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电气规格：
电气规格整体说明：
型号 PSAVxx-240ZF
电机及步距角（°） 二相57步进电机，1.8
工作电流（A） 2.4
电机保持转矩（mN·m） 1900
驱动器品牌及型号（另配） 鸣志，SR4
滑台接头 DB9（针）
限位传感器 2个KX-SS-5GL2
传感器电源电压（V） DC5~24V±10%
控制输出 干触点（干接点）输出
输出逻辑 触发时，输出开关ON（导通）
电机资料：
电机参数：
电机尺寸图：
电机接线图：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.6V
电流 2.4A/相
步距角 1.8° 电阻 1.5×(1+10%)ohm
绝缘电阻 ≥ 100 MΩ(DC500V) 电感 6×(1±20%) mH
绝缘等级 B级 保持力矩 1900 mN·m
使用温度范围 -10~55℃ 制动力矩 2N·m
电气强度 AC600V/1mA/1S 转子惯量 460 g·cm2
重量 1Kg 电机工作时允许
温度上升范围 85℃ Max
电机抱闸电压 24V
PSAVxx-240ZF
尺寸图：
型号 PSAV50-240ZF PSAV100-240ZF PSAV200-240ZF PSAV300-240ZF PSAV400-240ZF
整体高度H(mm) 251~301 308~408 411~611 515~815 627~1027
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B115
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KA 100 (-ST242) (-C) (-ER) (-SR)-Z (-Nx)
KA 系列代码：
KA：高精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金、闭环（1μm 分辨率）
100 行程：
050：50mm 100：100mm 150：150mm 200：200mm 300：300mm400：400mm
ST242 电机类型：
无（默认）：刹车型 2 相步进电机
NM：步进电机接口（不含电机） EN：步进伺服电机（含编码器）
IE：集成驱动的步进伺服电机（485 接口） ST242：配 2 相 42 步进电机
ASP1：配松下 100W 交流伺服电机 ASY2：配安川 200W 交流伺服电机
P1：配松下 100W 电机安装板和联轴器 Y2：配安川 200W 电机安装板和联轴器
C 防护类型：
无（默认）：无防护 C：带防护
ER 光栅尺位置：
无（默认）：左置 ER：右置
SR 传感器位置：
无（默认）：内置 SL：左侧外置 SR：右侧外 置注：传感器与光栅尺不能位于同侧
Z 使用方式代码：
Z：竖直使用
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
* 注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
KAxx -Z系列高精密闭环电动升降台
说明：
KAxx-Z 系列产品是卓立汉光基于 KA 系列产品基础上，增加竖直方向使用的直角固定块及失电保护装置，可实现竖直方向运动的
精密闭环电动升降滑台。除运动方向和负载能力外，其余各项指标均与 KA 系列产品相同。该系列产品主要应用于 Z 轴方向需要进行
精密调整的领域。
命名规则：
KA 600 (-ASP4) (-ER) -Z(-Nx)
KA 系列代码：
KA：高精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金、闭环（0.5μm 分辨率）
600 行程：
600：600mm 800：800mm 1000：1000mm
ASP4 电机类型：
无（默认）：刹车型 2 相步进电机 NM：步进电机接口（不含电机）
EN：步进伺服电机（含编码器） IE：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
ASP4：配松下 400W 交流伺服电机 ASY4：配安川 200W 交流伺服电机
P4：配松下 400W 电机安装板和联轴器 Y2：配安川 400W 电机安装板和联轴器
ER 光栅尺位置：
无（默认）： 左置 ER：右置
Z 使用方式代码：
Z：竖直使用
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm） Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
* 注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
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B116
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选型表：
型号 KA050-Z KA100-Z KA150-Z KA200-Z KA300-Z KA400-Z KA600-Z KA800-Z KA1000-Z
机
械
规
格
行程（mm） 50 100 150 200 300 400 600 800 1000
台面尺寸（mm） 120×120 150X150 200X200
传动机构 精密滚珠丝杠Φ12×4 精密滚珠丝杠Φ16×5 精密滚珠丝杠Φ25×5
导轨（导向机构） 线性滑块导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 8.4 8.8 9.6 10.3 13.3 14.9 30.3 36 41
联轴器（外径-孔径1-孔径2）
（mm） 30-6.35-8 34-8-12
精
度
规
格
闭环分辨率（µm） 1 0.5
20细分开环分辨率（µm） 1 1.25
最大速度（mm/s）* 40 50
单向定位精度（µm） ≤30 ≤70µm
重复定位精度（µm）** ≤±3 ≤±5
背隙（反冲间隙）（µm）** ≤3
回程间隙（µm）** ≤5
静态平行度（mm） ≤0.1 ≤0.12 ≤0.1
运动直线度（µm） ≤10 ≤15 ≤15/100mm
运动平行度（µm） ≤15 ≤20 ≤15/100mm
偏摆（″） ≤30 ≤40 /
俯仰（″） ≤35 ≤55 /
电
气
规
格
电机及步距角（°） 二相57步进电机，步距角1.8
工作电流（A） 2.0 3.0
电机保持转矩（N·m） 1.3 1.57
光栅尺品牌及型号 Fagor，MX或MKX系列 LAMOTION
滑台接头 DB9(针)
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电源电压（V） DC5~24V ±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；
零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；
负
载 竖直负载（Kg） 15 30
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
**注：开环模式下运行。
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KA050-Z
KA150-Z
KA100-Z
KA200-Z
尺寸图：
KA300-Z KA400-Z
型号 KA050-Z KA100-Z KA150-Z KA200-Z KA300-Z KA400-Z KA600-Z KA800-Z KA1000-Z
机
械
规
格
行程（mm） 50 100 150 200 300 400 600 800 1000
台面尺寸（mm） 120×120 150X150 200X200
传动机构 精密滚珠丝杠Φ12×4 精密滚珠丝杠Φ16×5 精密滚珠丝杠Φ25×5
导轨（导向机构） 线性滑块导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 8.4 8.8 9.6 10.3 13.3 14.9 30.3 36 41
联轴器（外径-孔径1-孔径2）
（mm） 30-6.35-8 34-8-12
精
度
规
格
闭环分辨率（µm） 1 0.5
20细分开环分辨率（µm） 1 1.25
最大速度（mm/s）* 40 50
单向定位精度（µm） ≤30 ≤70µm
重复定位精度（µm）** ≤±3 ≤±5
背隙（反冲间隙）（µm）** ≤3
回程间隙（µm）** ≤5
静态平行度（mm） ≤0.1 ≤0.12 ≤0.1
运动直线度（µm） ≤10 ≤15 ≤15/100mm
运动平行度（µm） ≤15 ≤20 ≤15/100mm
偏摆（″） ≤30 ≤40 /
俯仰（″） ≤35 ≤55 /
电
气
规
格
电机及步距角（°） 二相57步进电机，步距角1.8
工作电流（A） 2.0 3.0
电机保持转矩（N·m） 1.3 1.57
光栅尺品牌及型号 Fagor，MX或MKX系列 LAMOTION
滑台接头 DB9(针)
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电源电压（V） DC5~24V ±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；
零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；
负
载 竖直负载（Kg） 15 30
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KA600-Z KA800-Z
KA1000-Z
请知悉：导轨滑块的端盖颜色有所不同，随机发货。
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B119
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电气规格：
电气规格整体说明：
型号
KA050-Z、KA100-Z、
KA150-Z、KA200-Z、
KA300-Z、KA400-Z
KA600-Z、
KA800-Z、KA1000-Z
电机类型 二相57步进电机 二相57步进电机
驱动电流（A） 2.0 3.0
步距角（°） 1.8 1.8
滑台接头&光栅尺接头 2个DB9(针)
限位传感器 2个PM-L25
原点传感器 1个PM-L25
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留
电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑
限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON
（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时
输出晶体管OFF（非导通）；
电机资料：
KA050-Z、KA100-Z、KA150-Z、KA200-Z、KA300-Z、
KA400-Z电机参数：
电机接线图：
电机接线图：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.4V
电流 2.0A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.7±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.0mH/相
（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.316N·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 1.5N·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 245g·cm²
重量 0.9Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机抱闸电压 24V
电机尺寸图：
电机尺寸图：
KA600-Z、KA800-Z、KA1000-Z电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.6V
电流 3.0A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.2±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 2.2mH/相
（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.57N·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2N·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 约500g·cm²
重量 1.4Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机抱闸电压 24V
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B120
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PA 100 (-ST242) (-C) (-SR)-Z (-Nx)
PA 系列代码：
PA：精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金
100 行程：
050：50mm 100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm600：600mm800：800mm
1000：1000mm
ST242 电机类型：
无（默认）：刹车型 2 相步进电机
NM：步进电机接口（不含电机）
EN：步进伺服电机（含编码器）
IE：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
ST242：配 2 相 42 步进电机
ASP1：配松下 100W 交流伺服电机
ASY2：配安川 200W 交流伺服电机
P1：配松下 100W 电机安装板和联轴器 Y2：配安川 200W 电机安装板和联轴器
C 防护类型：
无（默认）：无防护
C：带防护
SR 传感器位置：
无（默认）：内置
SL：左侧外置
SR：右侧外置
Z 使用方式代码：
Z：竖直使用
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
PAxx-Z系列精密电动升降台
说明：
PAxx-Z 系列产品是卓立汉光基于 PA 系列产品基础上，增加竖直方向使用的直角固定块及失电保护装置，可实现竖直方向运动的高
精密电动升降滑台。除运动方向和负载能力外，其余各项指标均与 PA 系列产品相同。该系列产品主要应用于 Z 轴方向需要进行精密调
整的领域。
命名规则：
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B121
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选型表：
型号 PA050-Z PA100-Z PA150-Z PA200-Z PA300-Z PA400-Z PA600-Z PA800-Z PA1000-Z
机
械
规
格
行程（mm） 50 100 150 200 300 400 600 800 1000
台面尺寸（mm） 120×120 150X150 200X200
传动机构 精密滚珠丝杠Φ12×4 精密滚珠丝杠Φ16×5 精密滚珠丝杠Φ25×5
导轨（导向机构） 线性滑块导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 7.6 8.2 9 9.7 12.3 14 29.5 35 40
联轴器（外径-孔径1-孔径2）
（mm） 30-6.35-8 32-8-12
精
度
规
格
分辨率（µm） 20 25
20细分开环分辨率（µm） 1 1.25
最大速度（mm/s）* 40 50
单向定位精度（µm） ≤30 /
重复定位精度（µm） ≤±3 ≤±5
背隙（反冲间隙）（µm） ≤3
回程间隙（µm） ≤5
静态平行度（mm） ≤0.1 ≤0.12
运动直线度（µm） ≤20 ≤25 ≤15µm/100mm
运动平行度（µm） ≤25 ≤30 ≤15µm/100mm
偏摆（″） ≤50 /
俯仰（″） ≤55 ≤60 /
电
气
规
格
电机及步距角（°） 二相57步进电机，步距角1.8
工作电流（A） 2.0 3.0
电机保持转矩（N·m） 1.3 1.57
滑台接头 DB9(针)
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电源电压（V） DC5~24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；
零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；
负
载 竖直负载（Kg） 15 30
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
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PA050-Z PA100-Z
尺寸图：
PA150-Z PA200-Z
PA300-Z PA400-Z
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B123
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PA600-Z PA800-Z
PA1000-Z
请知悉：导轨滑块的端盖颜色有所不同，随机发货。
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B124
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电气规格：
电气规格整体说明：
型号
PA050-Z、PA100-Z、
PA150-Z、PA200-Z、
PA300-Z、PA400-Z
PA600-Z、
PA800-Z、PA1000-Z
电机类型 二相57步进电机 二相57步进电机
驱动电流（A） 2.0 3.0
步距角（°） 1.8 1.8
滑台接头&光栅尺
接头 2个DB9(针)
限位传感器 2个PM-L25
原点传感器 1个PM-L25
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留
电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑
限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON
（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输
出晶体管OFF（非导通）；
电机资料：
PA050-Z、PA100-Z、PA150-Z、PA200-Z、PA300-Z、
PA400-Z电机参数：
电机接线定义：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.4V
电流 2.0A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.7±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.0mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.316N·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 1.5N·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 245g·cm²
重量 0.9Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机抱闸电压 24V
电机尺寸图：
电机尺寸图：
电机接线定义：
PA600-Z、PA800-Z、PA1000-Z电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.6V
电流 3.0A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.2±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 2.2mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.57N·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2N·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 约500g·cm²
重量 1.4Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机抱闸电压 24V
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B125
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TBRU 100 (-XX ) (-SSxx) (-Nx)
TBRU 系列代码：
TBRU：耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、交叉滚柱轴环、闭环
100 台面直径（mm)：
100：Φ102mm 200：Φ196mm
XX 电机类型：
无（默认）：标配步进电机 NM：步进电机接口（不含电机）
EN：步进伺服电机（含编码器） IE：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
SSxx 传感器位置：
无（默认）：内置零位传感器 SSxx：外置限位传感器，xx 为角度范围
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm） Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
TBRU系列高精密闭环电动旋转台
说明：
TBRU 系列产品是卓立汉光为解决全闭环使用、高重复性、高精密性而开
发的高精密闭环电动旋转滑台。导向机构采用精密交叉滚柱轴环，轴系结构采
用耐磨的精研蜗轮蜗杆，蜗杆材质为合金结构钢，经过高频淬火处理，硬度高，
刚性好，蜗轮材质选用锡青铜，具有突出的耐磨性。主体采用硬质铝合金，表
面黑色阳极氧化处理，外形美观。保证了高旋转精度，轴向跳动、同心度等关
键指标达到国际同类产品水平。特有的蜗轮蜗杆调整机构，有效的消除了机械
误差并保证长期使用精度。该系列产品具有较高的负载能力，可用于竖直及倒
置使用。
特点：
•使用精研蜗轮蜗杆传动，实现高定位性能
•内置光栅尺，闭环分辨率可达0.55″
•采用高等级交叉滚柱轴环，具有高运动特性
•标配二相步进电机，稳定、可靠
•内置零位传感器
命名规则：
Worm and Gear
电动旋转台
电动旋转台是指通过电机驱动控制台面绕 Z 轴方向做旋转运动的电动设备。
TBR及TBRF系列
TBRK系列
SIN系列
中、大尺寸 蜗轮蜗杆 交叉滚柱轴环 超高精度、高刚性、高承载
小、中尺寸 蜗轮蜗杆 交叉滚柱轴环 高精度、高刚性、高耐用性
小尺寸 滚珠丝杠 线性滑块导轨 高精度、正弦机构、小角度
电动旋转台
TBRU系列 中、大尺寸 蜗轮蜗杆 交叉滚柱轴环 高精度、高重复性、高承载
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B126
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选型表：
型号 TBRU100 TBRU200
机械规格
台面尺寸（mm） Φ102 Φ196
角度范围（°） 360
蜗轮蜗杆传动比 180:1
导轨（导向机构） 交叉滚柱轴环
蜗轮材料 耐磨锡青铜
蜗杆材料及工艺 钢质，高频淬火
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 3.4 11.5
联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm） 20-5-5 25-6.35-6.35
精度规格
闭环分辨率（°/pp） 0.000152027 0.0000762712
开环8细分下的分辨率（°） 0.00125
最大速度（°/s）* 20
重复定位精度（°） ≤±0.003
背隙（反冲间隙）（um） ≤6 ≤12
回程间隙（空转或反转定位精度）（°） ≤0.003
静态平行度（mm） ≤0.08
端跳（轴向跳动）（µm） ≤36 ≤40
同心度（径向跳动）（µm） ≤27 ≤30
电气规格
步进电机（步距角1.8°） 二相42 二相57
工作电流（A） 1.7 2.4
电机扭矩（N·m） 0.42 1
光栅尺品牌 LAMOTION
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器 无（外置可选）
原点传感器（内置） 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电压（V） DC5~24V±10%
消耗电流（mA） ≤15
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5～24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
负载
水平负载（Kg） 20 40
倒置负载（Kg） 5 10
竖直负载（Kg） 5 10
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
最大负载内，不需要增加抱闸电机。
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B127
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TBRU100
尺寸图：
TBRU200
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B128
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型号 TBRU100 TBRU200
电机类型 二相42步进电机 二相57步进电机
驱动电流（A） 1.7 2.4
步距角（°） 1.8
滑台接头&光栅
尺接头 2个DB9(针)
限位传感器 无（外置可选）
原点传感器 SUNX PM-L25
传感器电压
（V） DC5～24V±10％
消耗电流（mA） 合计15mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时:输出晶体管ON（导通）
电气规格：
TBRU100电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.8V
电流 1.7A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.5±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.2mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 0.43N·m以上/Min
使用温度
范围 -10～+55℃ 制动力矩 18mN·m 参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 57g·cm²
重量 0.28Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机资料：
TBRU200电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.88V
电流 2.4A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.2±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 4mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1N·m以上/Min
使用温度
范围 -10～+55℃ 制动力矩 0.04N·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无
异常 转子惯量 260g·cm²
重量 0.6Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
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149综合介绍电动升降滑台多轴系统晶圆设备对位平台电动摆动滑台控制器及驱动器电动旋转滑台电动直线滑台六轴并联机器人
电机尺寸图：
TBR100电机接线图： TBR200电机接线图：
TBR60L电机接线图：
电机资料：
TBR60N电机接线图：
电机尺寸图：
电机尺寸图： 电机尺寸图：
TBRF60L电机接线图：
电机尺寸图：
TBRF75L电机接线图：
电机尺寸图：
TBRU100电机接线图： TBRU200电机接线图：
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B129
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TBRK 100 (-XX) (-SSxx) (-Nx)
TBRK 系列代码：
TBRK：耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、交叉滚柱轴环
100 台面直径（mm)：
100：Φ102mm
200：Φ196mm
XX 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
NM： 步进电机接口 （不含电机）
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
ASP1：配松下 100W 交流伺服电机
ASY2：配安川 200W 交流伺服电机
P1： 配松下 100W 电机安装板和联轴器
Y2： 配安川 200W 电机安装板和联轴器
SSxx 传感器位置：
无（默认）： 内置零位传感器
SSxx：外置限位传感器，xx 为角度范围
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
TBRK系列精密半闭环电动旋转台
说明：
TBRK 系列产品是采用交叉滚柱轴环的电动旋转滑台，独特的轴系结构和耐
磨的精研蜗轮蜗杆，保证了高旋转精度，端跳、径跳等关键指标达到国际水平。
特有的蜗轮蜗杆调整机构，可以方便地消除机械误差，保证长期使用精度。
特点：
•使用精研蜗轮蜗杆传动，实现较高的定位性能
•采用高等级交叉滚柱轴环，具有较高的运动性能
•标配带编码器的二相步进电机，稳定、可靠
命名规则：
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B130
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型号 TBRK100 TBRK200
机械规格
台面尺寸（mm） φ102 φ196
角度范围（°） 360
蜗轮蜗杆传动比 180:1
导轨（导向机构） 交叉滚柱轴环
蜗轮材料 耐磨锡青铜
蜗杆材料及工艺 钢质，高频淬火
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 2.3 7.2
联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm） 20-5-5 25-6.35-6.35
精度规格
半闭环分辨率（°） 0.0005
8细分下的开环分辨率（°） 0.00125
最大速度（°/s）* 20
重复定位精度（°） ≤±0.003
背隙（反冲间隙）（µm） ≤6 ≤12
回程间隙（空转或反转定位精度）（°） ≤0.003
静态平行度（mm） ≤0.08
端跳（轴向跳动）（µm） ≤36 ≤40
同心度（径向跳动）（µm） ≤27 ≤30
电气规格
电机及步距角（°） 二相42步进电机，1.8 二相57步进电机，1.8
工作电流（A） 1.5 1.8
电机扭矩（N·m） 0.46 1.25
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器 无（外置可选）
原点传感器（内置） 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电压（V） DC5~24V±10%
消耗电流（mA） 合计15mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5～24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
负载
水平负载（Kg） 20 40
倒置负载（Kg） 5 10
竖直负载（Kg） 5 10
选型表：
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
最大负载内，不需要增加抱闸电机。
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B131
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TBRK100 TBRK200
尺寸图：
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B132
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电气规格：
电气规格整体说明：
型号 TBRK100 TBRK200
电机类型 二相42步进电机 二相57步进电机
驱动电流（A） 1.5 1.8
步距角（°） 1.8 1.8
滑台接头&编码器接头 2个DB9(针)
原点传感器 1个PM-L25
消耗电流（mA） 合计15mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下残留
电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 零位光电传感器：
检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；
电机资料：
TBRK100电机参数：
TBRK200电机参数：
电机接线定义：
电机接线定义：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.85V
电流 1.5A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.9±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/
Min 电感 2.2mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 0.46N·m以上/Min
使用温度范围 -20～+50℃ 转子惯量 57g·cm²
绝缘强度 500V AC
1分钟无异常 编码器分辨率 4000脉冲/转(1000 线 )
重量 0.29Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
通用技术参数 电气技术参数
相数 2
电压 4.32V
电流 1.8A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 2.4±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/
Min 电感 2.2mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.25N·m以上/Min
使用温度范围 -20～+50℃ 转子惯量 260g·cm²
绝缘强度 500V AC
1分钟无异常 编码器分辨率 4000脉冲/转(1000 线 )
重量 0.61Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电机尺寸图：
电机尺寸图：
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B133
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TBR 200 (L) (-ASP2) (-SSxx) (-Nx)
TBR 系列代码：
TBR：耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、交叉滚柱轴环
TBRF：高速、耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、交叉滚柱轴环
200 台面直径（mm)：
60： Φ59
75：Φ75
100：Φ102
200：Φ196
L 电机座位置：
无（默认）：右侧
L：左侧
N：特殊型号（台面 Φ60mm)
ASP2 电机类型：
无（默认） ：标配 2 相步进电机
ASP1：松下交流伺服 100W
ASP2：安川交流伺服 200W
NM： 步进电机接口 （不含电机）
EN：步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
SSxx 传感器位置：
无（默认）： 内置零位传感器
SSxx：外置限位传感器，xx 为角度范围
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
TBR/TBRF系列耐磨电动旋转台
说明：
TBR 系列产品是卓立汉光为解决高精度、高刚性、高重复使用频率等严苛
的工业自动化使用要求而专门开发的电动旋转滑台，TBR 系列已全面取代老款
RSA 和 RAP 系列产品。TBR 系列产品采用锡青铜蜗轮，具有非常突出的耐磨性。
蜗杆为钢质材料，经过高频淬火处理，硬度高、刚性好。主体采用硬质铝合金，
表面黑色阳极氧化处理，外型美观。导向机构采用精密交叉滚柱轴环（也称交
叉滚子轴承），强度高、负载能力强、耐用性好，可水平、竖直、倒置使用。内
部采用精密轴系结构，使得该系列产品具有较高的运动精度。该系列产品非常
适合在工况复杂、耐用性要求较高的仪器设备或自动化生产线中使用。
TBR 系列标准产品蜗轮蜗杆具有较大传动比，啮合精度较高，速度相对较慢。
为了解决快速转动的需求，卓立汉光在 TBR 基础上，开发出转速更快、刚性更
强的TBRF系列产品。TBRF系列旋转滑台采用较小传动比的蜗轮蜗杆，速度更快，
但啮合精度稍低，TBRF 产品比较适合高速、耐磨但对啮合精度要求不太高的情
况下使用。
特点：
•蜗轮采用锡青铜材料，具有非常突出的耐磨性
•蜗杆为优质合金钢，经过高频淬火处理，硬度高、
刚性好
•导向机构采用精密交叉滚柱轴环（也称交叉滚子轴
承），强度高、负载能力强、耐用性好，可水平、
竖直、倒置使用
•在使用高啮合度蜗轮蜗杆的基础上，增加调隙结
构，保证运行顺畅的同时，有效减小背隙
•标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装各
品牌伺服电机
•内置零位传感器，使用方便
命名规则：
Worm and Gear
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B134
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选型表：
型号 TBR60N TBR60L TBR100 TBR200 TBRF60L TBRF75L
机械
规格
行程(°) 360
台面尺寸(mm) φ60 φ59 φ102 φ196 φ60 φ75
传动机构 蜗轮蜗杆
传动比 110:1 180:1 60:1
蜗轮材质 锡青铜
蜗杆材质及工艺 钢制，高频淬火
导轨 交叉滚柱轴环 角接触球轴承 交叉滚柱轴环
主体材料即表面处理 铝合金，黑色阳极氧化
自重(kg) 0.8 0.7 2 7 1.1 1.4
联轴器 19-04-05 19-04-05 20-05-05 25-6.35-6.35 19-05-05 19-05-05
精度
规格
分辨率(整步/半步) ≈0.016/0.008 0.01/0.005 0.03/0.015 0.03/0.015
最大速度(°/s)* 32.7 20 60
重复定位精度(°) ≤±0.01 ≤±0.005 ≤±0.015
回程间隙(°) ≤0.05 ≤0.01 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.02
静态平行度(mm) ≤0.1 ≤0.08 ≤0.1 ≤0.1 ≤0.08
背隙(µm) ≤26 ≤8 ≤6 ≤12 ≤20 ≤25
轴向跳动(µm) ≤40
径向跳动(µm) ≤25 ≤30 ≤45 ≤25
电机
参数
相数 2
步距角(°) 1.8
绝缘电阻 100MΩ以上/Min
绝缘强度 \"500V AC
1分钟无异常\"
绝缘等级 UL B级
重量(kg) 0.11 0.14 0.28 0.6 0.11 0.29
电压(V) 2.93 3.3 2.8 2.88 2.93 2.8
电流 1.3A/相 1.0A/相 1.7A/相 2.4A/相 1.3A/相 1.7A/相
电阻 2.25±10%Ω/相 3.3±10%Ω/相 1.5±10%Ω/相 1.2±10%Ω/相 2.25±10%Ω/相 1.65±10%Ω/相
电感 1.25mH/相 2.5±20%mH/相 3.2mH/相 4.0mH/相 1.25mH/相 3.6mH/相
保持转矩 0.156N.m 0.1N.m 0.43N.m 1.0N.m 0.156N.m 0.456N.m
制动力矩 0.0032N.m(参考
值) 0.005N.m(参考值) 0.0018N.m(参考
值) 0.04N.m(参考值) 0.0032N.m(参考
值) 0.005N.m(参考值)
转子惯量 17g.c㎡ 11g.c㎡ 57g.c㎡ 260g.c㎡ 17g.c㎡ 56g.c㎡
使用温度 0~+50℃ -10~+50℃ -20~+50℃ 0~+50℃
电机工作允许温度范围 80℃ Max
接头
传感
器
滑台接头 DB9(针)
滑台接头类型 高柔性线缆
滑台接头线缆长度(m) 0.2
限位传感器 无
原点传感器 1个GP1S09xHCPI (日本SHARP) 1个PM-L25(日本SUNX) 1个GP1S09xHCPI (日本SHARP)
传感器电压 DC5-24V±10%
消耗电流 合计60mA以下 合计15mA以下 合计60mA以下
控制输出
NMOS管开路漏电
极输出DC5-24V
8mA以下
NPN开路集电极
输出DC5-24V
8mA以下
NPN开路集电极输出DC5-24V 50mA
以下
NPN开路集电极
输出DC5-24V
8mA以下
NMOS管开路漏电
极输出DC5-24V
8mA以下 残留电
压0.3V以下(负载
电流2mA时)
输出逻辑 检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
检测(遮光)时：输
出晶体管ON(导通)
负载
水平负载(kg) 5 20 40 10 15
竖直负载(kg) 2 5 10 4 5
倒置负载(kg) 5 10 4 5
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
最大负载内，不需要增加抱闸电机。
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B135
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TBR60N TBR60L
TBR100 TBR200
尺寸图：
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B136
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TBRF60L TBRF75L
蜗杆支撑结构
（一对角接触球轴承+一个深沟球轴承）
蜗杆座固定结构
（侧面6个螺钉，底面2个螺钉，确保刚性）
内部固定结构
（6个螺钉固定蜗轮，12个螺钉压紧交叉滚子轴承）
蜗轮蜗杆及交叉滚子轴承（红色部分）
内置零位传感器（日本SUNX PM-L25）
台面内孔（红色面）精铣加工，可做基准面
结构细节展示（TBR200为例）：
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B137
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电机尺寸图：
电机尺寸图：
TBR100电机接线图：
TBR60N电机接线图：
TBR200电机接线图：
电机资料：
TBR60L电机参数：
电机尺寸图：
电机尺寸图：
TBRF60L电机接线图：
电机尺寸图：
TBRF75L电机接线图：
电机尺寸图：
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B138
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SIN 12-60 (-ST528) (-Nx)
SIN 系列代码：
SIN：正弦机构，高精密、
铝合金、线性滑块导轨
12 角度范围：
12：±6°
18：±9°
60 台面尺寸（mm)：
40：Ф39mm
60：Ф60mm
ST528 电机类型：
无（默认） ：标配 2 相步进电机
ST528：5 相 28 步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
EN：步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
SIN系列正弦结构旋转台
说明：
SIN 系列产品是卓立汉光为解决小尺寸、小回程间隙、高重复使用
频率等情况专门设计的精密型正弦机构滚珠丝杠旋转滑台。该系列产品
主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型
美观。采用精密线性滑块导轨，运行更顺畅、强度更高、负载能力更强、
耐用性更好，配合导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运
动精度。驱动机构采用进口滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机，
可提供较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、
尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使
用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。
特点：
•正弦旋转机构，在小角度范围内，可满足高精度、高往复
频率的使用要求
•采用进口小导程（1mm）滚珠丝杠，标配二相步进电机，
可提供较高的分辨率和定位精度
•采用精密线性滑块导轨，强度高、负载能力强、耐用性好
•导轨安装面采用精密加工工艺，使得产品具有较高的运动
精度
•内置两个传感器（正负限位），采用高柔线缆并实现线缆
模组化，维护更方便
命名规则：
Linear Slide Guide
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B139
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选型表：
型号 SIN18-40 SIN12-60
机械规格
角度行程（°） ±9 ±6
台面尺寸（mm） φ39 φ60
台面厚度（mm） 35±0.1
驱动机构（丝杠） 滚珠丝杠，φ6×1
导向机构（导轨、轴承） 平移：精密线性滑块导轨；旋转：成对角接触球轴承
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 0.35 0.5
联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm） 16-3-5
精度规格
分辨率（整步/半步，°） ≈0.0179/0.009 ≈0.011/0.0055
20细分下的分辨率（°） ≈0.0009 ≈0.00055
微步能力（°） ≤0.0179 ≤0.011
最大速度（°/s）* 35.8 22
重复定位精度（°） ≤±0.005
回程间隙（空转或反转定位精度）（°） ≤0.01
静态平行度（mm） ≤0.08
轴向跳动（µm） ≤5
径向跳动（µm） ≤10
电气规格
电机及步距角（°） 二相28步进，1.8
工作电流（A） 1.3
电机保持转矩（mN·m） 78.5
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
原点传感器 无
限位传感器（内置） 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
传感器电源电压 DC5～24V±10%
传感器控制输出 NPN开路集电极输出;DC5～24V 8mA以下
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
负载 水平负载（Kg） 4 6
*注：最大速度是旋转台面处于中心位置时，空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
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B140
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尺寸图：
SIN18-40 SIN12-60
细节展示:
进口小导程滚珠丝杠 模块化线缆方便维护 旋转部分采用精密轴系结构 线性滑块导轨
转接附件详见附件页。
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B141
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电气规格：
电气规格整体说明：
型号 SIN18-40、SIN12-60
电机类型 二相28步进电机
驱动电流（A） 1.3
步距角（°） 1.8
滑台接头 DB9（针）
限位传感器 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
原点传感器 无
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出
NPN开路集电极输出
DC5～24V 8mA以下
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
线缆长度（m） 0.2
电机资料：
电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 1.9V
电流 1.3A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.45±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 1.25 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 78.5mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2.94mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 8 g·cm2
重量 0.11Kg 电机工作时允许温度上升范围 80℃ Max
电机尺寸图：
电机接线定义：
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B142
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GON 100-80 (-ST528) (-Nx)
GON 系列代码：
GON：正弦机构、高精密、铝合金、弧形交叉滚柱导轨
100 设计中心高度（mm)：
40：40mm；50：50mm；60：60mm；75：75mm；100：100mm；140：140mm
80 台面尺寸（mm²）：
40：40×40mm；60：60×60mm；80：80× 80mm
ST528 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
ST542：5 相 28 步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
电动摆动滑台
GON系列电动摆动台
说明：
GON 系列电动摆动台是卓立汉光为解决小尺寸、高重复使用频率等情况专
门设计的精密型电动摆动滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色
阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用弧形交叉滚柱导轨，强度高、负
载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精密加工技术，使该系列产品
具有较高的运动精度。驱动机构采用滚珠丝杠传动，标配二相步进电机，可提供
较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求
较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频
率高的工业生产线中。
特点：
•滚珠丝杠驱动，耐用性好，满足高精度、高往复
频率使用需求
•采用弧形交叉滚柱导轨与直线导轨配合，有效控
制摆动时空间旋转中心位置偏差
•标配二相步进电机，稳定、可靠
命名规则：
电动摆动滑台是指通过电机驱动控制台面以某一轴为旋转轴，绕其做圆弧摆动的电动设备。
PSAG系列
TBG系列
GON系列 小尺寸 滚珠丝杠 弧形交叉滚柱导轨 高精度、正弦机构
小尺寸 蜗轮蜗杆 弧形交叉滚柱导轨或滚珠导轨 高精度、高刚性、高耐用性
中、大尺寸 蜗轮蜗杆 弧形V型弧形导轨 高刚性、高承载
电动摆动滑台
Linear Slide Guide Curved Cross
Roller Guide
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B143
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选型表：
型号 GON50-60 GON75-60 GON40-40 GON60-40 GON100-80 GON140-80
机
械
规
格
设计中心高度（mm） 50 75 40 60 100 140
台面尺寸（mm） 60×60 40×40 80×80
角度范围（°） ±8.5 ±6 ±8 ±6 ±4 ±3
传动机构 滚珠丝杠，Φ6×1
导轨（导向机构） 弧形交叉滚柱导轨 弧形交叉滚柱导轨+线性滑块导轨
主体材料 铝合金，黑色阳极氧化处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 1.12 1.12 0.64 0.64 0.9 0.9
联轴器（外径-孔径1-孔
径2）（mm） 16-5-5 12-3-5 16-3-5
精
度
规
格
整步分辨率（°） 0.005 0.004 0.002 0.003 0.0025 0.0018
8细分下的分辨率
（°） ≈0.0006 ≈0.0005 ≈0.00025 ≈0.0004 ≈0.0003 ≈0.0002
最大速度（°/s）* ≈10 ≈7.5 ≈15 ≈5.03 ≈3.72
重复定位精度（°） ≤0.002 ≤±0.001
背隙（反冲间隙）
（°） ≤0.003 ≤0.004 ≤0.003
回程间隙（空转或反转
定位精度）（°） ≤0.005 ≤0.004 ≤0.003
旋转中心摆动精度(mm) ≤0.01
电
气
规
格
电机及步距角（°） 二相28步进电机，1.8
工作电流（A） 1.3
电机扭矩（N·m） 0.079
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度
（m） 0.2
限位传感器（内置） 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
原点传感器（内置） 1个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
传感器电压（V） DC5~24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下；
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
负
载
水平负载（Kg） 5 2.5 4 5
倒置负载（Kg） 1.5
竖直负载（Kg） 2
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值
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B144
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GON40-40
GON60-40
GON50-60
GON75-60
尺寸图：2820 5.5
10 68.2
120
40
±8°
32
32
40
40
13.5
4-M3
32
32 4- 3.4
6 counterbore
GON40-40
±6°
2820
10 68.2
120
5.5 60
32
32 4- 3.4
6 counterbore
4032
32
40
4-M3
13.5
GON60-40
±8.5°
3025
10 91
142
50 50
50
60
60
17
4-M4
50
50 4- 4.3
8 counterbore
GON50-60
±8.5°
3025
10 91
142
50 50
50
60
60
17
4-M4
50
50 4- 4.3
8 counterbore
GON50-60
±8.5°
3025
10 91
142
50 50
50
60
60
17
4-M4
50
50 4- 4.3
8 counterbore
GON50-60
±6°
3025
10 91
142
75 50
50 4- 4.3
8 counterbore
6050
50
60
17
4-M4
GON75-60
±6°
3025
10 91
142
75 50
50 4- 4.3
8 counterbore
6050
50
60
17
4-M4
GON75-60
2820 5.5
10 68.2
120
40
±8°
32
32
40
40
13.5
4-M3
32
32 4- 3.4
6 counterbore
GON40-40
±6°
2820
10 68.2
120
5.5 60
32
32 4- 3.4
6 counterbore
4032
32
40
4-M3
13.5
GON60-40
±8.5°
3025
10 91
142
50 50
50
60
60
17
4-M4
50
50 4- 4.3
8 counterbore
GON50-60
±6°
3025
10 91
142
75 50
50 4- 4.3
8 counterbore
6050
50
60
17
4-M4
GON75-60
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B145
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GON100-80 GON140-80
尺寸图：
电气规格：电气规格整体说明：
电机资料：电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 1.9V
电流 1.3A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.45±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 1.25 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 78.5 mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2.94mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 8g·cm2
重量 0.11Kg 电机工作时允许温度上升范围 80℃ Max
电机接线图：
型号 GON100-80 GON140-80
电机类型 二相28步进电机
驱动电流（A） 1.3
步距角（°） 1.8
滑台接口 DB9（针）
限位传感器 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
原点传感器 1个 GP1S09xHCPI（日本SHARP）
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出 ;DC5～24V 8mA以下;残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
电机尺寸图：
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B146
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TBGX 100-80 (-ST542) (-Nx)
TBGX 系列代码：
TBG：耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、弧形导轨
TBGX：耐磨锡青铜蜗轮、高精密、铝合金、弧形交叉滚子导轨
100 设计中心高度（mm)：
45：45
80：80
100：100
140：140
80 台面尺寸（mm²）：
60：60mm × 60mm
80：80mm × 80mm
ST542 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
ST542：5 相 42 步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
BR：刹车型 步进电机
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
说明：
TBG 系列电动摆动台是卓立汉光为解决小尺寸、高重复使用频率等情况
专门设计的精密型电动摆动滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表
面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。采用弧形 V 型滚珠或弧形交叉
滚子导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精
密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用蜗杆传动，
蜗轮采用耐磨锡青铜，标配二相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度。
该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精
密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线
中。
TBG系列电动摆动台
特点：
•精研蜗轮蜗杆驱动，蜗轮采用耐磨锡青铜，更
加耐用
•部分采用弧形交叉滚子导轨，在保证良好的运
动性能同时提高产品寿命。
命名规则：
Worm and Gear Curved Ball Guide
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B147
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选型表：
型号 TBG45-60 TBG80-60 TBGX100-80 TBGX140-80
机
械
规
格
设计中心高度(mm) 45 80 100 140
台面尺寸（mm） 60×60 80×80
角度范围（°） ±10 ±8 ±8 ±6
蜗轮蜗杆传动比 159:1 247:1 299:1 399:1
导轨（导向机构） 弧形V型滚珠导轨 弧形交叉滚子导轨
蜗轮材料 耐磨锡青铜
蜗杆材料及工艺 钢质，高频淬火
主体材料 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 0.9 1.2
联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm） 16-5-5 19-5-5
精
度
规
格
整步分辨率（°） ≈0.011 ≈0.007 ≈0.006 ≈0.0045
8细分下的分辨率（°） ≈0.001 ≈0.0009 ≈0.0007 ≈0.0005
最大速度（°/s）* ≈22 ≈14 ≈12 ≈9
重复定位精度（°） ≤±0.005
背隙（反冲间隙）（µm） ≤7 ≤10 ≤12 ≤15
回程间隙（空转或反转定位精度）（°） ≤0.01
台面厚度（mm） 35 40
旋转中心摆动精度(mm) ≤0.01
电
气
规
格
步进电机及步距角(°) 二相42步进电机，1.8
工作电流（A） 1.7
电机扭矩（N·m） 0.456
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器（内置） 2个GP1S092HCPI（日本SHARP）
原点传感器（内置） 1个GP1S092HCPI（日本SHARP）
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下；残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
负
载
水平负载（Kg） 4 5 4 5
倒置负载（Kg） 1.5 2.5 1.5 2.5
竖直负载（Kg） 2 3 2 3
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
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B148
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尺寸图：
TBG45-60
TBGX100-80
TBG80-60
TBGX140-80
转接附件详见附件页。
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B149
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电机接线图：
电机资料：
电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.8V
电流 1.7A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.65±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.6 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 456 mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 5mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 56 g·cm2
重量 0.29Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
电气规格：
电气规格整体说明：
型号 TBG45-60 TBG80-60 TBG100-80 TBG140-80
电机类型 二相42步进电机
驱动电流（A） 1.7
步距角（°） 1.8
滑台接口 DB9（针）
限位传感器 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）
原点传感器 1个 GP1S09xHCPI（日本SHARP）
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出
NPN开路集电极输出
DC5～24V 8mA以下
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
电机尺寸图：
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B150
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PSAG 15-130 (-XX) (-Nx)
PSAG 系列代码：
PSAG：蜗轮蜗杆、标准精度、弧形 V 型滚珠导轨
15 行程：
15：±15°
130 设计中心高度（mm)：
130：130
195：195
250：250
370：370
XX 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
BR：刹车型 步进电机
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
说明：
PSAG 系列是卓立汉光开发的摆动台产品，其主体材料采用硬质
铝合金，表面黑色阳极氧化处理，外形大方、美观。采用精密蜗轮蜗
杆驱动，弧形 V 型滚珠导轨导向，强度高、负载能力强、耐用性好，
配合卓立汉光的导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动
精度，达到国内领先水平。
PSAG系列电动摆动台
特点：
•采用精研蜗轮蜗杆驱动，定位精度较高
•采用弧形V型滚珠导轨，有效控制旋转时的空间中心位置偏差
•尺寸适中，方便同卓立汉光其他电移台产品组合使用
•调整角度较大，适合于大多数调整领域
•标配二相步进电机，带自锁，稳定、可靠
命名规则：
Worm and Gear Curved Ball Guide
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B151
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选型表：
型号 PSAG15-130 PSAG15-195 PSAG15-250 PSAG15-370
机
械
规
格
台面尺寸（mm） 120×130 120×180 250×250 250×340
角度范围（°） ±15
整体高度（mm） 65±0.1 65±0.1 110±0.1 155±0.1
蜗轮蜗杆传动比 320:1 450:1 610:1 870:1
导轨（导向机构） 弧形V型滚珠导轨
蜗轮材料 黄铜
蜗杆材料及工艺 钢质，高频淬火
主体材料 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 3.5 4.3 14.8 30
联轴器（外径-孔径1-孔径2）
（mm） 20-5-8 30-6.35-10
精
度
规
格
整步分辨率（″） 20.25 14.4 10.62 7.45
8细分下的分辨率（″） ≈2.5 ≈1.8 ≈1.32 ≈0.93
最大速度（°/s）* 11.25 8 ≈5.9 ≈4.1
电
气
规
格
电机及步距角（°） 2相42步进电机，1.8 2相57步进电机，1.8
工作电流（A） 1.7 2.4
电机扭矩（N·m） 0.42 1.72
滑台接头 DB9（针）
限位传感器（内置） 2个KX-EE-SX672 2个KX-SS-5GL2
原点传感器（内置） 1个PI-ITR8104 /
传感器电压（V） DC5~24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出
限位传感器：干触点（干接点）输出；
零位光电传感器：NPN开路集电极输出；
DC5~24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流
2mA时）
限位传感器：干触点（干接点）输出
输出逻辑
限位传感器：触发时，输出开关ON（导通）；
零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管
OFF（非导通）
限位传感器：触发时，输出开关ON（导通）
负
载 水平负载（Kg） 20 30
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B152
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尺寸图 ：
PSAG15-250 PSAG15-370
PSAG15-130 PSAG15-195
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B153
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电气规格：
电气规格整体说明：
型号 PSAG15-130、PSAG15-195 PSAG15-250、PSAG15-370
电机类型 二相42步进电机 二相57步进电机
驱动电流（A） 1.7 2.4
步距角（°） 1.8
滑台接头 DB9（针）
限位传感器 2个KX-EE-SX672 2个KX-SS-5GL2
原点传感器 1个PI-ITR8104 /
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出
限位传感器：干触点(干接点)输出
零位光电传感器：NPN开路集电极输出
DC5～24V 8mA以下，残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
限位传感器：干触点（干接点）输出
输出逻辑 限位传感器：触发时，输出开关ON(导通)
零位光电传感器：检测（遮光）时，输出晶体管OFF（非导通） 限位传感器：触发时，输出开关ON（导通）
电机资料：
PSAG15-130、PSAG15-195电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.8V
电流 1.7A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.5±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.2mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 420 mN·m以上/Min
使用温度范围 -10～+55℃ 制动力矩 18mN·m参考值
绝缘强度 500V 50Hz 1分钟无异常 转子惯量 32 g·cm2
重量 0.24Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
PSAG15-250、PSAG15-370电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 3.6V
电流 2.4A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.5±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 5.4mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 1.72N·m以上/Min
使用温度范围 -10~+55℃ 制动力矩 0.07N·m参考值
绝缘强度 500V 50Hz 1分钟无异常 转子惯量 460g·cm²
重量 1.1Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
PSAG15-130、PSAG15-195电机尺寸图：
PSAG15-250、PSAG15-370电机尺寸图：
PSAG15-130、PSAG15-195电机接线定义：
PSAG15-250、PSAG15-370电机接线定义：
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B154
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对位平台
在工业生产线上，经常需要对工件进行扫描或位置修正，此时常常用到对位平台。对位平台通常需要配合视觉（成像）系统运行 ：
将采集到的图像传输到上位机，通过图像处理软件，算出偏移位置和角度，再传送给外部运动控制器，进行位置纠正，实现精确对位。
基于机器视觉技术的对位系统广泛用于丝印机、半导体晶元切割、PCB 焊接、精密自动化装配、曝光机等场合。它集成了图像处理、
精密机械、运动控制等技术。与传统机械自动化设备相比，使用动态图像作为位置闭环参照，具有精度高、响应快、多自由度误差位置
补偿的特点，智能化程度高，可以大量减少人工的使用，对位时间短，生产效率高。
扫描机构一般是通过 X 和 Y 两个方向（分别或者同时）的运动来实现，目前比较常见的 XY 二维扫描结构有 ：
XY 二维组合式结构配置比较灵活，但正交度（XY 两轴的垂直度）比较难保证，一定程度上可能会影响到扫描精度。而 XY 二维整
体式结构，XY 轴正交度较好，但整体加工比较困难。另外，由于采用交叉滚柱导轨，运动范围受限，扫描范围无法太大。
当工件需要进行位置修正（对位）时，除了 X 和 Y 两个方向的直线运动外，通常还需要增加 θz 方向的旋转运动，比较常见的 XYθ
三维对位方式有以下几种类型 ：
Xθ+Y组合式（工件和成像设备分别运动） XYθ组合式（工件运动） XYθ整体式并联机构（也称为XXY、
XYY、UVW等，工件运动）
在上述介绍中，Xθ+Y 扫描机构和组合式的 XYθ 对位机构，在机械上都属于串联机构，串联机构的好处是运动控制和算法都比较简
单，但响应速度不够快、效率不够高。为了提高对位机构的响应速度和效率，目前比较先进的技术是采用 XYθ 整体式并联机构（也称为
XXY、XYY、UVW 等）。
卓立汉光的对位平台分类表：
XY二维组合式结构 XY二维整体式结构
电动对位平台
XYR系列
XY系列 中、大尺寸 滚珠丝杠 交叉滚柱导轨 XY整体二维、高精度
小、中、大尺寸 滚珠丝杠 交叉滚柱导轨 XYR三轴并联、高精度
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XY 120-120 (-NH) (-ST528) (-Nx)
XY 系列代码：
XY：整体二维对位平台
120 X 轴行程：
50：50mm
120：120mm
120 Y 轴行程：
50：50mm
120：120mm
NH 中心孔及盖板：
无 ( 默认 )： 中心有孔无盖板
GC： 中心有孔带玻璃盖板
AC： 中心有孔带铝合金盖板
NH： 中心无通孔
ST528 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
ST528：5 相 28 步进电机
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
XY整体二维对位平台
说明：
XY 系列产品是卓立汉光为解决工业生产线上，对工件进行高
精度、高重复使用频率扫描等使用要求而开发的二维整体式对位
平台，XY 系列已全面取代老款 TSAW 及 MScope 系列产品。XY
系列采用交叉滚柱导轨，滚珠丝杠传动，整体式设计，可有效提
高正交度和运动精度。中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃
或铝合金盖板，实现透射、反射式的扫描或对位需求。
特点：
•滚珠丝杠传动，符合高精度、高重复频率的使用要求
•交叉滚柱导轨提供更好的运动精度
•中心设计有通光孔，通光孔也可另配玻璃或铝合金盖板，实
现透射、反射式的扫描或对位需求
•标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电
机或伺服电机
命名规则：
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型号 XY5050 XY120120
机械规格
行程（mm） +25mm +60mm
台面尺寸（mm） 125×125 280×280
中心开口尺寸（mm） 60×64 188×188
极限行程时通光尺寸（mm） 35×47 128×128
传动机构 精密滚珠丝杠，φ6×1 精密滚珠丝杠，φ16×4
导轨(导向机构) 交叉滚柱导轨 交叉滚柱导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
联轴器（外径-孔径1-孔径2）(mm) 13-3-5 20-5-10
自重（Kg） 2.2 7
精度规格
分辨率（整步/半步，µm） 5/2.5 20/10
20细分下的分辨率（µm） 0.25 1
最大速度（mm/s）* 10 40
重复定位精度（µm） ≤±1.5 ≤±3
回程间隙（µm） ≤3 ≤5
静态平行度（mm） ≤0.1
运动直线度（µm/100mm） ≤10
运动平行度（µm/100mm） ≤25
正交误差（µm） ≤15 ≤60
工作电流（A） 1.3 1.7
电机保持转矩（N·m） 0.0785 0.456
滑台接头 DB9（针） DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器（内置），每轴 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器（内置），每轴 1个GP1S09xHCPI（日本SHARP） /
传感器电源电压（V） DC5~24V±10%
控制输出
NPN开路集电极输出；
DC5~24V 8mA以下；
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
NPN开路集电极输出；
DC5～24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时；输出晶体管ON（导通）
负载 水平负载（Kg） 4 20
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
选型表：
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尺寸图：
XY5050 XY120120
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电气规格
电气规格整体说明：
型号 XY5050 XY120120
电机类型 二相28步进电机 二相42步进电机
电机扭矩（N·m） 0.0785 0.456
驱动电流（A） 1.3 1.7
步距角（°） 1.8
滑台接口 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器，每轴 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器，每轴 1个GP1S09xHCPI（日本SHARP） --
传感器电压（V） DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出 ；DC5～24V 8mA以下；残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
电机资料
XY5050电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 驱动电压 1.9V
电流 1.3A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.45±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 1.25 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 78.5mN·m以上/MIN
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2.94mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 8 g·cm2
重量 0.11Kg 电机工作时允许温度上升范围 80℃ Max
XY5050及XY120120电机接线定义：
XY5050电机尺寸图：
XY120120电机尺寸图：
XY120120电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.8V
电流 1.7A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.65±10%Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.6 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 456 mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 5mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 56 g·cm2
重量 0.29Kg 电机工作时允许温度上升范围 80℃ Max
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XYR对位平台综合说明
XYR 对位平台，又称 XXY、UVW 对位平台，属于三轴并联运动机构。通过 3 个线性移动轴的并联运动实现 XY 两轴线性运动和 θz
轴旋转运动。配合卓立汉光 TMC-XYR 专用运动控制器内嵌的运动算法和软件，可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、
任意圆心旋转等复杂运动。XYR 对位平台是高精度视觉对位系统中机械执行部分，主要应用在曝光机、邦定机、光罩印刷机、WAFER 对位、
零件安装、PCB 钻孔机、LCD 点灯特性检查、切割机、贴片机（LCD/FPC）、网版印刷机等场合。
XYR对位平台整体结构：
XYR 对位平台通常由上台面、下底面和中间的四个模组构成，从模组分布的结构上分为 ：对称结构和非对称结构，而对称性结构，
又可分为 “十字形对称结构” 和 “四角形对称结构” 等。
四角形对称结构 十字形对称结构 非对称结构
非对称结构通常用在超薄型或者客户定制的需求中，而且通常中间不能设计通孔，所以在一些特定情况下使用。而对称结构在运动算法
方面比较通用，而且对位平台中心位置可以设计通孔，一定程度上可以满足透射式和反射式的对位需求，故被广泛采用。对称结构中的
四角形分布，其刚性和可扩充能力更强，所以卓立汉光对位平台，更多地使用四角对称结构。
对位平台模组：
XYR 对位平台通常由 4 个运动模组组成，其中三个带驱动机构，另外一个为从动（无驱动）模组。
中心驱动型模组 侧驱型模组 从动（无驱动）模组
由于对位平台结构紧凑，而侧驱型模组比较节省长度方向的空间，所以比较常用。
对位平台模组通常由 X 轴、Y 轴和 θz 轴组成，这三轴组合为对位平台模组时，通常分为几种结构 ：
模组结构 组合方式（从下往上） 运动情况 算法情况
X、Y、θz
模组中的X轴为驱动轴，Y轴和θz为
自由状态，属于从动轴。
当X轴运动时，Y轴和θz将根据整个
对位平台运动状况（同其他模组的运
动情况相关）做相应的位置变化。
对位平台中，三个带驱动的模组通过
对应算法，分别移动到相应位置
通用型算法，大部分对位平
台产品均使用
X、θz、Y 旋转机构在中间层，实际运动情况很
复杂
旋转机构在中间层，实际算
法很复杂，不通用
虽然对位平台由模组搭建，但实际搭建过程中，对机加工、装配、检验、运动控制等方面要求较高，不推荐无经验的用户采购模组自行安装。
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从示意图中，我们可以得出以下几点结论：
•对位平台为对称结构，模组内部为X+Y+θz组合方式
时，无论具体采用哪种对称结构和模组驱动方式，
算法的模型是一致的。
•几种结构中，参数设置的范围因结构而不同，但
“对位平台为四角形对称结构（模组为侧面驱动
型），模组内部为X+Y+θz组合方式”的参数范围相
对较小。
•每个模组运动均可简化为该模组轴承中心在移动。
•四个模组轴承中心为圆周分布。
•每个轴丝杠移动的量为轴承中心在该轴线上移动的
距离。
对位平台算法说明：
影响到对位平台运动算法的因素主要有两个 ：一个是对位平台的整体结构（四角形对称结构、十字形对称结构、非对称结构），另
一个是模组中 X 轴、Y 轴、θz 轴的组合方式（X+Y+θz 结构或 X+θz+Y 结构）。
下面从对位平台的结构来分析不同的算法 ：
1、对位平台为对称结构，模组内部为X+Y+θz组合方式时的算法：
（2）对位平台为十字对称结构（模
组为中心驱动型），模组内部为
X+Y+θz组合方式：
（3）对位平台为四角形对称结构（模
组为侧面驱动型），模组内部为X+Y+θz
组合方式：
（4）上面几种不同的对称结构可以归纳为如下的算法示意图：
X1轴
Y轴 X2轴
+
+
Y
X
0 +
初始位置
现在位置
下个位置
0
Y
X
算法示意图
（1）对位平台为四角形对称结构（模
组为中心驱动型），模组内部为X+Y+θz
组合方式：
进给量计算方法
为获得任意的 X、Y、θ，各轴相对进给量可由以下计算公式求出。
X1 轴 ：δX1=tanθ×(Y-X1Y )+X1X×(-1+1/cosθ )+X
X2 轴 ：δX2=tanθ×(Y-X2Y )+X2X×(-1+1/cosθ )+X
Y 轴 ：δY=tanθ×(YX-YY×sinθ-X)+YY×(cosθ-1 )+Y
δX1 ：X1 轴的相对进给量 (mm);
δX2 ：X2 轴的相对进给量 (mm) ；
δY ：Y 轴的相对进给量 (mm) ；
X1X、X1Y : X1 轴驱动模块的旋转销中心坐标 ；
X2X、X2Y : X2 轴驱动模块的旋转销中心坐标 ；
YX、YY :Y 轴驱动模块的旋转销中心坐标 ；
X :X 方向移动量 ；
Y : Y 方向移动量 ；
θ( θz 的简写 ): θ 方向移动量 ；
2、对位平台为对称结构，模组内部为X +θz+Y组合方式时的算法：
模组内部为 X +θz+Y 组合方式时，当模组中轴承旋转之后，影响到了该模组 Y 方向的移动量，因此在公式中增加了旋转后移动量，
算法相对复杂。
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3、对位平台为非对称结构，模组内部无论采用何种组合方式时，运动算法将更为复杂。
4、总结：
（1）对位平台为对称结构，模组内部为 ：X+Y+θz 组合方式时，算法相对简单，也比较通用。
（2）驱动模组采用侧驱结构，算法的参数设置范围较小，相对容易控制。
（3）其他结构（尤其是非对称结构）的算法相对复杂。
5、卓立汉光对位平台的算法：（以XYR300400为例：对位平台为四角对称结构、模组为侧面驱动、模组内部组成方式为：X+Y+θz）
（1）运动算法示意图：
（2）确定XYR300400对位平台对应参数及范围：
相当于X1轴往坐标系X轴的负方向运动，
因此得到的应该是一个负值。而由此换算出，丝杠移动的
距离为 X1’ 点的横坐标减去 X1 点的横坐标 ：
137.89×cos(45° +2° )-137.89×cos45° =-3.462（mm）
（5）同理，X2和Y轴的计算公式也能推导出，如下方所示：
（6）使用举例：假设客户工件放置在对位平台台面某一位置上（参
照下图）需要将该工件移动到中心位置。经过软件分析，得出工件中
心与X轴距离3mm，与Y轴距离2mm，工件与X轴夹角3°。若我们规定
每轴轴承旋转中心往该轴电机方向运动为正方向，因此我们需要将工
件在X维度移动2mm，在Y维度移动-3mm，并且旋转-3°。
中心局部放大后如下图：
根据上述各轴的运动算法，可以得出各轴的运动量为：
δX1=137.89×cos(-3d° +45° )-137.89×cos45°
=4.969
δX2=137.89×cos(-3° +225° )-137.89×cos225° =-4.969
δY=137.89×sin(-3° +135° )-137.89×sin135° =4.969
对位平台旋转任意角度 δθ 所需的各轴相对移动量公式 ：
X1 轴 ：δX1=R cos(δθ+θX1+θ0)-R cos(θX1+θ0)
X2 轴 ：δX2=R cos(δθ+θX2+θ0)-R cos(θX2+θ0)
Y 轴 ：δY=R sin(δθ+θY+θ0)-R sin(θY+θ0)
δX1 ：X1 轴的相对移动量 (mm);
δX2 ：X2 轴的相对移动量 (mm) ；
δY ：Y 轴的相对移动量 (mm) ；
R ：通过连接在各轴上的交叉滚柱轴承中心的假设圆半径 ；
θX1 ：连接在 X1 轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置 ；
θX2 ：连接在 X2 轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置 ；
θY ：连接在 Y 轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置 ；
θ0 ：计算动作前的工作台角度 [° ] ；
δθ ：工作台旋转角 [° ] ；
型号 R(mm) θX1(°) θX2(°) θY(°)
XYR300400 137.89 45 225 135
（3）建立直角坐标系，将三轴轴承中心坐标点在圆周上表示出来：
（4）正方向旋转两度后，以X1轴为例：
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对位平台动作原理：
XYR对位平台的整体结构，由上台面、下底座、三个驱动轴模组
（X1轴、X2轴、Y轴）及一个从动模组组成。其中X1轴和X2轴平
行，但运动方向相反。X1轴X2轴同Y轴垂直分布。对位平台动作
模式，大多数情况下采用 “先绕中心位置旋转一定角度再移动到某
一位置”的方式。少数情况下，也需要进行以台面任意点为圆心进
行旋转运动（需要提供不同点的旋转的角度范围）。
Y方向运动：
当X1轴模组、X2轴模组不运动，而Y轴模组运动时，台面会随着Y
轴模组的运动而运动，从而实现Y方向的平移运动。
X方向运动：
当Y轴模组不运动，而X1和X2轴模组同时运动（运动距离相同但
模组运动方向相反）时，台面会沿着X方向进行平移运动。
斜向运动：
当X1轴、X2轴分别按照正、负方向运动，同时Y轴运动时，台面
将沿着斜向运动。通过调整Y轴和X1、X2轴不同的运动距离，可
以改变台面斜向运动的斜率。
旋转运动：
对位平台的旋转运动分为两种情况：
1.绕对位平台中心旋转：当X1轴和X2轴同时运动（运动距离相同但模组
运动方向相反），且此时Y轴也运动时，台面将绕对位平台中心旋转。
通过设定Y轴和X1、X2轴运动的距离和方向，可以改变旋转的角度（注
意：Y轴和X1、X2轴的运动有相关性，需要通过算法控制）。
2.绕其他位置旋转：当X1轴和X2轴运动距离不同（无论同向或反
向），且此时Y轴也运动时，台面将绕对位平台上某点旋转。通过
设定Y轴和X1、X2轴运动的距离和方向，可以改变旋转的角度（注
意：Y轴和X1、X2轴的运动有相关性，需要通过算法控制）。
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MSTD-XY7550
MSTD 系列代码：
MSTD: 二维显微镜载物台电动、闭环
行程 行程：
X 轴 :75mm
Y 轴 :50mm
MSTD系列显微镜滑台
说明：
MSTD 系列显微镜滑台是卓立汉光开发的显微镜专用 XY 二维电动
平台，应用在基于显微镜的生物观察、材料分析等场合。 该系列产品
主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美
观。 导轨采用交叉滚柱，强度高、负载能力强、耐用性好。 采用梯形丝
杠传动，标配五相步进电机，带光栅尺位置反馈，可提供极高的分辨率
和重复定位精度，满足显微镜下微小步距平稳运动。整体式设计，中心
有可拆卸的玻璃面板。可搭配我司 MTMC 高精度小型控制器进行控制。
特点：
•梯形丝杠驱动，静音，无需润滑
•大尺寸交叉滚柱导轨，提升运动平稳性
•具备闭环功能
•中心设计有通光孔， 通光孔也可另配玻璃或铝合金
盖板，实现透射、 反射式的扫描或对位需求
•厚度薄、体积小、重量轻
命名规则：
型号 MSTD-XY7550
机
械
规
格
行程（mm） X轴:75
Y轴:50
载物玻璃板尺寸（mm） 160x116
传动机构 梯形丝杠Φ9，导程2mm
导轨 交叉滚柱导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（kg） 2.8(不含接口支架)
精
度
规
格
分辨率（µm） 0.05
最大速度（mm/s） 8
单向重复定位精度（µm） ≤1
双向重复定位精度（µm） ≤2.5
电
气
规
格
电机及步距角（°） 五相28步进，0.36
工作电流（A） 0.75
电机保持转矩（mN·m） 42
限位传感器（每轴） 2个
光栅品牌 雷尼绍ATOM系列
负
载 水平负载（Kg） 1
选型表：
尺寸图：
MSTD-XY7550
