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
DRP06-06(-K) 600×600×800 100 43 120×120 600 4支撑
DRP09-06(-K) 900×600×800 100 65 120×120 600 4支撑
DRP10-08(-K) 1000×800×800 100 96 120×120 600 4支撑
DRP12-06(-K) 1200×600×800 100 86 120×120 600 4支撑
DRP12-08(-K) 1200×800×800 100 115 120×120 600 4支撑
DRP12-09(-K) 1200×900×800 100 130 120×120 600 4支撑
DRP12-12(-K) 1200×1200×800 100 173 120×120 600 4支撑
DRP15-09(-K) 1500×900×800 200 189 200×200 1300 4支撑
DRP15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 200×200 1300 4支撑
DRP15-12(-K) 1500×1200×800 200 252 200×200 1300 4支撑
DRP15-15(-K) 1500×1500×800 200 315 200×200 1300 4支撑
DRP18-09(-K) 1800×900×800 200 227 200×200 1300 4支撑
DRP18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 200×200 1300 4支撑
DRP18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 200×200 1300 4支撑
DRP18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 200×200 1300 4支撑
DRP20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 200×200 1300 4支撑
DRP20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 200×200 1300 4支撑
DRP20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 200×200 1300 4支撑
DRP24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 200×200 1300 4支撑
DRP24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 200×200 1300 4支撑
DRP24-18* 2400×1800×800 200 605 200×200 1300 4支撑
DRP30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 200×200 1950 6支撑
DRP30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 200×200 1950 6支撑
DRP30-18* 3000×1800×800 300 902 200×200 1950 6支撑
DRP30-20* 3000×2000×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
DRP35-12 3500×1200×800 300 701 200×200 1950 6支撑
DRP35-15 3500×1500×800 300 877 200×200 1950 6支撑
DRP35-18* 3500×1800×800 300 1052 200×200 1950 6支撑
DRP35-20* 3500×2000×800 300 1169 200×200 1950 6支撑
DRP40-12 4000×1200×800 300 802 200×200 1950 6支撑
DRP40-15 4000×1500×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
DRP40-18* 4000×1800×800 300 1202 200×200 1950 6支撑
DRP40-20* 4000×2000×800 300 1336 200×200 1950 6支撑
DRP45-15 4500×1500×800 300 1127 200×200 1950 6支撑
选型表:
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRP06-06(-K) 600 600 400 400 100 800 700
DRP09-06(-K) 900 600 600 400 100 800 700
DRP10-08(-K) 1000 800 700 600 100 800 700
DRP12-06(-K) 1200 600 900 400 100 800 700
DRP12-08(-K) 1200 800 900 600 100 800 700
DRP12-09(-K) 1200 900 900 600 100 800 700
DRP12-12(-K) 1200 1200 900 900 100 800 700
DRP15-09(-K) 1500 900 1100 600 200 800 600
DRP15-10(-K) 1500 1000 1100 700 200 800 600
DRP15-12(-K) 1500 1200 1100 900 200 800 600
DRP15-15(-K) 1500 1500 1100 1100 200 800 600
DRP18-09(-K) 1800 900 1200 600 200 800 600
DRP18-10(-K) 1800 1000 1200 700 200 800 600
DRP18-12(-K) 1800 1200 1200 900 200 800 600
DRP18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 200 800 600
DRP20-10(-K) 2000 1000 1200 700 200 800 600
DRP20-12(-K) 2000 1200 1200 900 200 800 600
尺寸图:
四支撑 六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRP20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 200 800 600
DRP24-12(-K) 2400 1200 1400 900 200 800 600
DRP24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 200 800 600
DRP24-18 2400 1800 1400 1200 200 800 600
DRP30-12(-K) 3000 1200 1100 900 300 800 500
DRP30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 300 800 500
DRP30-18 3000 1800 1100 1200 300 800 500
DRP30-20 3000 2000 1100 1200 300 800 500
DRP35-12 3500 1200 1200 900 300 800 500
DRP35-15 3500 1500 1200 1100 300 800 500
DRP35-18 3500 1800 1200 1200 300 800 500
DRP35-20 3500 2000 1200 1200 300 800 500
DRP40-12 4000 1200 1600 900 300 800 500
DRP40-15 4000 1500 1600 1100 300 800 500
DRP40-18 4000 1800 1600 1200 300 800 500
DRP40-20 4000 2000 1600 1200 300 800 500
DRP45-15 4500 1500 1600 1100 300 800 500
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A32Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
DRN系列精密双频阻尼隔振光学平台
特点:
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 )
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选
择整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包
板。
• 采用N型双频阻尼隔振系统,固有频率通
常小于6~12Hz。
技术指标:
• 固有频率:<6~12Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:100/200/300mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 重量:100mm厚台面约:120Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
300mm厚台面约:167Kg/m2
细节说明:
N型双频阻尼隔振 下方调整高度机构 整体焊接支架
其它配件:
扳手 水平仪 美国科顺(colson)
静音脚轮(带刹车)
(专利号:ZL201920504626.4)
应用领域:
• 兼顾较高隔振要求与台面稳定的实验
场景,如搭建小型光路、光学显微成
像、毫米波雷达、精密机械运动、放
置光谱仪等。
命名规则:
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散
光。
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 侧面为蓝色PU皮革,美观、实用,四
角用不锈钢板包角。
• 科研级精密阻尼隔振光学平台。
DRN 06 - 06 (-K) (-304) (-316)
系列代码:
DRN:双频阻尼
隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
6~12Hz
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A33
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支撑腿截面积(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
DRN09-06(-K) 900×600×800 100 65 150×150 600 4支撑
DRN10-08(-K) 1000×800×800 100 96 150×150 600 4支撑
DRN12-08(-K) 1200×800×800 100 115 150×150 600 4支撑
DRN12-09(-K) 1200×900×800 100 130 150×150 600 4支撑
DRN12-12(-K) 1200×1200×800 100 173 150×150 600 4支撑
DRN15-09(-K) 1500×900×800 200 189 200×200 900 4支撑
DRN15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 200×200 900 4支撑
DRN15-12(-K) 1500×1200×800 200 252 200×200 900 4支撑
DRN15-15(-K) 1500×1500×800 200 315 200×200 900 4支撑
DRN18-09(-K) 1800×900×800 200 227 200×200 900 4支撑
DRN18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 200×200 900 4支撑
DRN18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 200×200 900 4支撑
DRN18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 200×200 900 4支撑
DRN20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 200×200 900 4支撑
DRN20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 200×200 900 4支撑
DRN20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 200×200 900 4支撑
DRN24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 200×200 1300 4支撑
DRN24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 200×200 1300 4支撑
DRN24-18* 2400×1800×800 200 605 200×200 1300 4支撑
DRN30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 200×200 1950 6支撑
DRN30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 200×200 1950 6支撑
DRN30-18* 3000×1800×800 300 902 200×200 1950 6支撑
DRN30-20* 3000×2000×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
DRN35-12 3500×1200×800 300 701 200×200 1950 6支撑
DRN35-15 3500×1500×800 300 877 200×200 1950 6支撑
DRN35-18* 3500×1800×800 300 1052 200×200 1950 6支撑
DRN35-20* 3500×2000×800 300 1169 200×200 1950 6支撑
DRN40-12 4000×1200×800 300 802 200×200 1950 6支撑
DRN40-15 4000×1500×800 300 1002 200×200 1950 6支撑
DRN40-18* 4000×1800×800 300 1202 200×200 1950 6支撑
DRN40-20* 4000×2000×800 300 1336 200×200 1950 6支撑
DRN45-15 4500×1500×800 300 1127 200×200 1950 6支撑
尺寸图:
四支撑 六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRN09-06(-K) 900 600 600 400 100 800 700
DRN10-08(-K) 1000 800 700 550 100 800 700
DRN12-08(-K) 1200 800 900 550 100 800 700
DRN12-09(-K) 1200 900 900 600 100 800 700
DRN12-12(-K) 1200 1200 900 900 100 800 700
DRN15-09(-K) 1500 900 1100 600 200 800 600
DRN15-10(-K) 1500 1000 1100 700 200 800 600
DRN15-12(-K) 1500 1200 1100 900 200 800 600
DRN15-15(-K) 1500 1500 1100 1100 200 800 600
DRN18-09(-K) 1800 900 1200 600 200 800 600
DRN18-10(-K) 1800 1000 1200 700 200 800 600
DRN18-12(-K) 1800 1200 1200 900 200 800 600
DRN18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 200 800 600
DRN20-10(-K) 2000 1000 1200 700 200 800 600
DRN20-12(-K) 2000 1200 1200 900 200 800 600
DRN20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 200 800 600
选型表:
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
DRN24-12(-K) 2400 1200 1400 900 200 800 600
DRN24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 200 800 600
DRN24-18 2400 1800 1400 1200 200 800 600
DRN30-12(-K) 3000 1200 1100 900 300 800 500
DRN30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 300 800 500
DRN30-18 3000 1800 1100 1200 300 800 500
DRN30-20 3000 2000 1100 1200 300 800 500
DRN35-12 3500 1200 1200 900 300 800 500
DRN35-15 3500 1500 1200 1100 300 800 500
DRN35-18 3500 1800 1200 1200 300 800 500
DRN35-20 3500 2000 1200 1200 300 800 500
DRN40-12 4000 1200 1600 900 300 800 500
DRN40-15 4000 1500 1600 1100 300 800 500
DRN40-18 4000 1800 1600 1200 300 800 500
DRN40-20 4000 2000 1600 1200 300 800 500
DRN45-15 4500 1500 1600 1100 300 800 500
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A34Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
ZTP系列半膜片式气浮隔振光学平台
特点:
• 半膜片式空气弹簧,隔振性能好。
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 )
高导磁不锈钢,台面也可选择整体材料为
SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择
整体材料为SUS316极弱磁不锈钢面包板。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 侧面为黑色铝塑板,美观、实用,四角用不
锈钢板包角。
技术指标:
• 固有频率:<1.5~3Hz,同负载和实际使用情况相关
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:100/200/300mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 台面重量:100mm厚台面约:120Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
300mm厚台面约:167Kg/m2
细节说明: 其它配件:
油水分离器 气浮平台调整水 扳手 水平仪
平、高度的机构
半膜片式
空气弹簧
便携式气泵
(低噪音、无油)
不锈钢包角
气浮隔振平台
北京卓立汉光仪器有限公司
NZZV ]]]`URO^IUSIT
北京总公司: 电话: 010 56370168 邮箱: info@zolix.com.cn 上海: 021 62227575 深圳:0755 83293053
成都: 028 68080921 西安:029 88326276
6 / 13
二、技术参数
排气量 35L/min
排气压力 0.7MPa
电压频率 Volt./Hz 220V/50Hz
功率 HP/W 550W
转速 Speed(R.P.M) 1450
运行噪声 dB(A)40″ 51±3
储气罐 Tank(Lt) 4L
净重 G.W(KG) 23KG
外形尺寸 L ×W×H mm 460×210×480 mm
应用领域:
• 对隔振要求较高的光学实验,需要隔绝大部
分地面振动,如光通讯、高倍光学显微镜、
光学成像、精密光谱测量。
命名规则:
• 整体焊接支架,刚性高,稳定性好。
• 自动充气,自动平衡,响应时间短,
平衡速度快。
• 标配速度调控,系统更稳定。
• 隔振效果好、性价比非常高的科研级
气浮隔振光学平台。
ZTP 09 - 06 (-K) (-304) (-316)(-WQB)
系列代码:
ZTP:气浮隔振
光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
06:600mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
09:900mm
12:1200mm
15:1500mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
1.5~3Hz
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A35
选型表:
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度
(mm)
台面自重
(Kg)
支撑腿截面积
(mm) 支架负载能力(Kg) 备注
ZTP09-06(-K) 900×600×800 100 65 120×120 400 4支撑
ZTP10-08(-K) 1000×800×800 100 96 120×120 400 4支撑
ZTP12-06(-K) 1200×600×800 100 86 120×120 400 4支撑
ZTP12-08(-K) 1200×800×800 100 115 120×120 400 4支撑
ZTP12-09(-K) 1200×900×800 100 130 120×120 400 4支撑
ZTP12-10(-K) 1200×1000×800 100 144 120×120 400 4支撑
ZTP12-12(-K) 1200×1200×800 100 173 120×120 400 4支撑
ZTP15-09N(-K) 1500×900×800 100 149 160×160 600 4支撑
ZTP15-10N(-K) 1500×1000×800 100 165 160×160 600 4支撑
ZTP15-12N(-K) 1500×1200×800 100 198 160×160 600 4支撑
ZTP15-15N(-K) 1500×1500×800 100 270 160×160 600 4支撑
ZTP15-09(-K) 1500×900×800 200 189 160×160 600 4支撑
ZTP15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 160×160 600 4支撑
ZTP18-09(-K) 1800×900×800 200 227 160×160 800 4支撑
ZTP18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 160×160 800 4支撑
ZTP18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 160×160 800 4支撑
ZTP18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 160×160 800 4支撑
ZTP20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 160×160 800 4支撑
ZTP20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 160×160 800 4支撑
ZTP20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 160×160 800 4支撑
ZTP24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 160×160 800 4支撑
ZTP24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 160×160 800 4支撑
ZTP24-18* 2400×1800×800 200 605 160×160 800 4支撑
ZTP30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 160×160 1200 6支撑
ZTP30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 160×160 1200 6支撑
ZTP35-12 3500×1200×800 300 701 160×160 1200 6支撑
ZTP35-15 3500×1500×800 300 877 160×160 1200 6支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
ZTP09-06(-K) 900 600 650 400 100 800 700
ZTP10-08(-K) 1000 800 750 600 100 800 700
ZTP12-06(-K) 1200 600 900 400 100 800 700
ZTP12-08(-K) 1200 800 900 600 100 800 700
ZTP12-09(-K) 1200 900 900 700 100 800 700
ZTP12-10(-K) 1200 1000 900 750 100 800 700
ZTP12-12(-K) 1200 1200 900 900 100 800 700
ZTP15-09N(-K) 1500 900 1100 700 100 800 700
ZTP15-10N(-K) 1500 1000 1100 750 100 800 700
ZTP15-12N(-K) 1500 1200 1100 900 100 800 700
ZTP15-15N(-K) 1500 1500 1100 1100 100 800 700
ZTP15-09(-K) 1500 900 1100 700 200 800 600
ZTP15-10(-K) 1500 1000 1100 750 200 800 600
尺寸图:
四支撑 六支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
ZTP18-09(-K) 1800 900 1200 700 200 800 600
ZTP18-10(-K) 1800 1000 1200 750 200 800 600
ZTP18-12(-K) 1800 1200 1200 900 200 800 600
ZTP18-15(-K) 1800 1500 1200 1100 200 800 600
ZTP20-10(-K) 2000 1000 1200 750 200 800 600
ZTP20-12(-K) 2000 1200 1200 900 200 800 600
ZTP20-15(-K) 2000 1500 1200 1100 200 800 600
ZTP24-12(-K) 2400 1200 1400 900 200 800 600
ZTP24-15(-K) 2400 1500 1400 1100 200 800 600
ZTP24-18 2400 1800 1400 1200 200 800 600
ZTP30-12(-K) 3000 1200 1100 900 300 800 500
ZTP30-15(-K) 3000 1500 1100 1100 300 800 500
ZTP35-12 3500 1200 1200 900 300 800 500
ZTP35-15 3500 1500 1200 1100 300 800 500
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
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返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
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A36Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
NAP系列气浮隔振光学平台
特点:
• 引入对隔振有较好效果的三线摆系统。
• 采用层流阻尼元件,系统反应更灵敏。
• 自带四角防护板,具有台面气浮高度指示功能,调节更便捷。
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 ) 高导磁不锈钢,台面也可选择整体
材料为SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择整体材料为SUS316极弱磁不
锈钢面包板。
应用领域::
• 用来放置对隔振要求很高的精密光学仪器,如高
分辨显微镜、激光共聚焦显微镜,也常用于光通
讯行业,搭建小型光路等。
命名规则:
技术指标:
• 固有频率:垂直方向<1.5~2.5Hz;水平方向<1~1.5Hz
• 隔振效率:垂直方向:5Hz时:75~92%;10Hz时:90%~95%
水平方向:5Hz时:88~94%;10Hz时:92%~98%
• 隔振方式:三线摆隔振系统
• 阻尼方式:层流阻尼
• 工作台面:三层夹心式蜂窝结构(可选配蜂窝粘接式带隔离杯台面)
• 表面平面度:焊接式台面:0.02~0.05mm/600mm×600mm
粘接式台面:0.1mm/600mm×600mm
• 台面厚度:100mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 侧面包饰:焊接台面为蓝色皮革;粘接台面为黑色皮革;
• 安装孔:M6
• 孔距:25mm×25mm
• 安装孔距边:37.5mm
• 台面加支架总高度:800mm
• 总高度可调范围:-10~+15mm
• 支架负载:500kg
• 单个隔振腿负载:125kg
• 最大空气压力:0.6MPa
• 建议工作空气压力:0.3~0.4MPa
• 水平重复精度:±0.5mm
细节说明: 其它配件:
油水分离器 气浮平台调整水 扳手 水平仪
平、高度的机构
便携式气泵 四角防护
(低噪音、无油)
1.5~2.5Hz
1~1.5 Hz
Transmissibility
Frequency (Hz)
Vertical Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
Transmissibility
Frequency (Hz)
Horizontal Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
层流阻尼
NAP 12 - 09 (-K) (-304) (-316)(-WQB)
系列代码:
NAP:三线摆气
浮隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
08:800mm
09:900mm
12:1200mm
⁝
台面长度:
10:1000mm
12:1200mm
15:1500mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A37
选型表:(本系列-K型号为设计规格,技术指标以最终发布内容为准)
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度
(mm)
台面自重
(Kg)
支撑腿截面积
(mm)
支架负载能力
(Kg) 备注
NAP10-08 1000×800×800 100 96 100×100 500 4支撑
NAP12-08 1200×800×800 100 115 100×100 500 4支撑
NAP12-09 1200×900×800 100 130 100×100 500 4支撑
NAP12-10 1200×1000×800 100 144 100×100 500 4支撑
NAP12-12 1200×1200×800 100 173 100×100 500 4支撑
NAP15-09 1500×900×800 100 162 100×100 500 4支撑
NAP15-10 1500×1000×800 100 180 100×100 500 4支撑
NAP15-12 1500×1200×800 100 216 100×100 500 4支撑
NAP10-08-K 1000×800×800 100 92 100×100 500 4支撑
NAP12-08-K 1200×800×800 100 111 100×100 500 4支撑
NAP12-09-K 1200×900×800 100 124 100×100 500 4支撑
NAP12-10-K 1200×1000×800 100 138 100×100 500 4支撑
NAP12-12-K 1200×1200×800 100 166 100×100 500 4支撑
NAP15-09-K 1500×900×800 100 155 100×100 500 4支撑
NAP15-10-K 1500×1000×800 100 173 100×100 500 4支撑
NAP15-12-K 1500×1200×800 100 207 100×100 500 4支撑
型号 尺寸(mm)
L1 W1 A B T H H2 L2 W2
NAP10-08(-K) 1000 800 859 654.5 100 800 700 1089 884.5
NAP12-08(-K) 1200 800 1059 654.5 100 800 700 1289 884.5
NAP12-09(-K) 1200 900 1059 754.5 100 800 700 1289 984.5
NAP12-10(-K) 1200 1000 1059 854.5 100 800 700 1289 1084.5
NAP12-12(-K) 1200 1200 1059 1054.5 100 800 700 1289 1284.5
NAP15-09(-K) 1500 900 1359 754.5 100 800 700 1589 984.5
NAP15-10(-K) 1500 1000 1359 854.5 100 800 700 1589 1084.5
NAP15-12(-K) 1500 1200 1359 1054.5 100 800 700 1589 1284.5
尺寸图:
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A38Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
TPR系列气浮隔振光学平台
特点:
• 引入对隔振有较好效果的三线摆系统。
• 采用层流阻尼元件,系统反应更灵敏。
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 ) 高导磁不锈钢,台面也可选
择整体材料为SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择整体材料为
SUS316极弱磁不锈钢面包板。
命名规则:
技术指标:
• 固有频率:垂直方向<1.5~2.5Hz;水平方向<1~1.5Hz
• 隔振效率:垂直方向:5Hz时:75~92%;10Hz时:90%~95%
水平方向:5Hz时:88~94%;10Hz时:92%~98%
• 隔振方式:三线摆隔振系统
• 阻尼方式:层流阻尼
• 工作台面:三层夹心式蜂窝结构(可选配蜂窝粘接式带隔离杯台面)
• 表面平面度:焊接式台面:0.02~0.05mm/600mm×600mm
粘接式台面:0.1mm/600mm×600mm
• 台面厚度:200mm/300mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 侧面包饰:焊接台面为蓝色皮革;粘接台面为黑色皮革;
• 安装孔:M6
• 孔距:25mm×25mm
• 安装孔距边:37.5mm
• 台面加支架总高度:800mm
• 总高度可调范围:-10~+15mm
• 支架负载:1000kg(4支撑)/1500kg(6支撑)
• 单个隔振腿负载:250kg
• 最大空气压力:0.7MPa
• 建议工作空气压力:0.3~0.4MPa
• 水平重复精度:±0.5mm
细节说明: 其它配件:
油水分离器 气浮平台调整水 扳手 水平仪
平、高度的机构
便携式气泵
(低噪音、无油)
不锈钢包角
1.5~2.5Hz
1~1.5Hz
Transmissibility
Frequency (Hz)
Vertical Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
Transmissibility
Frequency (Hz)
Horizontal Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
应用领域:
• 对隔振要求非常高的光学实验,干涉测量、
超快光学、量子光学、光通讯、高分辨显微
实验、微纳光学、非线性光学、半导体行
业、搭建复杂长程光路等。
层流阻尼
TPR 15 - 09 (-K) (-304) (-316)(-WQB)
系列代码:
TPR:三线摆气
浮隔振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离杯
台面
台面宽度:
09:900mm
12:1200mm
15:1500mm
⁝
台面长度:
15:1500mm
18:1800mm
20:2000mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A39
选型表:
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度
(mm)
台面自重
(Kg)
支撑腿截面积
(mm)
支架负载能力
(Kg) 备注
TPR15-09(-K) 1500×900×800 200 189 160×160 1000 4支撑
TPR15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 160×160 1000 4支撑
TPR15-12(-K) 1500×1200×800 200 252 160×160 1000 4支撑
TPR15-15(-K) 1500×1500×800 200 315 160×160 1000 4支撑
TPR18-09(-K) 1800×900×800 200 227 160×160 1000 4支撑
TPR18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 160×160 1000 4支撑
TPR18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 160×160 1000 4支撑
TPR18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 160×160 1000 4支撑
TPR20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 160×160 1000 4支撑
TPR20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 160×160 1000 4支撑
TPR20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 160×160 1000 4支撑
TPR24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 160×160 1000 4支撑
TPR24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 160×160 1000 4支撑
TPR24-18* 2400×1800×800 200 605 160×160 1000 4支撑
TPR30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 160×160 1500 6支撑
TPR30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 160×160 1500 6支撑
TPR35-12 3500×1200×800 300 701 160×160 1500 6支撑
TPR35-15 3500×1500×800 300 877 160×160 1500 6支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
TPR15-09(-K) 1500 900 1200 600 200 800 600
TPR15-10(-K) 1500 1000 1200 700 200 800 600
TPR15-12(-K) 1500 1200 1200 900 200 800 600
TPR15-15(-K) 1500 1500 1200 1200 200 800 600
TPR18-09(-K) 1800 900 1500 600 200 800 600
TPR18-10(-K) 1800 1000 1500 700 200 800 600
TPR18-12(-K) 1800 1200 1500 900 200 800 600
TPR18-15(-K) 1800 1500 1500 1200 200 800 600
TPR20-10(-K) 2000 1000 1600 700 200 800 600
TPR20-12(-K) 2000 1200 1600 900 200 800 600
TPR20-15(-K) 2000 1500 1600 1200 200 800 600
TPR24-12(-K) 2400 1200 1800 900 200 800 600
TPR24-15(-K) 2400 1500 1800 1200 200 800 600
TPR24-18 2400 1800 1800 1500 200 800 600
TPR30-12(-K) 3000 1200 1200 900 300 800 500
TPR30-15(-K) 3000 1500 1200 1200 300 800 500
TPR35-12 3500 1200 1400 900 300 800 500
TPR35-15 3500 1500 1400 1200 300 800 500
尺寸图:
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A40Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
ZDH系列高性能独立型气浮隔振支撑腿
特点:
• 引入对隔振有较好效果的三线摆系统。
• 采用层流阻尼元件,系统反应更灵敏。
• 可搭配不锈钢台面或大理石台面使用。
• 内置油阻尼,可有效减少共振峰值。
应用领域::
• 对隔振要求非常高的光学实验,干涉测量、超快
光学、量子光学、光通讯、高分辨显微实验、微
纳光学、非线性光学、半导体行业、搭建复杂长
程光路等。
命名规则:
技术指标:
• 固有频率:垂直方向<1.5~2.0Hz;水平方向<1.0~1.5Hz
• 隔振效率:垂直方向:5Hz时:75~85%;10Hz时:90%~95%
水平方向:5Hz时:90~94%;10Hz时:92%~98%
• 隔振方式:三线摆隔振系统
• 阻尼方式:层流阻尼
• 工作台面:可选配不锈钢台面或大理石台面
• 支架高度可调范围:-10~+15mm
• 支架负载:3000kg(四支撑)/4500kg(六支撑)
• 单个隔振腿负载:750kg
• 最大空气压力:0.6MPa
• 建议工作空气压力:0.3~0.4MPa
• 水平重复精度:±0.5mm
细节说明: 其它配件:
油水分离器 气浮平台调整水 扳手 水平仪
平、高度的机构
便携式气泵
(低噪音、无油)
1.5~2.0Hz
1~1.5 Hz
Transmissibility
Frequency (Hz)
Vertical Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
Transmissibility
Frequency (Hz)
Horizontal Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
层流阻尼
ZDH – 750 – H400 -4 (-WQB)
系列代码:
ZDH:独立型气浮
隔振支撑腿
支撑腿数量:
4:四支撑腿
6:六支撑腿
⁝
支撑腿高度:
H400:400mm
H500:500mm
单支撑腿最大负载:
750:750kg
⁝
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
⁝
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A41
选型表:
产品型号 支撑腿尺寸(mm) 支撑腿高度H(mm) 单支撑腿重量(Kg) 支架负载能力(Kg) 备注
ZDH-750-H400-4 Φ273 400 25 3000 四支撑
ZDH-750-H450-4 Φ273 450 27 3000 四支撑
ZDH-750-H500-4 Φ273 500 29 3000 四支撑
ZDH-750-H550-4 Φ273 550 31 3000 四支撑
ZDH-750-H600-4 Φ273 600 33 3000 四支撑
ZDH-750-H650-4 Φ273 650 35 3000 四支撑
ZDH-750-H700-4 Φ273 700 37 3000 四支撑
ZDH-750-H400-6 Φ273 400 25 4500 六支撑
ZDH-750-H450-6 Φ273 450 27 4500 六支撑
ZDH-750-H500-6 Φ273 500 29 4500 六支撑
ZDH-750-H550-6 Φ273 550 31 4500 六支撑
ZDH-750-H600-6 Φ273 600 33 4500 六支撑
尺寸图:
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
返回目录
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A42Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
ZSR-P系列独立型气浮隔振光学平台
命名规则:
技术指标:
• 固有频率:垂直方向<1.5~3Hz;水平方向<1~2Hz
• 隔振效率:垂直方向:10Hz时:90%~95%
水平方向:10Hz时:90%~95%
• 隔振方式:单摆杆隔振系统
• 阻尼方式:小孔阻尼
• 工作台面:三层夹心式蜂窝结构(可选配蜂窝粘接式带隔离杯台面)
• 表面平面度:焊接式台面:0.02~0.05mm/600mm×600mm
粘接式台面:0.1mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 侧面包饰:焊接台面为蓝色皮革;粘接台面为黑色皮革
• 安装孔:M6
• 孔距:25mm×25mm
• 安装孔距边:37.5mm
• 台面加支架总高度:800mm
• 最大空气压力:0.7MPa
• 建议工作空气压力:0.3~0.4MPa
• 水平重复精度:±0.5mm
细节说明: 其它配件:
油水分离器 气浮平台调整水 扳手 水平仪
平、高度的机构
便携式气泵
(低噪音、无油)
不锈钢包角
1.5~3Hz
1.0~2Hz
Transmissibility
Frequency (Hz)
Vertical Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
Transmissibility
Frequency (Hz)
Horizontal Transmissibility
Transmissibility (dB)
10
1
1 10 30
0.1
0.01
20
0
-20
-40
特点:
• 半膜片式空气弹簧,隔振性能好。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 自动充气,自动平衡,响应时间短,平衡速度快。
• 标配速度调控,系统更稳定。
• 隔振效果好、性价比非常高的科研级气浮隔振光学平台。
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 ) 高导磁不锈钢,台面也可选
择整体材料为SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择整体材料为
SUS316极弱磁不锈钢面包板。
应用领域:
• 对隔振要求较高的光学实验,需要隔绝大部分地面振
动,如光通讯、高倍光学显微镜、光学成像、精密光
谱测量。
ZSR-P 15 - 09 (-K) (-304) (-316)(-WQB)
系列代码:
ZSR-P:气浮隔
振光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
09:900mm
12:1200mm
15:1500mm
⁝
台面长度:
15:1500mm
18:1800mm
20:2000mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
返回目录
主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
A43
选型表:
尺寸图:
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支架负载能力(Kg) 备注
ZSR-P-15-09(-K) 1500×900×800 200 189 1000 4支撑
ZSR-P-15-10(-K) 1500×1000×800 200 210 1000 4支撑
ZSR-P-15-12(-K) 1500×1200×800 200 252 1000 4支撑
ZSR-P-15-15(-K) 1500×1500×800 200 315 1000 4支撑
ZSR-P-18-09(-K) 1800×900×800 200 227 1000 4支撑
ZSR-P-18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 1000 4支撑
ZSR-P-18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 1000 4支撑
ZSR-P-18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 1000 4支撑
ZSR-P-20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 2000 4支撑
ZSR-P-20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 2000 4支撑
ZSR-P-20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 2000 4支撑
ZSR-P-24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 2000 4支撑
ZSR-P-24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 2000 4支撑
ZSR-P-24-18* 2400×1800×800 200 605 2000 4支撑
ZSR-P-30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 3000 6支撑
ZSR-P-30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 3000 6支撑
ZSR-P-35-12 3500×1200×800 300 701 3000 6支撑
ZSR-P-35-15 3500×1500×800 300 877 3000 6支撑
型号 尺寸(mm)
L W A B T H1 H2
ZSR-P-15-09(-K) 1500 900 1200 600 200 800 600
ZSR-P-15-10(-K) 1500 1000 1200 700 200 800 600
ZSR-P-15-12(-K) 1500 1200 1200 900 200 800 600
ZSR-P-15-15(-K) 1500 1500 1200 1200 200 800 600
ZSR-P-18-09(-K) 1800 900 1500 600 200 800 600
ZSR-P-18-10(-K) 1800 1000 1500 700 200 800 600
ZSR-P-18-12(-K) 1800 1200 1500 900 200 800 600
ZSR-P-18-15(-K) 1800 1500 1500 1200 200 800 600
ZSR-P-20-10(-K) 2000 1000 1600 700 200 800 600
ZSR-P-20-12(-K) 2000 1200 1600 900 200 800 600
ZSR-P-20-15(-K) 2000 1500 1600 1200 200 800 600
ZSR-P-24-12(-K) 2400 1200 1800 900 200 800 600
ZSR-P-24-15(-K) 2400 1500 1800 1200 200 800 600
ZSR-P-24-18 2400 1800 1800 1500 200 800 600
ZSR-P-30-12(-K) 3000 1200 1200 900 300 800 500
ZSR-P-30-15(-K) 3000 1500 1200 1200 300 800 500
ZSR-P-35-12 3500 1200 1400 900 300 800 500
ZSR-P-35-15 3500 1500 1400 1200 300 800 500
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。
隔
振
光
学
平
台
光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
隔
振
光
学
平
台单频阻尼隔振
双
频
阻
尼
隔
振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架
A44Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
ZDR系列独立型气浮隔振光学平台
特点:
• 韩国DAEIL(大一)独立型气浮支架,隔振性能好,摆放位置灵活。
• 标准台面上台板材料为SUS430(1Cr17 ) 高导磁不锈钢,台面也可选择整体
材料为SUS304弱磁不锈钢面包板, 台面也可选择整体材料为SUS316极弱磁
不锈钢面包板。
• 表面经过亚光处理,可有效减少杂散光。
• 侧面为蓝色PU皮革,美观、实用,四角用不锈钢板包角。
• 自动充气,自动平衡,响应时间短,平衡速度快。
• 隔振效果好、负载能力强的科研级气浮隔振光学平台。
应用领域:
• 对隔振要求很高的光学实验,或放置较重设
备,如干涉测量、超快光学、量子光学、精密
光谱实验、大装置等。
技术指标:
• 固有频率:竖直方向< 1.2~3Hz ;水平方向< 1.2~3Hz
• 平面度:0.02~0.05mm/600mm×600mm
• 台面:上台板4~6mm厚不锈钢
• 底板:下底板4~6mm厚,表面喷黑塑处理
• 台面厚度:100/200/300mm,详见选型表
• 台面加支架总高度800mm,总高度可调范围:-10~+15mm
• 孔距:25mm×25mm
• 最边缘孔距边:37.5mm
• 孔径:M6
• 台面重量:100mm厚台面约:120Kg/m2
200mm厚台面约:140Kg/m2
300mm厚台面约:167Kg/m2
细节说明: 其它配件:
大一调整水平 不锈钢包角
及高度的机构
独立气浮支撑腿
及油水分离器
1.2~3.0 Hz
1.2~3.0Hz
扳手 水平仪
命名规则:
ZDR 15 - 09 (-K) (-304) (-316)(-WQB)
系列代码:
ZDR:气浮隔振
光学平台
台面结构:
无(默认):焊接式台面
-K:蜂窝粘接式带隔离
杯台面
台面宽度:
09:900mm
12:1200mm
15:1500mm
⁝
台面长度:
15:1500mm
18:1800mm
20:2000mm
⁝
台面材质:
无(默认):上台板SUS430不锈钢
-304:台面整体SUS304不锈钢
-316:台面整体SUS316不锈钢
空压机选项:
无(默认):产品含空压机
-WQB:产品不含空压机
光学面包板综合介绍主动隔振光学平台
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台单频阻尼隔振
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阻
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主动隔振光学平台
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A45
选型表:
产品型号 整体规格(mm) 台面厚度(mm) 台面自重(Kg) 支架负载能力(Kg) 备注
ZDR09-06(-K) 900×600×800 100 65 400 4支撑
ZDR10-08(-K) 1000×800×800 100 96 400 4支撑
ZDR12-06(-K) 1200×600×800 100 86 400 4支撑
ZDR12-08(-K) 1200×800×800 100 115 400 4支撑
ZDR12-09(-K) 1200×900×800 100 130 400 4支撑
ZDR12-10(-K) 1200×1000×800 100 144 400 4支撑
ZDR12-12(-K) 1200×1200×800 100 173 400 4支撑
ZDR15-09N(-K) 1500×900×800 100 189 900 4支撑
ZDR15-10N(-K) 1500×1000×800 100 210 900 4支撑
ZDR15-12N(-K) 1500×1200×800 100 252 900 4支撑
ZDR15-15N(-K) 1500×1500×800 100 315 900 4支撑
ZDR18-09(-K) 1800×900×800 200 227 900 4支撑
ZDR18-10(-K) 1800×1000×800 200 252 900 4支撑
ZDR18-12(-K) 1800×1200×800 200 302 900 4支撑
ZDR18-15(-K) 1800×1500×800 200 378 900 4支撑
ZDR20-10(-K) 2000×1000×800 200 280 900 4支撑
ZDR20-12(-K) 2000×1200×800 200 336 900 4支撑
ZDR20-15(-K) 2000×1500×800 200 420 900 4支撑
ZDR24-12(-K) 2400×1200×800 200 403 900 4支撑
ZDR24-15(-K) 2400×1500×800 200 504 900 4支撑
ZDR30-12(-K) 3000×1200×800 300 601 1600 4支撑
ZDR30-15(-K) 3000×1500×800 300 752 1600 4支撑
ZDR35-12 3500×1200×800 300 701 1600 4支撑
ZDR35-15 3500×1500×800 300 877 1600 4支撑
ZDR40-12 4000×1200×800 300 802 2400 6支撑
ZDR40-15 4000×1500×800 300 1002 2400 6支撑
ZDR45-12 4500×1200×800 300 902 2400 6支撑
ZDR45-15 4500×1500×800 300 1127 2400 6支撑
注:产品型号带(-K),表示可选蜂窝粘接式带隔离杯台面。
*注:标准台面宽度1500mm(不含)以上,上台板材质为1Cr13(SUS410)。




