隔

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光

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

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台单频阻尼隔振

双

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阻

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A46Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

主动隔振平台

ZVI-FT系列气浮主动隔振平台

• 主动隔振带宽：0.8-150Hz

• 台面稳定性：≤±8um

• 传递率：≤-10dB@2Hz，≤-25dB@5Hz，≤-35dB@10Hz，≤-40dB@20Hz

• 水平向电机峰值推力高达1280N

• 系统支持最大功率1500W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：1800Kg

命名规则举例 ：ZVI-FT-20-12M（Z 代表卓立汉光，AVI( 省略 A）代表主动隔振 ，FT 代表隔振器尾号后两位，20( 长度 ) 12（宽

度 )，M、K、P 代表台面型号，M: 大理石（OTMP）/ K: 蜂窝光学面包板（NTBK）/ P: 标准井字结构面包板（NTBP）

技术指标 命名规则

ZVI-FT-20-15 M

ZVI-FT 系列代码：

ZVI-FT：SFT 系列隔振器 + 台面

24 整体长度：

24

15 整体宽度：

15

M 台面类型：

M ；OTMP 系列大理石面包板

K：NTBK 系列面包板

P：NTBP 系列面包板

• 空气弹簧支撑

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 台面振动低至VC-G

• 标品负载支持700-7500KG

特点

• 水平向电机峰值推力高达20N

• 总体规格（长、宽、高）多种规

格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

选型表：（M、K、O参考具体台面信息）

产品型号 整体规格（L*W: mm） 台面上负载要求（kg） 台面厚度（mm） 隔振器规格

(L*W*H:mm) 单隔振器重量

ZVI-FT-15-10M 1500×1000 10-400 200 248×240×205.3 20kg

ZVI-FT-15-12M 1500×1200 10-600 200 225×185×202 17kg

ZVI-FT-20-12P 2000×1200 300-600 200 248×240×205.3 20kg

ZVI-FT-20-12M 2000×1200 300-1100 200 308×300×202 38kg

ZVI-FT-24-12P 2400×1200 200-700 200 248×240×205.3 20kg

ZVI-FT-24-12M 2400×1200 400-1200 250 308×300×202 32kg

ZVI-FT-30-12P 3000×1200 400-1000 300 225×185×202 17kg

ZVI-FT-30-12M 3000×1200 1000-3000 300 380×370×260 58kg

尺寸图：

型号 尺寸（mm）

L W T H1 H2

ZVI-FT-15-10M 1500 1000 200 800 600

ZVI-FT-15-12M 1500 1200 200 800 600

ZVI-FT-20-12P 2000 1200 200 800 600

ZVI-FT-24-12P 2400 1200 250 900 650

ZVI-FT-30-12P 3000 1200 350 900 550

ZVI-FT-20-12M 2000 1200 200 800 600

ZVI-FT-24-12M 2400 1200 200 800 600

ZVI-FT-30-12M 3000 1200 300 900 600

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A47

选型表：（M、K、P参考具体台面信息）

产品型号 整体规格（L*W：mm） 台面上负载要求（kg） 台面厚度（mm） 隔振器规格

(L*W*H:mm) 单腿重量

ZVI-ST-15-10M 1500×1000 100-500 200 250×190×200 20kg

ZVI-ST-15-12M 1500×1200 100-600 200 250×190×200 20Kg

ZVI-ST-20-12P 2000×1200 600-1200 200 250×190×200 20Kg

ZVI-ST-20-12M 2000×1200 100-700 200 250×190×200 20Kg

ZVI-ST-24-12P 2400×1200 500-1300 200 250×190×200 20Kg

ZVI-ST-30-12P 3000×1200 400-1400 300 250×190×200 20Kg

尺寸图：

型号 尺寸（mm）

L W T H1 H2

ZVI-ST-15-10M 1500 1000 200 800 600

ZVI-ST-15-12M 1500 1200 200 800 600

ZVI-ST-20-12P 2000 1200 200 800 600

ZVI-ST-20-12M 2000 1200 200 800 600

ZVI-ST-24-12P 2400 1200 200 800 600

ZVI-ST-30-12P 3000 1200 300 900 600

ZVI-ST系列钢弹簧主动隔振平台

• 刚弹簧支撑，无需气源

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至1Hz起

• 标品负载支持11000-1900KG

• 水平向电机峰值推力高达1280N

• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

• 主动隔振带宽：1-150Hz

• 台面稳定性：≤±10um

• 传递率：≤-3dB@2Hz，≤-12dB@5Hz，≤-25dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达270N

• 系统支持最大功率400W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：500Kg

命名规则

特点

技术指标

ZVI-ST-20-12 M

ZVI-ST 系列代码：

ZVI-ST：SST 系列隔振器 + 台面

20 整体长度：

20

12 整体宽度：

12

M 台面类型：

M ；OTMP 系列大理石面包板

K：NTBK 系列面包板

P：NTBP 系列面包板

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选型表：（-K、-O参考具体台面信息）

产品型号 整体规格

（L*W：mm） 台面上负载要求（kg） 台面厚度（mm） 隔振器规格

(L*W*H:mm) 单腿重量

ZVI-FV-30-12M 3000×1200 100-1000 350 374×220×200 35kg

ZVI-FV-30-12M-Z（重载） 3000×1200 100-2000 400 360×250×200 35Kg

尺寸图：

型号 尺寸（mm）

L W T H1 H2

ZVI-FV-30-12M 3000 1200 350 900 550

ZVI-FV-30-12M-Z

（重载） 3000 1200 400 900 500

ZVI-FV系列气浮并联负刚度主动隔振平台

• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构

• 机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 标品负载最大支持4600-6200KG

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 总体规格（长、宽、高）多种规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

• 主动隔振带宽：0.5-150Hz

• 台面稳定性：≤±5um

• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-45dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 系统支持最大功率700W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：1600Kg

命名规则

特点

技术指标

ZVI-FV-20-12 M

ZVI-FV 系列代码：

ZVI-FV：SFV 系列隔振器 + 台面

20 整体长度：

20

12 整体宽度：

12

M 台面类型：

M ；OTMP 系列大理石面包板

K：NTBK 系列面包板

P：NTBP 系列面包板

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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主动隔振光学平台

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A49

选型表：（M、K、P参考具体台面信息）

产品型号 整体规格（L*W：mm） 台面上负载要求（kg） 台面厚度（mm） 隔振器规格

(L*W*H:mm) 单腿重量

ZVI-VB-30-15M 3000×1500 100-2000 400 1060×900×202 40kg

尺寸图：

型号 尺寸（mm）

L W T H1 H2

ZVI-VB-30-15M 3000 1500 400 900 500

ZVI-VB系列真空主动隔振平台

• 空气弹簧支撑，磁负刚度机构

• 机械式倒立摆负刚度机构并联

正刚度机构

• 适用1E-4Pa的真空环境

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 主动隔振带宽：0.5-150Hz

• 台面稳定性：≤±5um

• 传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz

• 水平向电机峰值推力高达270N

• 系统支持最大功率400W

• 台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

NTBK：0.1mm/600mm×600mm

大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）

• 台面厚度：100/200/300mm

• 孔径：可定制孔径

• 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

• 标品单腿最大承载能力：1800Kg

命名规则

特点

技术指标

ZVI-VB-20-12 M

ZVI-VB 系列代码：

ZVI-VB：SFN 系列隔振器 + 台面

20 整体长度：

20

12 整体宽度：

12

M 台面类型：

M ；OTMP 系列大理石面包板

K：NTBK 系列面包板

P：NTBP 系列面包板

• 标品负载最大支持7000KG

• 水平向电机峰值推力高达160N

• 总体规格（长、宽、高）多种

规格可选

• 核心控制系统全部自研

• 核心部件国产化

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A50Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

• 光刻机：确保光刻胶的精确涂布和曝光。 • 刻蚀设备：在纳米精度上进行精确加工，

确保芯片电路的完整性。

相关案例

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

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A51

一体式主动隔振平台

PAD一体式平台系列主动隔振系统

特点：

• 4个隔振单元组成一体式隔

振系统，便携安装

• 支撑单元多样化，弹簧、

气浮、磁浮可选

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 PSQ-BHJI PSQ-BLFT PFQ-BTFS miniPSQBHDD PSQ-DHLL

外形尺寸 1060×900×200 2020×1370×295 2000×2000×390 400×450×280 定制

自重 121kg 2400kg 5000kg 17kg 130kg*

主支撑体 钢弹簧 钢弹簧 空气弹簧 钢弹簧 钢弹簧

系统承载重量 600-1100kg 1200-2000kg 2000-2500kg 50-110kg 600-1100kg

垂向传递率

≤-12dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@5Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-10dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-40dB@10Hz

适用领域 SEM、TEM、ACTEM等各类电镜，桌面式精密仪器等

FSD快速整定平台系列主动隔振系统

特点：

• 一体式隔振系统，占用空间小

• 单向最高提供1280N推力

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 FSD100A FSD100B

外形尺寸 1000×700×150 1020×875×166

单腿自重 138kg 211kg

主支撑体 钢弹簧

4腿系统承载

重量 1000kg 1000kg

垂向传递率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向电机

峰值推力 640N 1280N

适用领域 先进量检测设备

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Accurion i4桌面级主动隔振台（进口）

Accurion i4 是一款先进的台式主动隔振系统，不仅具有简洁的碳纤设计，还扩展了多种应用功能。其主要特点包括自动传输锁定模

式和全自动负载调整，大幅简化操作。

我们的主动隔振系统配备专门设计的焊接支撑架，具有出色的水平和垂直刚度，是确保系统实现最佳隔振性能的基础。我们提供多

种尺寸的支撑架，以满足不同客户的需求。

AFM图像示例：SiC (0001) 晶片，包含

1-3层石墨烯单层，蒸发金形成约1 nm高

的金簇，对比无主动隔振与主动隔振效

果。

可选配件：

• 钢制支撑架

• 隔音罩

• 顶板上的公制安装孔

（25 毫米中心处的 M6 螺纹孔）

• 顶板上的英制安装孔

（1 英寸中心处的 /4 英寸 -20 螺纹孔）

主要特点：

• 在所有六个自由度上均具有隔离功能。

• 主动隔振从 0.6 Hz 开始（被动隔振在 200 Hz 以上）。

• 自动负载调整和运输锁定。

• 稳定时间仅 0.3 秒。

• 只需电源插座的交流电；无需压缩空气供应。

• 无自然低频共振，因此在低于 5 Hz 的频率范围内也具

有出色的振动特性。

• 出色的位置稳定性 - 固有刚度通常比 1 Hz 被动隔离器

高 20-30 倍。

• 尺寸极其紧凑。

• 两年保修。

• 长期测试和质量控制程序。

i4的稳定时间（蓝色）与传统气浮式隔振系统（白色）的比较。

Accurion i4 Large 上的 莱卡 DCM8

在速度为100 um/s，有效载荷为20 kg(44磅)时，

Park Accurion i4的振动传递效率曲线图。

水平方向 垂直方向

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A53

i4 400x500x90 mm /15.7\"x19.7\"x3.5\" i4 Medium 600x600x90 mm /23.6\"x23.6\"x3.5\"

应用实例

扫描电子显微镜

Accurion i4 Medium

(JEOL Neoscope)

3D 光学轮廓仪

Accurion i4 Medium (Sensofar O

vix)

数码显微镜

Accurion i4 (Keyence VHX-6000)

超分辨率显微镜

Accurion i4 (缩写为 STEDYCON)

i4 Large 550x700x92 mm /21.7\"x27.6\"x3.6\"

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A54Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

选型表：

*弹簧质量组合的低通特性决定了隔离系统在 200 Hz 以上的动态行为。主动隔离部分随频率增加而减小。

**稳定时间和最大补偿水平取决于有效载荷、振动频率和负载分布等多种条件。上述稳定时间值是中心负载 80 Kg 的示例，稳定时间定义了补偿

传入振动的时间。

***响应时间决定了系统在传感器检测到传入振动后何时开始主动隔离传入振动。

产品型号 i4 i4 Medium i4 Large

尺寸

(长×宽×高)

400 x500 x90 mm

15.7 x 19.7 x 3.5 inch

600 x600 x90 mm

23.6 x 23.6 x 3.5 inch

550 x700 x92 mm

21.7 x 27.6 x 3.6 inch

负载能力 0-120 kg/0-265 lbs 0-105 kg/0-232 lbs or40-150

kg/88-331 lbs

0-105 kg/0-232 lbs or

40-150 kg/88-331 lbs

重量 20 kg / 44 lbs 37 kg / 82 lbs 40 kg / 88 lbs

隔振技术 基于压电式加速度传感器、快速信号处理和电动力传感器的精度控制技术。

受力方向 六个自由度均可提供主动补偿

隔振性能 >5 Hz= 25 dB (94.4 %)

>10 Hz= 40 dB (99.0 %)

主动隔振带宽 0.6- 200hz *(被动隔振超过200hz)

稳定时间 300 ms**

响应时间 0.5 ms***

驱动器行程 1mm

最大修正力 垂直方向± 8 N

水平方向 ± 4 N

最大补偿等级 500 µm/sec. at 6 Hz and 60 kg/132 lbs**

负载工况下的重复精

度 120um

台面材料 粉末涂层铝合金

顶板表面平整度 整个台面± 0.10 mm

环境及操作要求

电压：输入 100-240V/50-60 HzAC；输出：+12V/5.0 A-60W DC

功耗：通常为 40-45 W

工作温度：15-40°C/59-104°F

相对湿度：0-60 %

作业海拔高度：<2,500 m/8,100 ft

认证依据:

2014/35/EU

2014/30/EU

FCC Regulations Part 15.107 & 15.109

SI 2016:1091

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A55

Accurion Nano桌面级主动隔振台（进口）

Accurion Nano 系列由两个超紧凑主动隔振系统组成 ：即

Nano 20（世界上最小的主动隔振系统）和稍大一些的版本 Nano

30。Nano 系统的设计非常适合小型轻量级应用。一个非常好的例

子是将其与入门级原子力显微镜一起使用，该系统不需要任何负载

调整，一旦运输锁松开，隔离器即可使用，用户无需采取进一步行动。

Nano 系列 以简洁的设计提供了极具竞争力的价格。此外，系

统配备了小型外部控制器，其主要优点是隔离器不会产生热量，这

一特点非常适合热敏应用和隔音罩内的使用场景。由于控制器可以

远离应用，因此来自电子设备的潜在 EMC 干扰被最小化。

由于控制器可远离应用安装，电子设备产生的电磁兼容性

(EMC) 干扰被有效最小化。

我们的主动隔振系统配备有一个专门设计的焊接支撑框架。这

一框架具有较高的水平和垂直刚度，是我们主动隔振系统实现最佳

隔振性能的理想底座。我们提供不同尺寸的支撑框架，以满足客户

的要求。

主要特点：

• 主动隔振从 1 Hz 开始（被动隔振在 200 Hz 以上）。

• 在所有六个自由度上隔振

• 超紧凑、便携。

• 外部控制单元。

• 最容易操作 - 无需调整或负载调节

• 提供比大型光学台更好的隔振效果（15 Hz 以上隔振率

>99.0%）。

• 适用于小型、轻量级应用。

• 无自然低频共振，因此在低于 5 Hz 的频率范围内也具有

出色的振动特性。

• 无需压缩空气供应，只需电源插座的交流电。出色的位

置稳定性和刚度。

• 两年保修。

• 适中的价格。

可选配件： • 长期测试和质量控制程序。

• 钢制支撑框架

• 隔音罩

• 顶板上的公制安装孔（25 毫米中心的 M6 螺纹孔）

• 顶板上的英制安装孔（1 英寸中心的 /4\"-20螺纹孔

未采用主动隔振技术和采用主动隔振技

术的高度定向热解石墨 (HOPG) 的原子

级图像对比

应用案例：

Accurion Nano 20

隔音罩200

硬度计上的Accurion Nano 30

(LNP®nano touch)

光致力显微镜

Accurion Nano 30

(Molecular Vista 75)

3D光学轮廓仪

Accurion Nano 30

(GBS Smart well)

隔

振

光

学

平

台

光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

返回目录

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

A56Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

在速度为100 um/s，有效载荷为8 kg(17.6磅)时的振动传递效率曲线图。

规格型号 Nano 20 Nano 30

尺寸 204×204×69 mm

8×8×2.7 inch

400×300×75 mm

15.7×11.8×2.9 inch

负载能力 0-8 kg/0-17.6 Ibs 5-25 kg/11-55 Ibs or 10-30 kg/22-66 Ibs

重量 Isolator隔振单元: 5.6 kg/12.6Ibs

Control Unit控制单元:2 kg/4.4 lbs

Isolator隔振单元: 11.3 kg/24.9 lbs

Control Unit控制单元: 2 kg/4.4 lbs

隔振技术 基于压电式加速度传感器、快速信号处理和电动力传感器的精度控制技术。

控制电子设备 外置控制单元

受力方向 六个自由度均可提供主动补偿

隔振性能 >5 Hz=23 dB (93.0%) >15 Hz=40 dB(99.0%)

主动隔振带宽 *(被动隔振超过200hz)

稳定时间 300 ms**

驱动器行程 1 mm

最大修正力 垂直方向± 8 N 水平方向 ± 4 N

最大补偿等级 55 µm/sec.at 2 Hz and 8 kg/17.6 Ibs**,350 µm/sec.at 6 Hz and 8 kg/17.6 Ibs**

环境及操作要求 电压：输入 100-250V/47-63 HzAC；功耗：通常为 30-50 W

工作温度：16-40°C/61-104°F；相对湿度：0-60 %；作业海拔高度：<2,500 m/8,100 ft

认证依据:

2014/35/EU 2014/30/EU

FCC Regulations Part 15.107 &15.109 SI 2016:1091

*浮动台面由钢弹簧支撑；弹簧质量组合的低通特性决定了 200 Hz 以上的动态行为。

**稳定时间和最大补偿水平取决于多种条件，例如有效载荷、频率、载荷分布和有效载荷高度。因此，该值应被视为估算值。

选型表：

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

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主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

A57

Accurion隔音罩——优质声学隔断设备

附件：

• 钢支撑框架

• 可选择线缆接口的位置

• 可根据客户要求进行修改

特点：

• 通过多层墙体结构实现宽带噪声阻尼。

• 气压弹簧开启平稳。

• 与钢制外壳相比，轻巧的设计。

• 易于进入内部腔室。

• 4°倾角腔室墙壁，可极大程度避免声波传播

隔音罩是作为主动隔振系统的附件设计的，也可以作为设备独立使用。

由于采用多层墙体结构，该外壳可对空调、通风或真空泵等引起的空气

传播和结构传播噪声进行宽带阻尼。4°倾角腔室墙壁设计以防止声波传播。

隔音罩前部采用优质气压弹簧，便于轻松提升舱门，极大提高了操作便利性。

隔音罩的轻质结构使其能够在地板承重能力有限的地方使用。为了确保

它们在运行过程中的稳定性，尺寸较大的版本通常安装在稳定的钢架上。

为了满足客户的要求，我们可提供各种定制尺寸的产品，电缆接口尺寸

也可更改。

Accurion隔音罩200与Accurion Nano 20配套使用

内部尺寸:

600x600 x800毫米/ 23.6英寸x 23.6英寸x 31.5英寸

Accurion隔音罩600与Accurion i4 Large搭配使用，

底部配有钢制

（进口）

说明

应用案例

Accurion隔音罩600

Accurion Acoustic Enclosure Acoustic Noise Isolation

Enabling Nanoscale Advances

Selected Examples

Accurion Acoustic Enclosure

Acoustic Noise Isolation

The Accurion Acoustic Enclosures have been designed as accessory to our active vibration isolation systems but they

are also available as stand-alone devices.

Due to a multi-layer wall construction, the enclosure provides broadband damping of airborne and structure-borne noise,

caused by e. g. air conditioning, ventilation or vacuum pumps. The walls are inclined at 4° to prevent sound waves from

spreading. The entire front part of the acoustic enclosure can be effortlessly lifted by a gas pressure actuated mechanism.

This provides optimal access to the internal chamber and the set-up inside.

The light-weight construction of the acoustic enclosures enables the use in locations with limited floor load-bearing

capacity. To ensure their stability during operation, larger versions are usually mounted on a solid steel frame.

To meet the requirements of our customers, we offer a wide range of customizations regarding dimensions and cable port.

Accurion Acoustic Enclosure 200 with Accurion Nano 20 Accurion Acoustic Enclosure 600 with Accurion i4 Large and support frame

Accessories and Options

Steel support frame

Selectable position of the cable port

Modifications according to customer requirements

Key Features

Broadband damping of acoustic noise through multi-layer wall construction.

Smooth gas pressure spring opening.

Light-weight design compared to steel enclosures.

Easy access to the interior chamber.

4° wall inclination to avoid sound wave spreading.

Selected Examples

Accurion Acoustic Enclosure

Acoustic Noise Isolation

The Accurion Acoustic Enclosures have been designed as accessory to our active vibration isolation systems but they

are also available as stand-alone devices.

Due to a multi-layer wall construction, the enclosure provides broadband damping of airborne and structure-borne noise,

caused by e. g. air conditioning, ventilation or vacuum pumps. The walls are inclined at 4° to prevent sound waves from

spreading. The entire front part of the acoustic enclosure can be effortlessly lifted by a gas pressure actuated mechanism.

This provides optimal access to the internal chamber and the set-up inside.

The light-weight construction of the acoustic enclosures enables the use in locations with limited floor load-bearing

capacity. To ensure their stability during operation, larger versions are usually mounted on a solid steel frame.

To meet the requirements of our customers, we offer a wide range of customizations regarding dimensions and cable port.

Accurion Acoustic Enclosure 200 with Accurion Nano 20 Accurion Acoustic Enclosure 600 with Accurion i4 Large and support frame

Accessories and Options

Steel support frame

Selectable position of the cable port

Modifications according to customer requirements

Key Features

Broadband damping of acoustic noise through multi-layer wall construction.

Smooth gas pressure spring opening.

Light-weight design compared to steel enclosures.

Easy access to the interior chamber.

4° wall inclination to avoid sound wave spreading.

Selected Examples

Accurion Acoustic Enclosure

Acoustic Noise Isolation

The Accurion Acoustic Enclosures have been designed as accessory to our active vibration isolation systems but they

are also available as stand-alone devices.

Due to a multi-layer wall construction, the enclosure provides broadband damping of airborne and structure-borne noise,

caused by e. g. air conditioning, ventilation or vacuum pumps. The walls are inclined at 4° to prevent sound waves from

spreading. The entire front part of the acoustic enclosure can be effortlessly lifted by a gas pressure actuated mechanism.

This provides optimal access to the internal chamber and the set-up inside.

The light-weight construction of the acoustic enclosures enables the use in locations with limited floor load-bearing

capacity. To ensure their stability during operation, larger versions are usually mounted on a solid steel frame.

To meet the requirements of our customers, we offer a wide range of customizations regarding dimensions and cable port.

Accurion Acoustic Enclosure 200 with Accurion Nano 20 Accurion Acoustic Enclosure 600 with Accurion i4 Large and support frame

Accessories and Options

Steel support frame

Selectable position of the cable port

Modifications according to customer requirements

Key Features

Broadband damping of acoustic noise through multi-layer wall construction.

Smooth gas pressure spring opening.

Light-weight design compared to steel enclosures.

Easy access to the interior chamber.

4° wall inclination to avoid sound wave spreading.

1,270

800

30

71

600

880

700

Inside dimensions: 600 × 600 × 800 mm / 23.6\" × 23.6\" × 31.5\"

Accurion Acoustic Enclosure 600

Specifications AE 200 AE 600 AE 780 AE 900

Inside dimensions

(L × W × H)

352 × 352 × 415 mm

13.9\" × 13.9\" × 16.3\"

600 × 600 × 800 mm

23.6\" × 23.6\" × 31.5\"

780 × 600 × 940 mm

30.7\" × 23.6\" × 37\"

950 × 750 × 940 mm

37.4\" × 29.5\" × 37\"

Outside dimensions

(L × W × H)

450 × 450 × 500 mm

17.7\" × 17.7\" × 19.7\"

700 × 700 × 880 mm

27.6\" × 27.6\" × 34.6\"

950 × 770 × 1,000 mm 1,070 × 920 × 1,000 mm

37.4\" × 30.3\" × 39.4\" 42.1\" × 36.2\" × 39.4\"

Weight 20 kg / 44 lbs 70 kg / 154 lbs 80 kg / 176 lbs 100 kg / 220 lbs

Isolation technology Multi-Layer wall construction using organic fiber board with outer melamin resin surface

and acoustic isolation foam based on polyether-polyurethane materials on the inside.

Flammability of

foam damping layer

(FMVSS 302 DIN 75 200)

< 100 mm / min.

Door lifting 2 gas pressure springs

Handle(s) Aluminum alloy, tubular

Cable port dimensions 140 × 25 mm / 5.5\" × 1\"

Relative humidity: 0 – 90 %

Operating altitude: < 2,500 m / 8,100 ft

Note: The acoustic enclosures are not cleanroom compatible.

Environmental

and operational

requirements

1,270

800

30

71

600

880

700

Inside dimensions: 600 × 600 × 800 mm / 23.6\" × 23.6\" × 31.5\"

Accurion Acoustic Enclosure 600

Specifications AE 200 AE 600 AE 780 AE 900

Inside dimensions

(L × W × H)

352 × 352 × 415 mm

13.9\" × 13.9\" × 16.3\"

600 × 600 × 800 mm

23.6\" × 23.6\" × 31.5\"

780 × 600 × 940 mm

30.7\" × 23.6\" × 37\"

950 × 750 × 940 mm

37.4\" × 29.5\" × 37\"

Outside dimensions

(L × W × H)

450 × 450 × 500 mm

17.7\" × 17.7\" × 19.7\"

700 × 700 × 880 mm

27.6\" × 27.6\" × 34.6\"

950 × 770 × 1,000 mm 1,070 × 920 × 1,000 mm

37.4\" × 30.3\" × 39.4\" 42.1\" × 36.2\" × 39.4\"

Weight 20 kg / 44 lbs 70 kg / 154 lbs 80 kg / 176 lbs 100 kg / 220 lbs

Isolation technology Multi-Layer wall construction using organic fiber board with outer melamin resin surface

and acoustic isolation foam based on polyether-polyurethane materials on the inside.

Flammability of

foam damping layer

(FMVSS 302 DIN 75 200)

< 100 mm / min.

Door lifting 2 gas pressure springs

Handle(s) Aluminum alloy, tubular

Cable port dimensions 140 × 25 mm / 5.5\" × 1\"

Relative humidity: 0 – 90 %

Operating altitude: < 2,500 m / 8,100 ft

Note: The acoustic enclosures are not cleanroom compatible.

Environmental

and operational

requirements

隔

振

光

学

平

台

光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

A58Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

注意:隔音罩与洁净室不兼容。

隔音罩780的噪声功率等级衰减图

产品型号 AE200 AE600 AE780 AE900

内部尺寸

(长×宽×高)

352×352×415mm

13.9”×13.9”×16.3”

600×600×800mm

23.6”×23.6”×31.5”

780×600×940mm

30.7”×23.6”×37”

950×750×940mm

37.4”×29.5”×37”

外部尺寸

(长×宽×高)

450×450×500mm

17.7”×17.7”×19.7”

700×700×880mm

27.6”×27.6”×34.6”

950×770×1,000mm

37.4”×30.3”×39.4”

1,070×920×1,000mm

42.1”×36.2”×39.4”

重量 20公斤/ 44磅 70公斤/ 154磅 80公斤/ 176磅 100公斤/ 220磅

隔振技术 多层有机纤维板墙体结构，外层采用三聚氰胺树脂材料，内部采用聚醚-聚氨酯材料隔声泡沫

泡沫阻尼层的可燃性

(FMVSS 302 DIN 75

200)

< 100 mm / min.

门体支撑 2个气压弹簧

把手 管状铝合金

电缆接口尺寸 140 × 25 mm / 5.5” × 1”

环境及操作要求 相对湿度:0 - 90%;作业海拔高度:< 2,500米/ 8,100英尺

50

Damping (dB)

Frequency (Hz) Acoustic damping

50

63

80

100

125

160

200

250

315

400

500

630

800

1,000

1,250

1,600

2,000

2,500

3,150

4,000

5,000

6,300

8,000

10,000

40

30

20

10

Sound power level reduction of Acoustic Enclosure 780 (EN_11546-1)

Park Systems Corporate Headquarters

To learn more about Park Systems, please visit www.parksystems.com or e-mail inquiry@parksystems.com

Park Systems GmbH previously known as Accurion GmbH is a leading provider of high-end, state of the art imaging

ellipsometry and active vibration isolation products. Accurion was merged into Park Systems Corporation in 2022

to boost its R&D resources and expand its sales network to better serve its customers.

Park Systems is a world leading manufacturer of nano metrology-microscopy solutions including

the atomic force microscopy (AFM), white light interferometry and infrared spectroscopy systems.

It provides complete range of nano metrology and microscopy products for researchers and engineers in the chemistry,

materials, physics, life sciences, semiconductor, and data storage industries.

Prior to merger with Park Systems, Accurion was previously known as Nanofilm Technology GmbH,

a spin-off from the Max Planck Institute for biophysical chemistry in Goettingen. In 1991,

the company began designing the Brewster angle microscope for the characterization of ultrathin films. In 1996,

the company's division of active vibration isolation was established. In 2009, Halcyonics GmbH, a specialist in active

vibration isolation solutions, merged with Nanofilm Technology GmbH to form Accurion GmbH.

Park Systems GmbH - Accurion

KANC 15F, Gwanggyo-ro 109, Suwon 16229, Korea Tel.+82-31-546-6800

©2023 Park Systems Corp. All rights reserved. All products and features are subject to change.

All brand names and logos are trademarks of their respective companies.

No part of this publication may be reproduced or distributed without the express written permission of Park Systems Corp.

Park Systems Europe

+49 (0)-621-490896-50 (Germany)

+33 (0)-6-07-10-87-36 (France)

+44 (0)-115-784-0046 (UK&Ireland)

Park Systems SE Asia

+65-6634-7470 (Singapore)

Park Systems Americas

+1-408-986-1110 (USA)

+52-55-7100-2354 (Mexico)

Park Systems Greater China

+86-10-6254-4360 (China)

+886-3-5601189 (Taiwan)

Park Systems Korea

+82-31-546-6800 (Republic of Korea)

Park Systems GmbH - Accurion

+49-551-999600 (Germany)

Park Systems Japan

+81-3-3219-1001 (Japan)

Park Systems India

+91-96869 51464 (India)

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

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主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

A59

产品型号 AE200 AE600 AE780 AE900

内部尺寸

(长×宽×高)

352×352×415mm

13.9”×13.9”×16.3”

600×600×800mm

23.6”×23.6”×31.5”

780×600×940mm

30.7”×23.6”×37”

950×750×940mm

37.4”×29.5”×37”

外部尺寸

(长×宽×高)

450×450×500mm

17.7”×17.7”×19.7”

700×700×880mm

27.6”×27.6”×34.6”

950×770×1,000mm

37.4”×30.3”×39.4”

1,070×920×1,000mm

42.1”×36.2”×39.4”

重量 20公斤/ 44磅 70公斤/ 154磅 80公斤/ 176磅 100公斤/ 220磅

隔振技术 多层有机纤维板墙体结构，外层采用三聚氰胺树脂材料，内部采用聚醚-聚氨酯材料隔声泡沫

泡沫阻尼层的可燃性

(FMVSS 302 DIN 75

200)

< 100 mm / min.

门体支撑 2个气压弹簧

把手 管状铝合金

电缆接口尺寸 140 × 25 mm / 5.5” × 1”

环境及操作要求 相对湿度:0 - 90%;作业海拔高度:< 2,500米/ 8,100英尺

lVF主动振动隔离工作站

Accurion 的 lVF 工作站专为体外受精应用而设计，生物学家可

以以符合人体工程学的方式坐在显微镜前。

lVF 工作站由一张实验台组成，该实验台集成了主动隔振系统，

可主动补偿传入的振动。集成的 Accurion i4 系统一目了然，控制

面板上只有三个按钮，使用户能够完全专注于应用程序。主动系统

使您能够不间断地工作，并提高您的效率。

由于表面空间不受隔离，用户的手臂可以舒适地休息，而不会

影响程序。与沉重的花岗岩桌子相比，其流畅的设计可以充分利用

您的空间，并与您现有的家具相得益彰。此外，主动隔离系统提供

卓越的隔离性能，并克服了通常与被动系统相关的缺点。

除了功能性和稳定性之外，Accurion 还特别关注医疗标准，例

如优质的表面涂层。移动柜将作为可选配件提供 .

尼康 Eclipse Ts2R-FL 与 lVF 主动振动隔离工作站搭配使用实例

可选配移动柜

尼康Nikon Eclipse Ti2与lVF主动振动隔离工作站搭配使用实例

主要特点：

• 在所有六个自由度上均具有隔离功能。

• 自动负载调整和运输锁定

• 由于缺乏自然低频共振，即使在低频范围内也能消除振动。

• 只需要电源插座的交流电，不需要压缩空气供应。

• 出色的位置稳定性

• 响应时间仅为 0.5 毫秒

应用实例

在速度为 100 um/s，有效载荷为 20 kg(44 磅 ) 时，

Park Accurion i4 的振动传递效率曲线图。

（进口）

Mobile Cabinet Optional

隔

振

光

学

平

台

光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

返回目录

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

A60Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

IVF Workstation

隔振台面i4 (W × D): 400 × 500 mm / 15.7\" × 19.7 \" 外形尺寸(宽×深×高):1300 × 800 × 784毫米/ 51.2\" × 31.5\" × 30.9\"

Specifications IVF Workstation

Dimensions of isolated surface

(L × W)

400 × 500

15.7 × 19.7 inch

Overall dimensions (L × W × H) 1300 × 800 × 784 mm

51.2 × 31.5 × 30.9 inch

Load capacity on isolated surface 0 – 120 kg

0 – 265 lbs

Isolation technology Accurion control technology based on piezoelectric type acceleration pickup, fast signal

processing and electro-dynamic force transducers.

Force directions Active compensation in all six degrees of freedom.

Isolation performance > 5 Hz = 25 dB (94.4 %) > 10 Hz = 40 dB (99 %)

Active bandwidth 0.6 – 200 Hz* (passive isolation beyond 200 Hz)

Settling time 300 ms**

Response time 0.5 ms***

Stroke of the actuator 1 mm

Max. correction forces Vertical ± 8 N Horizontal ± 4 N

Max. compensation level 500 µm / sec. at 6 Hz and 60 kg / 132 lbs**

Repeatability of load adjustment 120 µm

Table top material on isolated

surface Powder coated aluminum

Table top material non-isolated

surface Medium density fiberboard with outer melamin resin surface

Top plate surface flatness ± 0.10 mm over complete surface

Environmental and operational

requirements

Electrical voltage: Power

consumption: Operating

temperature: Relative

humidity: Operating

altitude:

Input 100 – 240 V/50 – 60 Hz AC ; Output :+12V / 5.0 A – 60W DC

Typically 40 – 45 W

15 – 40 °C / 59 – 104 °F

0 – 60 %

< 2,500 m / 8,100 ft

*弹簧质量组合的低通特性决定了隔离系统在 200 Hz 以上的动态行为。主动隔离部分随频率增加而减小。

**稳定时间和最大补偿水平取决于有效载荷、振动频率和负载分布等多种条件。上述稳定时间值是中心负载 80 Kg 的示例，稳定时间定义了补偿

传入振动的时间

***响应时间决定了系统在传感器检测到传入振动后何时开始主动隔离传入振动。

选型表：

Isolated surface i4 (W × D): 400 × 500 mm / 15.7\" × 19.7 \"

Overall dimensions (W × D × H): 1300 × 800 × 784 mm / 51.2\" × 31.5\" × 30.9\"

IVF Workstation

430

400 500

1300

600648

784

Top View

400

501

800

Isolated surface i4 (W × D): 400 × 500 mm / 15.7\" × 19.7 \"

Overall dimensions (W × D × H): 1300 × 800 × 784 mm / 51.2\" × 31.5\" × 30.9\"

IVF Workstation

430

400 500

1300

600648

784

Top View

400

501

800

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

尼

隔

振气浮隔振光学平台平台附件及其他光学平台光学平台仪器支架

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主动隔振光学平台

隔

振

光

学

平

台单频阻尼隔振

双

频

阻

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A61

Accurion Vario主动隔振模块（进口）

Accurio Vario 系统是基于元件的模块化隔振系统，由至少两个

隔离元件和一个外部控制单元组成。主要型号 Vario Basic 专为隔

离高静态负载而设计。

虽然双元件配置可承载高达 300 公斤的负载，但可以通过添加

更多隔离元件来增加最大负载能力。因此，六个隔离元件可以具备

900 公斤的负载能力。

对于负载频繁变化或无法使用隔离元件的应用，我们提供自动

负载调整选项。

紧凑的尺寸和灵活性使该产品系列成为客户特定应用中安装的

理想选择。

一个典型的例子是与光学面包板的组合，该模块可以充当隔离

元件之间的机械连接，并可用于各种设置，例如干涉仪或其他激光

设置。

Vario 模块系统的应用适用于绝大多数领域。

主要特点：

• 在六个自由度上提供主动隔离。

• 主动隔振从1.0Hz开始。

• 稳定时间仅0.3秒。

• 无需空气压缩机，只需电源插座的交流电。

• 方便的手动负载调节-自动负载调节为选配。

• 出色的位置稳定性和刚度

• 提供多种标准尺寸和定制。

• 无自然低频共振，因此

• 在低于5Hz的频率范围内也具有出色的振动特性

• 方便手动负载调整-自动负载调整作为一个选项。

• 良好的位置稳定性和刚度

• 可选配标准尺寸和定制提供。

Accurion Vario Basic 40-600与刚性支架，

面包板搭配使用

应用案例：

可选配件：

• 钢支撑框架

• 隔音罩

• 自动负载调节

• 机架式外部控制单元

• 各种带或不带安装孔的面包板(M6/25或1/4-20”)

隔

振

光

学

平

台

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

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台单频阻尼隔振

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

隔

振

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台单频阻尼隔振

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A63

Vario Basic 60在速度为100 µm/s、负载为50 kg(110 lbs)时振动传递效率曲线图 与传统气浮隔振系统(白色)相比，Vario的稳定时间(蓝色)

Specifications规格型号 Vario Basic 40 Vario Basic 60 Vario Basic 90

Dimensions of isolation 396×120×110 mm 636×130×110 mm 932×130×110 mm

element (L×W×H)外型尺寸 15.6×4.7×4.3 inch 25×5.1×4.3 inch 36.7×5.1×4.3 inch

Load capacity-2 element configuration

双模块负载能力 0-300 kg/0-660 lbs 0-300 kg/0-660 lbs 0-300kg/0-660 lbs

Load capacity-4element configuration

4模块负载能力 0-600 kg/0-1320 Ibs 0-600 kg/0-1320 lbs 0-600 kg/0-1320 lbs

Weight per isolation element 6.8 kg/15 lbs 8.6 kg/19 lbs 10.4 kg/23 lbs

Weightof control unit

每个隔振模块的重量

每个控制单元重量

4.5 kg/10 lbs 4.5 kg/10 lbs 4.5 kg/10 lbs

lsolation technology

隔振技术 基于压电式加速度采集、快速信号处理和电动力传感器的精确控制技术。

Control electronics

控制电子设备 外置控制单元，配有传感器和执行器led

Force directions受力方向 Active compensation in all six degrees of freedom.

Isolation performance隔振性能 >5 Hz=-25 dB(94.4%) >10 Hz=-35 dB(98.2%)

Active bandwidth主动隔振带宽 1- 200hz *(被动隔振超过200hz)

Settling time 稳定时间 300 ms**

Response time 响应时间 0.5 ms**

Stroke of the actuator驱动器行程 1 mm

Max.correction forces2 element configuration Vertical±8N Horizontal±4N

Max.correction forces4 element configuration

4隔振模块最大修正力

Vertical±16N Horizontal±8N

Max.compensation level最大补偿等级 550 µm/sec.at 8 Hz and 150 kg/330 Ibs**

Interface 接口 BNCanalog diagnostic output-500

Environmental

and operational requirements

负载工况下的重复精度

电压 100-250 V/47-63 Hz

功耗：通常 10-20W；最大 50W

工作温度 15-40℃ 159-104F

相对湿度：0-60%

作业海拔高度：<2,500 m/8,100 ft

Certified according to:

认证依据:

2014/35/EU 2014/30/EU

FCC Regulations Part 15.107 &15.109 SI 2016:1091

*弹簧质量组合的低通特性决定了隔离系统在 200 Hz 以上的动态行为。主动隔离部分随频率增加而减小。

**稳定时间和最大补偿水平取决于有效载荷、振动频率和负载分布等多种条件。

上述稳定时间值以 80 公斤的中心负载为例。稳定时间定义了补偿传入振动的时间。*响应时间决定了系统在传感器检测到传入振动后何时开始主

动隔离传入振动

选型表：

隔

振

光

学

平

台

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

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A64Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

Accurion主动振动工作站（进口）

Accurion 工作站采用人体工程学设计，由主动隔振系统和与之

匹配的焊接支撑框架组成。为了实现最佳的隔振性能，请务必将隔

振系统放置在坚硬的表面上。为此，使用实心钢框架结构是最优的

选择。

有两种标准版本可供选择：Workstation i4 和 Workstation

Vario。除了标准版本外，Accurion 还可选配定制版本。

Workstation Vario 系统配备钢质框架，上台面配有嵌入式光

学面包板作为工作表面。例如，周围的框架可用于安装隔音罩。与

Workstation i4 相比，Workstation Vario 能够支持更大、更重的应

用场景。

主要特点：

• 主动隔振从 0.6 Hz 开始（被动隔振高于 200 Hz）。

• 可在六个自由度上提供主动隔振。

• 自动负载调节和运输锁定。

• 无自然低频共振，因此在低于 5 Hz 的频率范围内也具

有出色的振动特性。

• 无需压缩空气供应，只需电源插座的交流电。

• 出色的位置稳定性和刚度。

• 允许符合人体工程学的工作条件。

• 免维护的一体化解决方案，

• 脚轮便于移动。

• 由于采用焊接钢框架，因此支撑结构具有抗扭转和高

刚性。

可选配件：

• 可定制的隔音罩

• 机架式外部控制单元，配有脚轮便于移动

• 顶板上的安装孔（25 毫米中心的 M6 螺纹孔或 1 英寸中心的 ¼\"-

20 螺纹孔）

Workstation i4 被设计

用于与光学显微镜或

显微镜/SPM 组合一起

使用。其隔离表面由

防刮 MDF 板包围，可

用作扶手或储物区。

应用案例：

Accurion Workstation Vario 带隔音罩 Accurion Workstation Vario 900 Accurion Workstation i4 细节图

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

振

光

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

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A65

在速度为100 um/s，有效载荷为20 kg(44磅)时，Accurion Workstation

i4的振动传递效率曲线图

在速度为100 um/s，有效载荷为60 kg(132磅)时，Accurion

Workstation Vario 780的振动传递效率曲线图

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Key Features

Active vibration isolation starts at 0.6 Hz

(passive isolation above 200 Hz).

Isolation in all six degrees of freedom.

Automatic load adjustment and transportation lock.

No natural low frequency resonance and, as a result,

excellent vibration characteristics also in frequency

ranges below 5 Hz.

No compressed air supply is needed,

AC power from an electrical outlet is sufficient.

Excellent position stability and stiffness.

Allows ergonomic working conditions.

Maintenance-free all-in-one solution.

Castors for moveability

Torsion-resistant and rigid support structure due to

welded steel frame.

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Key Features

Active vibration isolation starts at 0.6 Hz

(passive isolation above 200 Hz).

Isolation in all six degrees of freedom.

Automatic load adjustment and transportation lock.

No natural low frequency resonance and, as a result,

excellent vibration characteristics also in frequency

ranges below 5 Hz.

No compressed air supply is needed,

AC power from an electrical outlet is sufficient.

Excellent position stability and stiffness.

Allows ergonomic working conditions.

Maintenance-free all-in-one solution.

Castors for moveability

Torsion-resistant and rigid support structure due to

welded steel frame.

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation i4 measured at a

vibration velocity of 100 µm/s

with a payload of 20 kg (44 lbs).

Transmission graph of the

Accurion Workstation Vario 780

measured at avibration velocity of

100 µm/s with a payload

of 60 kg (132 lbs).

隔

振

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

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台单频阻尼隔振

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A66Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

Specifications Workstation Vario 600 Workstation Vario 780 Workstation Vario 900

隔振台面尺寸

(L X W)

600×600 mm

23.6×23.6 inch

780×600 mm

30.7×23.6 inch

900×750 mm

35.4×29.5 inch

外形尺寸

(L X W X H)

770×770×750 mm

30.3×30.3×29.5 inch

950×770×750 mm

37.4×30.3×29.5 inch

1070×920×750 mm

42.1 ×36.2 ×29.5 inch

负载能力 0-320kg/0-705 lbs 0-310kg/0-683 lbs 0-290 kg/0-639 lbs

重量 120kg/265 lbs 142 kg/313 lbs 175kg/386 lbs

隔振技术 基于压电式加速度采集、快速信号处理和电动力传感器的精确控制技术

控制电子器件 外置控制单元

受力方向 六个自由度均可提供主动补偿

隔振性能 >5 Hz = - 25 dB (94.4 %) >10 Hz = - 35 dB (98.2 %)

主动隔振带宽 1-200 Hz*( passive isolation beyond 200 Hz)

稳定时间 300 ms**

响应时间 0.5m s***

驱动器行程 1mm

最大修正力 Vertical±8 N Horizontal±4 N

最大补偿等级 500 µm/ sec. at 9 Hz and 160 kg/353 lbs**

负载工况下的重复精度 60 µm

台面材料 蜂窝芯面包板-铁磁不锈钢表面

顶板表面平整度 整个台面± 0.10 mm

境及操作要求

电源电压:输入100-250V/47- 63hz 功耗:一般为40- 45w

操作温度:15 - 40°C / 59 - 104°F 相对湿度:0 - 60%

作业海拔高度:<2,500米/8,100英尺

电气安全 CE certified according to directive 2006/95/EC

认证依据

2014/35/EU

2014/30/EU

FCC Regulations Part 15.107 & 15.109

SI 2016:1091

*弹簧质量组合的低通特性决定了隔离系统在 200 Hz 以上的动态行为。主动隔离部分随频率增加而减小。

**稳定时间和最大补偿水平取决于有效载荷、振动频率和负载分布等多种条件。上述稳定时间值是中心负载 80 Kg 的示例，稳定时间定 义了补

偿传入振动的时间。

***响应时间决定了系统在传感器检测到传入振动后何时开始主动隔离传入振动。

Specifications Workstation i4 Workstation i4 Large

隔振台面尺寸

(L X W)

400×500 mm

15.7×19.7 inch

550×700 mm

21.7 ×27.6 inch

外形尺寸

(L X W X H)

1200×800×750 mm

47.2×31.5×29.5 inch

800×900×750 mm

31.5×35.4×29.5 inch

负载能力 0-120kg/0-265 lbs 0-105 kg/0-232 lbs or 40-150kg/88-331 lbs

重量 120kg/265 lbs 142kg/313 lbs

隔振技术 基于压电式加速度采集、快速信号处理和电动力传感器的精确控制技术

控制电子器件 外置控制单元

受力方向 六个自由度均可提供主动补偿

隔振性能 >5 Hz = - 25 dB (94.4%) >10 Hz =-40 dB (99.0 %)

主动隔振带宽 0.6-200 Hz* ( passive isolation beyond 200 Hz)

稳定时间 300 ms**

响应时间 0.5ms***

驱动器行程 1mm

最大修正力 Vertical ±8 N Horizontal ±4 N

最大补偿等级 500 µm/ sec, at 6 Hz and 60 kg/132 lbs**

负载工况下的重复精度 120µm

台面材料 蜂窝芯面包板-铁磁不锈钢表面

顶板表面平整度 整个台面± 0.10 mm

境及操作要求

电源电压:输入100-250V/47- 63hz 功耗:一般为40- 45w

操作温度:15 - 40°C / 59 - 104°F 相对湿度:0 - 60%

作业海拔高度:<2,500米/8,100英尺

认证依据

2014/35/EU

2014/30/EU

FCC Regulations Part 15.107 & 15.109

SI 2016:1091

*弹簧质量组合的低通特性决定了隔离系统在 200 Hz 以上的动态行为。主动隔离部分随频率增加而减小。

**稳定时间和最大补偿水平取决于有效载荷、振动频率和负载分布等多种条件。上述稳定时间值是中心负载 80 Kg 的示例，稳定时间定义了补偿

传入振动的时间

***响应时间决定了系统在传感器检测到传入振动后何时开始主动隔离传入振动。

选型表：

选型表：

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

隔

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光

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

隔

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台单频阻尼隔振

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A67

主动独立隔振器

1、SFT气浮系列主动隔振系统

特点：

• 空气弹簧支撑

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 标品800~7800kg承重，多型号

可选

• 台面振动等级低至VC-G

• 水平向电机峰值推力高达1280N

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 SFT040A SFT080A SFT180F SFT080D SFT180D

外形尺寸 225×185×202 308×300×202 380×370×260 308×300×202 380×370×260

单腿自重 17kg 32kg 58kg 49kg 86kg

主支撑体 空气弹簧

4腿系统承

载重量 1600kg 3200kg 7200kg 3200kg 7200kg

垂向传递率

≤-5dB@1Hz

≤-15dB@2Hz

≤-25dB@5Hz

≤-35dB@10Hz

≤-10dB@1Hz

≤-20dB@2Hz

≤-25dB@5Hz

≤-35dB@10Hz

≤-10dB@1Hz

≤-20dB@2Hz

≤-25dB@5Hz

≤-35dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向电机

峰值推力 80N 270N 270N 1280N 1280N

适用领域 干涉仪、量测等静态隔振要求高的设备 键合等动态稳定要求高的设备

2、SST钢弹簧式主动隔振系统

特点：

• 金属弹簧支撑，无需气源

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 占地空间小，灵活安装

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 SST050A

外形尺寸 250×190×200

单腿自重 20kg

主支撑体 空气弹簧

4腿系统承载重量 2000kg

垂向传递率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向电机峰值推力 270N

适用领域

3、SFN气浮并联负刚度系列主动隔振系统

特点：

• 极低的固有频率，采用空气

弹簧并联磁负刚度机构，固

有频率低至0.5Hz

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 传递率低至-50dB@10Hz

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 SFN120A SFN160A

外形尺寸 225×185×202 308×300×202

单腿自重 35kg 32kg

主支撑体 空气弹簧、磁负刚度机构

4腿系统承载重量 4800kg 3200kg

垂向传递率

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-50dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-50dB@10Hz

水平向电机峰值

推力 160N 160N

适用领域 半导体前道制造

隔

振

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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振

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台单频阻尼隔振

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5、FSD快速整定平台系列主动隔振系统

特点：

• 一体式隔振系统，占用空间小

• 单向最高提供1280N推力

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 FSD100A FSD100B

外形尺寸 1000×700×150 1020×875×166

单腿自重 138kg 211kg

主支撑体 钢弹簧

4腿系统承载

重量 1000kg 1000kg

垂向传递率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向电机

峰值推力 640N 1280N

适用领域 先进量检测设备

6、两级隔振系列主动隔振系统

特点：

• 高性能隔振的低成本方案，

10Hz传递率可达-45dB

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.8Hz起

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 SFT040A+SFT060A

一级隔振承载能力 2400kg（5bar）

二级隔振承载能力 1600kg（bar）

主支撑体 空气弹簧

系统隔振自由度 6

垂向传递率

≤-20dB@1Hz

≤-25dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-45dB@10Hz

≤-55dB@20Hz

主动隔振带宽 0.8~150Hz

适用领域 超精密测量、超精密静态隔振

4、SFV真空系列主动隔振系统

特点：

• 极低的固有频率，采用空气弹簧并联

磁负刚度机构，固有频率低至0.5Hz

• 适用1E-4Pa的真空环境

• 6自由度主动隔振

• 主动隔振带宽低至0.5Hz起

• 传递率低至-50dB@10Hz

• 自研控制系统

• 零部件国产化

型号 SFV180A

外形尺寸 375×290×250

单腿自重 40kg

主支撑体 空气弹簧

4腿系统承载重量 7200kg

垂向传递率

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-45dB@10Hz

水平向电机峰值推力 160N

适用领域 半导体前道制造

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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主动隔振光学平台

隔

振

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台单频阻尼隔振

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尼

隔

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A69

案例1：某国产半导体设备制造商

负载及运动台参数 性能指标 轴向 SFT080A

负载重量 2400kg 振动传递率 X/Y/Z轴

-15dB@2Hz

-25dB@5Hz

-35dB@10Hz

X轴：质量×加速度范围

&速度

58kg×8m/s²

±200mm&400mm/s

隔振系统

位置稳定误差 X/Y轴 ＜±25um

Y轴：质量×加速度范围

&速度

45kg×8m/s²

±160mm&400mm/s

稳定时间 X/Y轴 35ms

需求 步进运动后快速整定 运动台稳定精度 X/Y轴 ±6nm

实测振动传递率 实测冲击向特性

案例2：某学校实验室电子显微镜隔振

PSQ-BHJI：适配各类SEM电子显微镜

隔振前成像图

隔振后成像图

隔

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A70Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

DVIA-MO系列主动隔振光学平台

特点：

• 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频

2Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率。

• 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的

振动，并做补偿。

• 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选

100/200/300mm。

• 进口精密主动隔振光学平台。

• 隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微

镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干

涉仪，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激

光共聚焦显微镜等。

说明：

DVIA-MO 系列高精密主动隔振光学平台为韩国 DAEIL（大一）株式会社生产的

主动隔振光学平台，由台面和主动隔振支撑两部分组成。

台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为 430 系列高导磁不锈钢，台面按照

25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔，方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔

离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的

结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用先进的粘合工艺，坚固耐用。台面

的底部和侧板用钢板作为主体材料，具有非常优秀的动态和静态的刚性。

主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器 DVIA-M，每个支撑

里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集

信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除 0.5-10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统

部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。

这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常卓越隔振性能，它可以

应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪、高

分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

主动隔振光学平台技术指标：

• 隔振频率：0.5~100Hz

• 自动平衡，响应时间短，平衡速度快

• 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²

• 表面平整度：±0.1mm /600mm×600mm

• 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁不锈钢

• 底面：4.0mm厚钢板，表面氧化处理

• 边墙板：2.0mm厚钢板，包裹高阻尼聚乙烯材料

• 孔径： M6 (英制螺孔可选)

• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘

37.5mm

• 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁

• 阻尼隔振方式：宽带阻尼

细节说明：

DVIA-M系列主

动隔振器

整体台面 平台控制器

（进口）

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主动隔振光学平台

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A71

DVIA-M系列主动隔振器参数表

型号 DVIA-M1000 DVIA-M2000 DVIA-M3000

尺寸 隔振器(mm) 215x215x180 232x232x180 308x308x180

控制器(mm) 334x357x120 334x357x120 334x357x120

最大负载(kg) 1500-3500 1500-3500 1500-3500

驱动方式 电机驱动

隔振自由度 6个自由度

隔振效率 ≥90% at 2Hz；95%-99%at 10Hz

回复时间 <0.5Sec

驱动器推力 竖直>20N,水平>40N

输入电压 AC 85-264/50-60Hz

功率消耗 峰值功率110W,稳定功率50W

空气压力 大于0.5Mpa

环境要求 温度℃ 5-50°C

湿度 20%-90%

主动隔振频率范围 0.5-100Hz

初始水平调整 自动调整

系统配置 4个隔振器包含控制箱

隔振光学平台隔振性能参数：

应用案例：

 

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A72Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

选型表：

型号 外形尺寸(mm) 台面厚度

DVIA-MO-1209M-100t(800H) 1200X900X800 100mm

DVIA-MO-1212M-100t(800H) 1200X1200X800 100mm

DVIA-MO-1509M-100t(800H) 1500X900X800 100mm

DVIA-MO-1512M-100t(800H) 1500X1200X800 100mm

DVIA-MO-1809M-100t(800H) 1800X900X800 100mm

DVIA-MO-1812M-100t(800H) 1800X1200X800 100mm

DVIA-MO-2010M-100t(800H) 2000X1000X800 100mm

DVIA-MO-2012M-100t(800H) 2000X1200X800 100mm

DVIA-MO-2409M-100t(800H) 2400X900X800 100mm

DVIA-MO-2412M-100t(800H) 2400X1200X800 100mm

DVIA-MO-1509M-200t(800H) 1500X900X800 200mm

DVIA-MO-1510M-200t(800H) 1500X1000X800 200mm

DVIA-MO-1512M-200t(800H) 1500X1200X800 200mm

DVIA-MO-1515M-200t(800H) 1500X1500X800 200mm

DVIA-MO-1809M-200t(800H) 1800X900X800 200mm

DVIA-MO-1812M-200t(800H) 1800X1200X800 200mm

DVIA-MO-1815M-200t(800H) 1800X1500X800 200mm

DVIA-MO-2010M-200t(800H) 2000X1000X800 200mm

DVIA-MO-2012M-200t(800H) 2000X1200X800 200mm

DVIA-MO-2015M-200t(800H) 2000X150X800 200mm

DVIA-MO-2409M-200t(800H) 2400X900X800 200mm

DVIA-MO-2412M-200t(800H) 2400X1200X800 200mm

DVIA-MO-2415M-200t(800H) 2400X1500X800 200mm

DVIA-MO-3009M-200t(800H) 3000X900X800 200mm

DVIA-MO-3010M-200t(800H) 3000X1000X800 200mm

DVIA-MO-3012M-200t(800H) 3000X1200X800 200mm

DVIA-MO-3015M-200t(800H) 3000X1500X800 200mm

DVIA-MO-3612M-200t(800H) 3600X1200X800 200mm

DVIA-MO-3615M-200t(800H) 3600X1500X800 200mm

型号 外形尺寸(mm) 台面厚度

DVIA-MO-1509M-300t(800H) 1500X900X800 300mm

DVIA-MO-1510M-300t(800H) 1500X1000X800 300mm

DVIA-MO-1512M-300t(800H) 1500X1200X800 300mm

DVIA-MO-1515M-300t(800H) 1500X1500X800 300mm

DVIA-MO-1809M-300t(800H) 1800X900X800 300mm

DVIA-MO-1812M-300t(800H) 1800X1200X800 300mm

DVIA-MO-1815M-300t(800H) 1800X1500X800 300mm

DVIA-MO-2010M-300t(800H) 2000X1000X800 300mm

DVIA-MO-2012M-300t(800H) 2000X1200X800 300mm

DVIA-MO-2015M-300t(800H) 2000X150X800 300mm

DVIA-MO-2409M-300t(800H) 2400X900X800 300mm

DVIA-MO-2412M-300t(800H) 2400X1200X800 300mm

DVIA-MO-2415M-300t(800H) 2400X1500X800 300mm

DVIA-MO-3009M-300t(800H) 3000X900X800 300mm

DVIA-MO-3010M-300t(800H) 3000X1000X800 300mm

DVIA-MO-3012M-300t(800H) 3000X1200X800 300mm

DVIA-MO-3015M-300t(800H) 3000X1500X800 300mm

DVIA-MO-3612M-300t(800H) 3600X1200X800 300mm

DVIA-MO-3615M-300t(800H) 3600X1500X800 300mm

DVIA-MO-1509M-400t(800H) 1500X900X800 400mm

DVIA-MO-1510M-400t(800H) 1500X1000X800 400mm

DVIA-MO-1512M-400t(800H) 1500X1200X800 400mm

DVIA-MO-1515M-400t(800H) 1500X1500X800 400mm

DVIA-MO-1809M-400t(800H) 1800X900X800 400mm

DVIA-MO-1812M-400t(800H) 1800X1200X800 400mm

DVIA-MO-1815M-400t(800H) 1800X1500X800 400mm

DVIA-MO-2010M-400t(800H) 2000X1000X800 400mm

DVIA-MO-2012M-400t(800H) 2000X1200X800 400mm

DVIA-MO-2015M-400t(800H) 2000X150X800 400mm

DVIA-MO-2409M-400t(800H) 2400X900X800 400mm

DVIA-MO-2412M-400t(800H) 2400X1200X800 400mm

DVIA-MO-2415M-400t(800H) 2400X1500X800 400mm

DVIA-MO-3009M-400t(800H) 3000X900X800 400mm

DVIA-MO-3010M-400t(800H) 3000X1000X800 400mm

DVIA-MO-3012M-400t(800H) 3000X1200X800 400mm

DVIA-MO-3015M-400t(800H) 3000X1500X800 400mm

DVIA-MO-3612M-400t(800H) 3600X1200X800 400mm

DVIA-MO-3615M-400t(800H) 3600X1500X800 400mm

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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主动隔振光学平台

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A73

仪器架

OTNS系列隔振光学平台仪器支架

说明：

隔振光学平台仪器支架是隔振光学平台应用的延伸，独立放置 , 可放置示波器、各种控制器、适配器、电脑等，不仅可以充分利用

隔振光学平台上方的空间，且操作各类仪器时不影响平台的的稳定性。

OTNS 系列隔振光学平台仪器支架使用矩形空心型钢，表面亚光处理，采用整体焊接工艺，增加了整个仪器支架的刚性和稳定性。

仪器支架高度可调，带有脚轮、升降地脚，方便搬运和固定。

命名规则：

选配：

暗室 插排或灯

尺寸图：

OTNS - 15 – A102 – L2 – D12(HG/FG)

系列代码:

OTNS:仪器支架

灯带数量:

无:无灯带

L2:两个灯带

L4:四个灯带

⁝

插排规格及数量:

无:无插排

A102:两个10A

A162:两个16A

A104:四个10A

⁝

适配平台长度:

12:1200mm

15:1500mm

18:1800mm

⁝

遮光帘适配平台宽度:

无:无遮光帘

HG:滑轨式遮光帘

FG:覆盖式遮光帘

D12:1200mm

D15:1500mm

⁝

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光学平台光学平台仪器支架Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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FG覆盖式遮光帘暗室

说明：

• 优质双面深黑色帘布，可遮挡环境光，搭配仪器支架构成暗室；

• 帘布中间开缝，可掀开进入暗室，开缝处配魔术贴，

可将帘布粘在一起，防止漏光；

• 仪器支架顶部，用铝型材搭建骨架，支撑帘布；

• 暗室需搭配我司OTNS系列仪器支架使用；

* 注意：适用于普通实验室，若用于洁净间，请与我司联系；帘布只遮挡环

境光，若有激光防护、阻燃、其他颜色等要求，请与我司联系。

特点：

• 性价比高，两个长边都设有掀帘口，可满足大部分暗室场景使用。

更多型号持续更新。

规格搭配参照表：

型号 FG暗室（长x宽x高/mm） 兼容光学平台（长x宽/mm） 备注

FG-L15W10 1740x1600x2100 暗室 1500x1000 光学平台

包括帘布及其支撑骨架，不包含

仪器支架。

FG-L15W12 1740x1800x2100 暗室 1500x1200 光学平台

FG-L15W15 1740x2100x2100 暗室 1500x1500 光学平台

FG-L18W10 2040x1600x2100 暗室 1800x1000 光学平台

FG-L18W12 2040x1800x2100 暗室 1800x1200 光学平台

FG-L18W15 2040x2100x2100 暗室 1800x1500 光学平台

FG-L20W10 2240x1600x2100 暗室 2000x1000 光学平台

FG-L20W12 2240x1800x2100 暗室 2000x1200 光学平台

FG-L20W15 2240x2100x2100 暗室 2000x1500 光学平台

FG-L24W12 2640x1800x2100 暗室 2400x1200 光学平台

FG-L24W15 2640x2100x2100 暗室 2400x1500 光学平台

FG-L24W18 2640x2400x2100 暗室 2400x1800 光学平台

FG-L30W12 3240x1800x2100 暗室 3000x1200 光学平台

FG-L30W15 3240x2100x2100 暗室 3000x1500 光学平台

FG-L30W18 3240x2400x2100 暗室 3000x1800 光学平台

FG-L30W20 3240x2600x2100 暗室 3000x2000 光学平台

细节说明：

顶部暗室骨架

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主动隔振光学平台

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A75

HG滑轨式遮光帘暗室

说明：

• 优质双面深黑色帘布，可遮挡环境光，搭配仪器支架构成暗室；

• 前后左右，四个面四块帘布，每块帘布都配有导轨，可灵活拉动；

• 每块帘布两端都配魔术贴，可将四面帘布粘在一起，防止漏光；

• 顶部用一整张帘布罩罩住；

• 仪器支架顶部，用铝型材搭建出骨架，支撑帘布导轨；

• 暗室需搭配我司OTNS系列仪器支架使用；

* 注意：适用于普通实验室，若用于洁净间，请与我司联系；

帘布只遮挡环境光，若有激光防护、阻燃、其他颜色等要求，请与我司联系。

更多型号持续更新。

规格搭配参照表：

型号 HG暗室（长x宽x高/mm） 兼容光学平台（长x宽/mm） 备注

HG-L15W10 1840x1700x2100 暗室 1500x1000 光学平台

包括导轨、帘布及其支撑骨架，不

包含仪器支架。

HG-L15W12 1840x1900x2100 暗室 1500x1200 光学平台

HG-L15W15 1840x2200x2100 暗室 1500x1500 光学平台

HG-L18W10 2140x1700x2100 暗室 1800x1000 光学平台

HG-L18W12 2140x1900x2100 暗室 1800x1200 光学平台

HG-L18W15 2140x2200x2100 暗室 1800x1500 光学平台

HG-L20W10 2340x1700x2100 暗室 2000x1000 光学平台

HG-L20W12 2340x1900x2100 暗室 2000x1200 光学平台

HG-L20W15 2340x2200x2100 暗室 2000x1500 光学平台

HG-L24W12 2740x1900x2100 暗室 2400x1200 光学平台

HG-L24W15 2740x2200x2100 暗室 2400x1500 光学平台

HG-L24W18 2740x2500x2100 暗室 2400x1800 光学平台

HG-L30W12 3340x1900x2100 暗室 3000x1200 光学平台

HG-L30W15 3340x2200x2100 暗室 3000x1500 光学平台

HG-L30W18 3340x2500x2100 暗室 3000x1800 光学平台

HG-L30W20 3340x2700x2100 暗室 3000x2000 光学平台

细节说明：

顶部暗室骨架

导轨细节

特点：

• 暗室顶部设有导轨，可灵活拉动帘布，适用于人员和设备经常进出暗室的场合。

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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• 材料：橡胶

• 厚度：≤5mm

• 用途：垫片及简易隔振

平台配件及应用案例

选型表：

选型表：

• 安装间距为100mm，使用M6螺丝固定

• 把手负载30Kg

注意：使用把手搬运平台时，请注意安全。我

们不建议您将把手用于铁磁不锈钢的光学面包

板或隔振光学平台。

OTSB-HD100铝合金面包板把手 RBP橡胶平垫 RBL橡胶垫脚

Ø13

1 2

2 5

Ø 7

Ø50

Ø36

型号 名称 备注

RBL 橡胶垫脚 一组4个

低噪音无油空气压缩机 低噪音无油空气压缩机

• 材料：橡胶

型号 名称 长×宽×厚度

（mm）

RBP100100-5 橡胶平垫 100×100×5

RBP200200-5 橡胶平垫 200×200×5

型号 TW5501

排气量 115-30L/min

排气压力 0.1～0.8MPa

电压频率Volt./Hz 220V 50Hz

功率HP/W 550W

转速Speed（R.P.M） 1450

运行噪声（dB） 62±3

储气罐Tank（Lt） 25

毛重（KG） 35

净重（KG） 25

外形尺寸 L×W×H mm 408×408×530

型号 TW550-4C

排气量 35L /min

排气压力 0.1～0.8MPa

电压频率Volt./Hz 220V 50Hz

功率HP/W 550W

转速Speed（R.P.M） 1450

运行噪声（dB） 51±3

储气罐Tank（Lt） 4

净重（KG） 23

外形尺寸 L×W×H mm 460×210×480

北京卓立汉光仪器有限公司

NZZV ]]]`URO^IUSIT

北京总公司: 电话: 010 56370168 邮箱: info@zolix.com.cn 上海： 021 62227575 深圳：0755 83293053

成都： 028 68080921 西安：029 88326276

6 / 13

二、技术参数

排气量 35L/min

排气压力 0.7MPa

电压频率 Volt./Hz 220V/50Hz

功率 HP/W 550W

转速 Speed(R.P.M) 1450

运行噪声 dB(A)40″ 51±3

储气罐 Tank(Lt) 4L

净重 G.W(KG) 23KG

外形尺寸 L ×W×H mm 460×210×480 mm

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

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A77

ESD 静电释放器

说明：

ESD 静电保护手环的主要作用是防止静电放电，保护电子元器件免受损坏，同时确保生产质量，提高工作效率，并符合安全规定。

防静电手环通过将人体上的静电释放到大地，有效地防止了静电放电现象，这是因为在电子生产过程中，工人手中的静电可能会传

递到电子元器件上，导致故障或损坏。通过佩戴防静电手环，可以将手上的静电安全地导入到接地线中，从而避免了这种损害。此外，

防静电手环还能避免静电对人体的危害，特别是在气候干燥的冬季，静电可能会对人体造成不适或皮肤过敏等问题。通过分散人体上的

静电，防静电手环有效地减少了这些不良影响。

我司的 ESD 静电防护装置，作为选配，可安装在光学平台台面上任意位置。

产品参数展示

型号 ESD-I

名称 静电释放器

款式 单工位（单人使用）

工艺 ABS 塑料+金属

报警 异常：蜂鸣，红灯闪烁正常：无蜂鸣，绿灯

功能 防静电工作区接地系统进行实时监测

供电电压 AC220V /50Hz

输出电压 DC9V

报警响应时间 20ms

工作温度 0～+50℃

工作湿度 20%～80%RH

腕带数量 1 套

腕带最长长度 1.5 米

ESD 静电释放器说明

ESD 静电保护手环的主要作用是防止静电放电，保护电子元器件免受损坏，

同时确保生产质量，提高工作效率，并符合安全规定。

防静电手环通过将人体上的静电释放到大地，有效地防止了静电放电现象，

这是因为在电子生产过程中，工人手中的静电可能会传递到电子元器件上，导致

故障或损坏。通过佩戴防静电手环，可以将手上的静电安全地导入到接地线中，

从而避免了这种损害。此外，防静电手环还能避免静电对人体的危害，特别是在

气候干燥的冬季，静电可能会对人体造成不适或皮肤过敏等问题。通过分散人体

上的静电，防静电手环有效地减少了这些不良影响。

我司的 ESD 静电防护装置，作为选配，可安装在光学平台台面上任意位置。

产品参数展示

型号 ESD-I

名称 静电释放器

款式 单工位（单人使用）

工艺 ABS 塑料+金属

报警 异常：蜂鸣，红灯闪烁

正常：无蜂鸣，绿灯

功能 防静电工作区接地系统进行实时监测

供电电压 AC220V /50Hz

输出电压 DC9V

报警响应时间 20ms

工作温度 0～+50℃

工作湿度 20%～80%RH

腕带数量 1 套

腕带最长长度 1.5 米

ESD 静电释放器说明

ESD 静电保护手环的主要作用是防止静电放电，保护电子元器件免受损坏，

同时确保生产质量，提高工作效率，并符合安全规定。

防静电手环通过将人体上的静电释放到大地，有效地防止了静电放电现象，

这是因为在电子生产过程中，工人手中的静电可能会传递到电子元器件上，导致

故障或损坏。通过佩戴防静电手环，可以将手上的静电安全地导入到接地线中，

从而避免了这种损害。此外，防静电手环还能避免静电对人体的危害，特别是在

气候干燥的冬季，静电可能会对人体造成不适或皮肤过敏等问题。通过分散人体

上的静电，防静电手环有效地减少了这些不良影响。

我司的 ESD 静电防护装置，作为选配，可安装在光学平台台面上任意位置。

产品参数展示

型号 ESD-I

名称 静电释放器

款式 单工位（单人使用）

工艺 ABS 塑料+金属

报警 异常：蜂鸣，红灯闪烁

正常：无蜂鸣，绿灯

功能 防静电工作区接地系统进行实时监测

供电电压 AC220V /50Hz

输出电压 DC9V

报警响应时间 20ms

工作温度 0～+50℃

工作湿度 20%～80%RH

腕带数量 1 套

腕带最长长度 1.5 米

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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台单频阻尼隔振

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隔振光学平台拼接案例

由于超大尺寸的隔振光学平台，在运输、安装等过程中，存在一定的困难。如果您需要超大尺寸的隔振光学平台，可以通过拼接技

术解决。

下面是我们销售、安装拼接式隔振光学平台的实例：

E型拼接隔振光学平台

U型气浮隔振光学平台

一字型拼接气浮隔振光学平台 一字型拼接隔振光学平台

L型拼接气浮隔振光学平台

光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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台单频阻尼隔振

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主动隔振光学平台

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台单频阻尼隔振

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A79

隔振光学平台应用实例

半导体所共聚焦显微镜平台 清华大学超分辨率显微镜平台

北京大学激光共聚焦拉曼光谱仪平台 清华大学拉曼光谱仪平台 南京大学共聚焦显微镜平台

某航天单位无磁花岗岩平台及无磁铝合金支架

上海交大隔振光学平台及光谱测试系统 上海光机所气浮平台及激光干涉系统 中科院先进技术研究院隔振光学

平台及太阳光模拟器

华南理工大学隔振光学平台及电动滑台 华南师范大学光学系统及平台支架

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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光学面包板综合介绍主动隔振光学平台

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主动隔振光学平台

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A81

运动控制产品北京卓立汉光仪器有限公司

光机与自动化产品

运动控制

隔振光学平台 运动控制 光机械件 光学元件

V23

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B1室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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产品目录

运动控制

B2  室温压电位移台

B2 LSxxx.Lab系列室温压电直线台

B4 Lxxx.indus系列 极简室温压电直线台

B6 LSxxz.Lab系列室温压电升降台

B8 RSxx.Lab系列室温压电旋转台

B9 GSxx-xx.Lab系列室温压电摆动台

B11 Carrier.Lxxxx.XY、Carrier.R200系列

室温压电中空载物台

B13 Free6D.3-2.150系列 压电六轴并联系统

B14 Sx00.xx.C 系列室温压电扫描台

B16 SD15/30.x.C系列 室温压电高动态扫描台

B17 SH30.xyz.C系列 室温压电高负载扫描台

B18 Carrier.S200.xy/xyz.C系列 室温压电中空扫描台

B19 CarrierHS100.xxx.C系列

室温压电中空高负载扫描台

B21 Carrier.OBxx.C.系列 室温压电物镜对焦台

B23 Mirrors.(Z12)TxTyxxxx 系列 室温压电偏摆台

B25 AutoScrew.Nano系列 压电镜架与压电螺纹副

B26 AutoScrew.LR系列 压电镜架与压电螺纹副

B27  低温压电位移台

B27 Linearxx-x低温压电线性直线台

B29 Linearxx-z低温压电线性升降台

B31 Rotatorxx-(optic)低温压电旋转台

B33 Goniometerxx-theta/phi低温压电摆动台

B35 Scannerxx-xy/z低温压电扫描台

B38  电动滑台

B59  集成式电机电动滑台

B60  电动直线滑台

B60 VSA全闭环超薄滑台

B64 uFS系列亚微米电动滑台

B67 LAK系列亚微米电动滑台

B70 CXP/CXPF系列精密小尺寸电动滑台

B75 uKSA系列高精密闭环电动滑台

B79 KA系列精密闭环电动滑台

B85 PA系列精密电动滑台

B91 LA系列精密紧凑型电动滑台

B95 TSAxx-B系列方导轨电动滑台

B98 TSAxx-C系列超薄电动滑台

B101  电动升降台

B101 CXZ系列电动升降滑台

B104 CZF系列高精密升降台

B108 TBZF系列楔块式电动升降台

B112 PSAV系列大行程高负载电动升降台

B115 KAxx -Z系列高精密闭环电动升降台

B120 PAxx-Z系列精密电动升降台

B125  电动旋转台

B125 TBRU系列高精密闭环电动旋转台

B129 TBRK系列精密半闭环电动旋转台

B133 TBR/TBRF系列耐磨电动旋转台

B138 SIN系列正弦结构旋转台

B142  电动摆动滑台

B142 GON系列电动摆动台

B146 TBG系列电动摆动台

B150 PSAG系列电动摆动台

B154  对位平台

B155 XY整体二维对位平台

B163 MSTD系列显微镜滑台

B165 XYR系列对位平台

B171  HXP系列六轴并联机器人

B171 HXP系列六轴并联机器人

B176 QF系列气浮导轨滑台

B179  多轴系统

B179 Gx系列万向关节系统

B182 Txx系列桁架（龙门）系统

B184 Mx系列多轴位置调试系统

B186  定制自动化设备

B186 半导体晶圆微操作、检验设备

B187  控制器

B187 MC-Newton.Pro.xO 室温压电位移台控制器

B188 MC-Newton.NxO系列 室温压电位移台控制器

B189 MC-Newton.S/MSx系列 室温压电级联控制器

B191 MC-NewtonLT.0x 系列低温压电位移台控制器

B193 TMC-NET控制器

B199 MTMC-NET控制器

B203 TMC-USB系列电动滑台运动控制器

B207 MC600系列电动滑台运动控制器

B210 ZC300系列运动控制器

B212 SR2驱动器

B214 SR4驱动器

B216 CVD512BR-K驱动器及其他

B221  手动滑台

B225  光纤专用手动滑台

B228 uFP系列高灵敏度手动滑台

B231 uFP系列高灵敏度光纤耦合多轴台

B234 NXP多维度光学耦合台

B238 NFP-x561系列高精密不锈钢手动直线滑台

B242 APFP系列不锈钢精密光纤专用滑台

B246 FP系列光纤专用滑台

B247 光纤专用夹具

B255  真空用手动滑台

B255 SK系列精密不锈钢手动直线滑台（真空）

B259 SKV系列不锈钢手动升降台（真空）

B261  真空手动旋转台

B261 SKR系列不锈钢精密手动旋转台（真空）

B263  真空手动摆动台

B263 SMGON系列精密直驱式手动摆动台（真空）

B266  真空滑台专用附件及其他

B266 BP系列滑台专用底板（真空）

B267  手动直线滑台

B268 NFP系列高精密不锈钢手动直线滑台

B275 SK系列精密不锈钢手动直线滑台

B282 AK系列精密铝合金手动直线滑台

B298 AD系列铝合金齿轮齿条式直线滑台

B304 DSM系列丝杆中驱式手动直线滑台

B307  手动升降台

B307 SKV系列不锈钢手动升降台

B309 AKV系列铝合金精密手动升降台

B312 MJ系列剪式升降台

B314  手动旋转台

B314 SKR系列不锈钢精密手动旋转台

B316 AKR系列铝合金精密手动旋转台

B318  手动摆动台

B318 SMGON系列高精密直驱式手动摆动台

B321 MGON系列精密直驱式手动摆动台

B324 AKG系列精密蜗轮蜗杆式手动摆动台

B327 TSMG系列手动摆动台

B328  整体式手动滑台

B328 TSMW系列整体式手动台

B330  组合式手动滑台

B330 AAK系列组合式滑台

B333  滑台专用附件及其他

B333 滑台专用底板

B335 滑台专用直角板

B339 分厘卡

B340 控制线&转接线

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B2室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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室温压电位移台

选型表

LSxxx.Lab系列室温压电直线台

特点：

•超安静运动，20kHz驱动频率

•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅

•高精度空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选

•经济型空间传感分辨率50nm(.E)

命名规则

•最小步伐约10 nm，最小空间分辨率0.1nm

•可提供多轴堆叠安装转接件

•控制器兼容旋转台，摆动台

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

型号 LS35x.Lab LS65x.Lab

底面尺寸×高度(mm) 35×35×12 65×65×13

主体材质 不锈钢，纯钛(.HV/.UHV) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)

自重 85g，50g(.NM) 160g

运动行程(mm) 20 30

最大速度(mm/s) ~20

最小步伐(闭环) 10nm，100nm(.E)

驱动频率 Max. 20 kHz (超安静运动)

最大水平推力(N) 2

保持力(N) 5

全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

水平负载 默认1000g，支持更大负载 2000g

竖直负载 200g 150g

位置传感类型 光栅尺传感

位置传感量程(mm) 20 30

位置传感分辨率

.E版本：50nm；

默认版本：2nm；

.adv版本：0.5nm

台面尺寸：

35：35mm*35mm

65：65mm*65mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

备注：.E版本不支持

以上环境版本

光栅尺类型：

E：50nm光栅尺

NA：2nm光栅尺

adv：0.5nm光栅尺

LS35x.Lab.E.HV

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B3室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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LS35x.Lab LS65x.Lab

尺寸图：

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压电·线性位移台Ñ LS35x.Lab系列（闭环）

室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台

Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

LS35x.Lab系列 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 35 × 35 mm × 12 mm

2 主体材料 铝合⾦/不锈钢 纯钛/铝合⾦ 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢

3 质量 102 g (.R)

200 g (.O)

80 g (.R)

140 g (.O)

102 g (.R)

200 g (.O)

120 g (.R)

210 g (.O)

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

4 运动⾏程 20 mm

5 最⼤速度 ~ 20 mm/s

6 最⼩步伐 ～ 10 nm

7 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

8 最⼤⽔平推⼒ 2 N

9 保持⼒ 5 N

10 全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012¡/0.017¡）

11 最⼤垂直负载 500g

运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

12 最⼤垂直负载 500g

13 保持⼒ 5 N

传感精度

14 位置传感类型 - 电阻型传感（ .R ）

- 光栅尺传感（.O ）

15 位置传感量程 20 mm

16 位置传感分辨率 - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

空间安装形式.I 空间安装形式.II

LS35x.Lab.R.HV /.UHV LS35x.Lab.O /.HV /.UHV

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 35 × 35 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 á 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 á 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认); 4.88nm,

2.44nm, 1nm 可选

• 经济型 á 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐约10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

产品特⾊

2D·尺⼨图

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压电·线性位移台— LS65x.Lab.O (闭环) 室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台

Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。

Piezoelectric Motion - RT

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LS65x.Lab.O.NM /.HV /.UHV

2D·尺⼨图

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Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

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LS65x.Lab.O 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 65 × 65 mm × 13 mm

2 主体材料 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/纯钛 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢

3 质量 332 g 204 g 332 g 332 g

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

5 运动⾏程 30 mm

6 最⼤速度 ~ 20 mm/s

7 最⼩步伐 ～ 10 nm

8 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

9 最⼤⽔平推⼒ 2 N

10 保持⼒ 5 N

11 全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°）

12 最⼤负载 2 kg

运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

13 最⼤垂直负载 150 g

14 保持⼒ 5 N

传感精度

15 位置传感类型 - 电阻型传感（ .R ）

- 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 30 mm

17 位置传感分辨率 - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

空间安装形式 空间安装形式.II .I

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 65 mm × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

产品特⾊

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B4室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Lxxx.indus系列 极简室温压电直线台

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压电·indus·线性运动— Lxxx.indus

室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

Piezoelectric Motion - RT

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.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

24 mm × 105 mm

➡ L060.indus ➡ L180.indus

24 mm × 180 mm

36 mm × 300 mm

➡ L100.indus

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压电·indus·线性运动— Lxxx.indus

室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

Piezoelectric Motion - RT

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.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

24 mm × 105 mm

➡ L060.indus ➡ L180.indus

24 mm × 180 mm

36 mm × 300 mm

➡ L100.indus

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压电·indus·线性运动— Lxxx.indus

室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

Piezoelectric Motion - RT

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&Group

.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

24 mm × 105 mm

➡ L060.indus ➡ L180.indus

24 mm × 180 mm

36 mm × 300 mm

➡ L100.indus

型号 L030.indus L060.indus L100.indus L180.indus

底面尺寸×高度（mm） 63×24×14 105×24×14 180×24×14 300×36×18

安装空间 93mm 165mm 280mm 480mm

主体材料 不锈钢/铝合金

质量（g） 110 174 388 840

负载（kg） 1 1 2 3

运动行程（mm） 30 60 100 180

最大速度 ～ 20 mm/s

最小步伐 ～ 10 nm

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

推荐最大负载（kg） 2

最大水平推力（N） 3

保持力（N） 5

全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad （0.017°）

位置传感类型 光栅尺传感

位置传感量程（mm） 30 60 100 180

位置传感分辨率 2nm

命名规则

行程：

060：60mm

100：100mm

180：180mm

030：30mm

环境版本：

NM：高真空版本

HV：超高真空版本

UHV：超高真空版本

L030.indus.HV

产品特⾊

•超安静运动，20 kHz驱动频率

• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计

•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

•最⼩步伐优于 10 nm

•可提供多轴堆叠安装转接件

•控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

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压电·indus·线性运动— L030.indus

室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动· 室

温

MultiFields &Group

Piezoelectric Motion - RT

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动· 室

温

压

电

运

动· 室

温

36 mm × 300 mm

17

L030.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本⇨ L030.indus

特殊版本可选⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本； .NM 完全⽆磁版本；

1底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm

2需要安装空间 93 mm

3主体材料不锈钢/铝合⾦

4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub15

5质量 110 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6负载 1kg

7运动⾏程 30 mm

8最⼤速度～ 20 mm/s*

9最⼩步伐～ 10 nm

10驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11推荐最⼤负载 2 kg

12最⼤⽔平推⼒ 3 N

13保持⼒ 5 N

14全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度15位置传感类型光栅尺传感

16位置传感量程 30 mm

17位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

2D·尺⼨图 • L030x.Indus • L030x.Indus.UHV • L030x.Indus.HV • L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM • L030x.Indus.UHV.NM

可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空 .UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空 .NM ~ 完全⽆磁

L030.indus

45.0 63.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

45.0 63.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B5室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

尺寸图：

L030.indus

L100.indus

L060.indus

L180.indus

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

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压电·indus·线性运动— L030.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

36 mm × 300 mm

17

L030.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L030.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm

2 需要安装空间 93 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 110 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 1kg

7 运动⾏程 30 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 30 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

2D·尺⼨图

• L030x.Indus • L030x.Indus.UHV

• L030x.Indus.HV

• L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM

• L030x.Indus.UHV.NM

可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

L030.indus

63.0

45.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

63.0

45.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

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压电·indus·线性运动— L030.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

36 mm × 300 mm

17

L030.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L030.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm

2 需要安装空间 93 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 110 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 1kg

7 运动⾏程 30 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 30 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

2D·尺⼨图

• L030x.Indus • L030x.Indus.UHV

• L030x.Indus.HV

• L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM

• L030x.Indus.UHV.NM

可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

L030.indus

63.0

45.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

63.0

45.0

24.0

4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3

14.0

19.0

54.0

4.7 0.2

4 x M3 - 6H 5.0

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压电·indus·线性运动— L060.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

18

L060.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L060.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 105 mm x 24 mm x 14 mm

2 需要安装空间 165 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 174 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 1 kg

7 运动⾏程 60 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 60 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

可选型号

L060.indus

• L060x.Indus • L060x.Indus.UHV

• L060x.Indus.HV

• L060x.Indus.NM • L060x.Indus.HV.NM

• L060x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

108.0

90.0

75.0

24.0

3.0 贯穿

7 x M3 - 6H 6.0

16.5

90.0 100.0 90.0

8 x M2 - 6H 10.0

4 x 4.3 4.6 108.0

90.0

75.0

24.0

3.0 贯穿

7 x M3 - 6H 6.0

16.5

90.0 100.0 90.0

8 x M2 - 6H 10.0

4 x 4.3 4.6

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压电·indus·线性运动— L060.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

18

L060.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L060.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 105 mm x 24 mm x 14 mm

2 需要安装空间 165 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 174 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 1 kg

7 运动⾏程 60 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 60 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

可选型号

L060.indus

• L060x.Indus • L060x.Indus.UHV

• L060x.Indus.HV

• L060x.Indus.NM • L060x.Indus.HV.NM

• L060x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

108.0

90.0

75.0

24.0

3.0 贯穿

7 x M3 - 6H 6.0

16.5

90.0 100.0 90.0

8 x M2 - 6H 10.0

4 x 4.3 4.6 108.0

90.0

75.0

24.0

3.0 贯穿

7 x M3 - 6H 6.0

16.5

90.0 100.0 90.0

8 x M2 - 6H 10.0

4 x 4.3 4.6

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压电·indus·线性运动— L100.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

19

L100.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L100.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 180mm * 24 mm * 14 mm

2 需要安装空间 280 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 388 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 2 kg

7 运动⾏程 100 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 100 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

L100.indus

可选型号

• L100x.Indus • L100x.Indus.UHV

• L100x.Indus.HV

• L100x.Indus.NM • L100x.Indus.HV.NM

• L100x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

182.7

165.0

150.0

12 x 3.0 H7 3.0

11 x 2.6 2.0

24.0 17.0

182.7

165.0

150.0

12 x 3.0 H7 3.0

11 x 2.6 2.0

24.0 17.0

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压电·indus·线性运动— L100.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

19

L100.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L100.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 180mm * 24 mm * 14 mm

2 需要安装空间 280 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 388 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 2 kg

7 运动⾏程 100 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 100 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

L100.indus

可选型号

• L100x.Indus • L100x.Indus.UHV

• L100x.Indus.HV

• L100x.Indus.NM • L100x.Indus.HV.NM

• L100x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

182.7

165.0

150.0

12 x 3.0 H7 3.0

11 x 2.6 2.0

24.0 17.0

182.7

165.0

150.0

12 x 3.0 H7 3.0

11 x 2.6 2.0

24.0 17.0

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压电·indus·线性运动— L180.indus

室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

20

L180.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L180.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 300 mm * 36 mm * 18 mm

2 需要安装空间 480 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 840 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 3 kg

7 运动⾏程 180 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 180 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

L180.indus

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

可选型号

• L180x.Indus • L180x.Indus.UHV

• L180x.Indus.HV

• L180x.Indus.NM • L180x.Indus.HV.NM

• L180x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·indus·线性运动— L180.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

20

L180.indus 压电线性台 - 技术参数

可选版本 ⇨ L180.indus

特殊版本可选 ⇨

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

.NM 完全⽆磁版本；

1 底⾯宽度尺⼨ 300 mm * 36 mm * 18 mm

2 需要安装空间 480 mm

3 主体材料 不锈钢/铝合⾦

4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15

5 质量 840 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

6 负载 3 kg

7 运动⾏程 180 mm

8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*

9 最⼩步伐 ～ 10 nm

10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

11 推荐最⼤负载 2 kg

12 最⼤⽔平推⼒ 3 N

13 保持⼒ 5 N

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

传感精度

15 位置传感类型 光栅尺传感

16 位置传感量程 180 mm

17 位置传感分辨率 2 nm

*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到

L180.indus

产品特⾊

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

可选型号

• L180x.Indus • L180x.Indus.UHV

• L180x.Indus.HV

• L180x.Indus.NM • L180x.Indus.HV.NM

• L180x.Indus.UHV.NM

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空

.NM ~ 完全⽆磁

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B6室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

选型表

LSxxz.Lab系列室温压电升降台

命名规则

台面尺寸：

35：35mm*35mm

65：65mm*65mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

传感器类型：

NA：2nm光栅尺

Adv：0.5nm光栅尺

LS35z.Lab.adv.HV

特点：

•超安静运动，20kHz驱动频率

•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅

•高精度空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选

•最小步伐约10nm，最小空间分辨率0.1nm

•可提供多轴堆叠安装转接件

•控制器兼容旋转台，摆动台

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空

(.UHV)选件

型号 LS35z.Lab LS65z.Lab

底面尺寸×高度（mm） 35×35×41 65×65×44

主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)

自重（g） 200 300

运动行程（mm） 10

最大速度（mm/s） ~10

最小步伐（nm） 10

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（g） 500

全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）

位置传感类型 光栅尺传感

位置传感量程（mm） 10

位置传感分辨率 默认版本：2nm；

.adv版本：0.5nm

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B7室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

尺寸图：

LS35z LS65z.Lab

30.0

35.0

20.0

15.0

35.0 30.0 20.0 15.0

12 x M2 - 6H 3.0

8 x 2.0 H7 2.0

4 x M3 - 6H 3.0

3.0

41.0

35.0

4 x 2.4 4.0

30.0

15.0

30.0

2 x 2.0 H7 4.0

LS35z.Lab.O / .HV /.UHV

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·线性位移台— LS35z.Lab (闭环)

室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台

Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。

Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

LS35z.Lab .O / .R 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV .UHV

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 35 × 35 mm × 33 mm 35 × 35 mm × 43 mm

2 使⽤温度 默认最⾼温度40 ℃，超⾼真空选项⽀持120 ℃

3 主体材料 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢

4 质量 102 g (.R)

200 g (.O)

102 g (.R)

200 g (.O)

102 g (.R)

200 g (.O)

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

5 运动⾏程 10 mm

6 最⼤速度 ~ 10 mm/s

7 最⼩步伐 ～ 10 nm

8 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

9 最⼤推⼒/负载 500 g

10 全⾏程俯仰 0.3 mrad（0.017°）

11 全⾏程偏摆 0.2 mrad（0.012°）

传感精度

12 位置传感类型 - 电阻型传感（ .R ）

- 光栅尺传感（.O ）

13 位置传感量程 10 mm

14 位置传感分辨率 - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 35 × 35 mm × 33 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

产品特⾊

LS35z.Lab.R.HV/.UHV/.NM LS35z.Lab.O / .HV /.UHV

2D·尺⼨图

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压电·线性位移台— LS35z.Lab (闭环)

室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台

Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。

Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

LS35z.Lab .O / .R 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV .UHV

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 35 × 35 mm × 33 mm 35 × 35 mm × 43 mm

2 使⽤温度 默认最⾼温度40 ℃，超⾼真空选项⽀持120 ℃

3 主体材料 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢

4 质量 102 g (.R)

200 g (.O)

102 g (.R)

200 g (.O)

102 g (.R)

200 g (.O)

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

5 运动⾏程 10 mm

6 最⼤速度 ~ 10 mm/s

7 最⼩步伐 ～ 10 nm

8 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

9 最⼤推⼒/负载 500 g

10 全⾏程俯仰 0.3 mrad（0.017°）

11 全⾏程偏摆 0.2 mrad（0.012°）

传感精度

12 位置传感类型 - 电阻型传感（ .R ）

- 光栅尺传感（.O ）

13 位置传感量程 10 mm

14 位置传感分辨率 - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm

- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

• 超安静运动，20 kHz驱动频率

• 35 × 35 mm × 33 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认);

4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

产品特⾊

LS35z.Lab.R.HV/.UHV/.NM LS35z.Lab.O / .HV /.UHV

2D·尺⼨图

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B8室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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RSxx.Lab系列室温压电旋转台

命名规则

台面尺寸：

35：35mm*35mm

65：65mm*65mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

备注：.E版本不支持

以上环境版本

光栅尺类型:

E：50nm光栅尺

NA：2nm光栅尺

RS35.Lab.E.HV

特点：

•超安静运动，20kHz驱动频率

•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅

•高精度空间传感分辨率最低0.07µrad(默认)

•经济型空间传感分辨率最低2µrad(.E)

•最小步伐优于 3µrad

•可提供多轴堆叠安装转接件

•控制器兼容直线台，摆动台

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

选型表

型号 RS35.Lab RS65.Lab

底面尺寸×高度（mm） 35×35×11 65×65×13

主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)，

纯钛(.HV/.UHV)

自重 90g 200g

运动行程（°） 连续运动

最大速度（°/s） ~15 ~10

最小步伐 3 µrad，10µrad(.E)

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（kg） 0.5 2

自锁力矩（N*mm） 10 15

驱动力矩（N*mm） 7 10

旋转盘（mm） Dia-33.5 Dia-62

位置传感类型 光学位置传感器

位置传感量程 360 °

位置传感分辨率 0.2µrad，3µrad(.E) 0.07µrad，2µrad(.E)

尺寸图：

RS35.Lab RS65.Lab

35.0

35.0 33.5 30.0 21.6 13.6

8 x M2

4 x 1.3 5.0

11.0

11.0

33.5

35.0

35.0 33.5 30.0 21.6 13.6

8 x M2

4 x 1.3 5.0

11.0

11.0

33.5

65.0

65.0

63.0

25.4

50.0

8 x M3 - 6H 完全贯穿

4 x 3.4 完全贯穿

8.0 8.0

4 x M2 - 6H 6.0

13.0

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B9室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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型号 RS35.Lab RS65.Lab

底面尺寸×高度（mm） 35×35×11 65×65×13

主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)，

纯钛(.HV/.UHV)

自重 90g 200g

运动行程（°） 连续运动

最大速度（°/s） ~15 ~10

最小步伐 3 µrad，10µrad(.E)

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（kg） 0.5 2

自锁力矩（N*mm） 10 15

驱动力矩（N*mm） 7 10

旋转盘（mm） Dia-33.5 Dia-62

位置传感类型 光学位置传感器

位置传感量程 360 °

位置传感分辨率 0.2µrad，3µrad(.E) 0.07µrad，2µrad(.E) 选型表

GSxx-xx.Lab系列室温压电摆动台

命名规则

特点：

•超安静运动，20kHz驱动频率

•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅

•高精度空间传感分辨率最低0.02µrad(默认)

•最小步伐最低优于1µrad

•可提供多轴堆叠安装转接件

•控制器兼容直线台，旋转台

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

台面尺寸：

35：35mm*35mm

65：65mm*65mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

旋转中心高度：

35：35mm 55：55mm

77：77mm 97：97mm

GS35-35.Lab.NM

型号 GS35-35.Lab GS35-55.Lab GS65-77.Lab GS65-97.Lab

底面尺寸×高度（mm） 35×35×20 70×70×20

主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)

自重 250g 650g

运动行程（°） +/-10°

摇摆半径（mm） 35 55 77 97

最大速度（°/s） ~3

最小步伐 2 µrad 1 µrad

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（g） 1000 2000

自锁力矩（N*mm） 25 50

驱动力矩（N*mm） 10 20

位置传感类型 光学位置传感器

位置传感量程 20 °

位置传感分辨率 0.05µrad 0.03µrad 0.02µrad

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B10室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

尺寸图：

GS35-35.Lab

GS65-77.Lab

GS35-55.Lab

GS65-97.Lab

35.0 30.0

35.0

30.0

20.0

4 x 2.0 H7 3.0

8 x M2 - 6H 完全贯穿

1.6 完全贯穿

19.6

35.0 30.0

35.0

30.0

20.0

4 x 2.0 H7 3.0

8 x M2 - 6H 完全贯穿

1.6 完全贯穿

19.6

70.0

70.0

20.0

20.0

4 x M2 4.0

55.0

45.0

25.0

8 x M3 完全贯穿

4 x 3.0 H7

55.0

20.0 45.0

4 x 3.0 H7

50.0

35.0

35.0

30.0

20.0

30.0

8 x M2 - 6H 完全贯穿

1.6 完全贯穿

4 x 2.0 2.0

19.6

35.0

35.0

30.0

20.0

30.0

8 x M2 - 6H 完全贯穿

1.6 完全贯穿

4 x 2.0 2.0

19.6

70.0

70.0

8 x M3

55.0

45.0

25.0

55.0 50.020.0 4 x M2

4 x 3.0 H7

70.0

20.0

4 x 3.0 H7

25.0

A A

B B

C C

D D

E E

F F

G G

H H

J J

K K

L L

M M

N N

P P

R R

T T

24

24

23

23

22

22

21

21

20

20

19

19

18

18

17

17

16

16

15

15

14

14

13

13

12

12

11

11

10

10

9

9

8

8

7

7

6

6

5

5

4

4

3

3

2

2

1

1

检查绘制批准验检制造

除非另外指定: 尺寸使用毫米 表面粗糙度: 公差: 线性: 角度: 表面粗糙度: 将锐边清除 毛刺并折断

名称签名日期

材料:

不调整工程图比例 修订

标题:

工程图号

比例:2:1图纸 1 (共1) 错误!:Material A0

错误!:Finish

重量: 错误!:Weight650.32

错误!:DrawnBy

错误!:QAApproval 错误!:EngineeringApproval 错误!:CheckedBy 错误!:ManufacturingApproval 错误!:MfgAppDate 错误!:QAAppDate 错误!:EngAppDate 错误!:CheckedDate 错误!:DrawnDate 错误!:COMPANYNAME

GS65-97.Lab.O

错误!:Revision

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B11室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Carrier.Lxxxx.XY、Carrier.R200系列 室温压电中空载物台

命名规则

特点：

•最小步伐最低约 5nm

•最高速度20 mm/s

•闭环传感，空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选

•支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件

•主体铝合金(硬质氧化发黑)

XY行程：

7550：75mm*50mm

1010：100mm*100mm

环境版本:

HV: 高真空版本

UHV: 超高真空版本

Carrier.L 1010.XY.adv.HV

载物台类型：

L：对位载物台

R：旋转载物台

光栅尺类型:

NA：2nm光栅尺

adv：0.5nm光栅尺

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.L7550.XY

• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm

3 必要安装空间 325 mm × 250 mm

4 有效穿孔 85 mm × 65 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量 2333 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 75 mm × 50 mm

10 最⼤速度 ~ 15 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 2 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 75 mm × 50 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.L1010.XY

• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm

• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm

• 最⾼速度 10 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L1010.XY ，压电载物台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 250 mm x 40 mm

3 必要安装空间 350 mm × 350 mm x 40 mm

4 有效通孔 120 mm × 120 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 100 mm × 100 mm

10 最⼤速度 ~ 10 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 4 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 100 mm × 100 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.R200，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 200 mm × 200 mm × 24mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 300°

5 台⾯尺⼨/中通孔 φ 190 / φ 60 mm

运动&位置传感

6 运动⽅式 连续运动

7 光栅尺分辨率 1 urad

8 驱动频率 Max. 20 kHz

9 ⾃锁⼒矩 20 N*mm

10 驱动⼒矩 15 N*mm

11 运动可重复精度 300 µ° / 6 urad

12 最⼤负载 1 kg

13 驱动电压 Max. 120V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 2 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550

Carrier.R200

产品特⾊

• 旋转运动 300 °；

• 闭环分辨率优于 1 urad；

• 最⼤负载 1kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。

型号 Carrier.L7550.XY Carrier.L1010.XY Carrier.R200

外形尺寸（mm） 250×200×30 250×250×40 200×200×24

主体材料 铝合金 不锈钢 铝合金

自重（g） 2333 4000 2000

运动行程（mm） 75×50 100×100 360°

最小安装尺寸（mm） 325×250×30 350×250×40 200×200×24

通孔尺寸（mm） 85×65 120×120 Φ60

最大速度（mm/s） 15 10 /

最小步伐（nm） 10 10 /

驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

最大负载（kg） 2 4 1

全行程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°） /

位置传感类型 光栅尺传感

位置传感量程（mm） 75×50 100×100 360°

位置传感分辨率 2nm 1µrad

推荐使用温度 10-40℃ 15-40℃

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B12室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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Carrier.L7550.XY

尺寸图：

Carrier.L1010.XY

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.L7550.XY

• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm

3 必要安装空间 325 mm × 250 mm

4 有效穿孔 85 mm × 65 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量 2333 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 75 mm × 50 mm

10 最⼤速度 ~ 15 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 2 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 75 mm × 50 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.L7550.XY

• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm

3 必要安装空间 325 mm × 250 mm

4 有效穿孔 85 mm × 65 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量 2333 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 75 mm × 50 mm

10 最⼤速度 ~ 15 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 2 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 75 mm × 50 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.L7550.XY

• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨约20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm

3 必要安装空间 325 mm × 250 mm

4 有效穿孔 85 mm × 65 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量 2333 g

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 75 mm × 50 mm

10 最⼤速度 ~ 15 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 2 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 75 mm × 50 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.L1010.XY

• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm

• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm

• 最⾼速度 10 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L1010.XY ，压电载物台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 250 mm x 40 mm

3 必要安装空间 350 mm × 350 mm x 40 mm

4 有效通孔 120 mm × 120 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 100 mm × 100 mm

10 最⼤速度 ~ 10 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 4 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 100 mm × 100 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.L1010.XY

• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm

• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm

• 最⾼速度 10 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L1010.XY ，压电载物台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 250 mm x 40 mm

3 必要安装空间 350 mm × 350 mm x 40 mm

4 有效通孔 120 mm × 120 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 100 mm × 100 mm

10 最⼤速度 ~ 10 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 4 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 100 mm × 100 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.L1010.XY

• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm

• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm

• 最⾼速度 10 mm/s

• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm

• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.L1010.XY ，压电载物台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X，Y

2 外形尺⼨ 250 mm × 250 mm x 40 mm

3 必要安装空间 350 mm × 350 mm x 40 mm

4 有效通孔 120 mm × 120 mm

5 主体材料 铝合⾦

6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

D-Sub15

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

7 ⼯作温度 10 – 40 °C

8 质量

运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）

9 运动⾏程 100 mm × 100 mm

10 最⼤速度 ~ 10 mm/s

11 最⼩步伐 ～ 20 nm

12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）

13 最⼤负载 4 kg

14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）

传感精度

15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）

16 位置传感量程 100 mm × 100 mm

17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

Carrier.R200

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压电·⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.R200，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 200 mm × 200 mm × 24mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 300°

5 台⾯尺⼨/中通孔 φ 190 / φ 60 mm

运动&位置传感

6 运动⽅式 连续运动

7 光栅尺分辨率 1 urad

8 驱动频率 Max. 20 kHz

9 ⾃锁⼒矩 20 N*mm

10 驱动⼒矩 15 N*mm

11 运动可重复精度 300 µ° / 6 urad

12 最⼤负载 1 kg

13 驱动电压 Max. 120V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 2 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550

Carrier.R200

产品特⾊

• 旋转运动 300 °；

• 闭环分辨率优于 1 urad；

• 最⼤负载 1kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。

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压电·⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.R200，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 200 mm × 200 mm × 24mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 300°

5 台⾯尺⼨/中通孔 φ 190 / φ 60 mm

运动&位置传感

6 运动⽅式 连续运动

7 光栅尺分辨率 1 urad

8 驱动频率 Max. 20 kHz

9 ⾃锁⼒矩 20 N*mm

10 驱动⼒矩 15 N*mm

11 运动可重复精度 300 µ° / 6 urad

12 最⼤负载 1 kg

13 驱动电压 Max. 120V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 2 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550

Carrier.R200

产品特⾊

• 旋转运动 300 °；

• 闭环分辨率优于 1 urad；

• 最⼤负载 1kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。

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压电·⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

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Carrier.R200，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 200 mm × 200 mm × 24mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 300°

5 台⾯尺⼨/中通孔 φ 190 / φ 60 mm

运动&位置传感

6 运动⽅式 连续运动

7 光栅尺分辨率 1 urad

8 驱动频率 Max. 20 kHz

9 ⾃锁⼒矩 20 N*mm

10 驱动⼒矩 15 N*mm

11 运动可重复精度 300 µ° / 6 urad

12 最⼤负载 1 kg

13 驱动电压 Max. 120V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 2 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550

Carrier.R200

产品特⾊

• 旋转运动 300 °；

• 闭环分辨率优于 1 urad；

• 最⼤负载 1kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。

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B13室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Free6D.3-2.150系列 压电六轴并联系统

Free6D.3-2.150.G2

尺寸图：

型号 Free6D.3-2.150.G2

外形尺寸（mm） Ø150×90

主体材料 不锈钢/铝合金

运动参数

行程 X, Y, Z ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

行程 θX, θY , θZ ± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

单向重复定位精度 X, Y, Z ± 0.3 µm, ± 0.3 µm, ± 0.1 µm

单向重复定位精度 θX，θY，θZ ± 5 µrad, ± 5 µrad, ± 5 µrad

最小位移 X, Y, Z 0.1 µm, 0.1 µm, 0.1 µm

最小位移 θX，θY，θZ 5 µrad, 5 µrad, 5 µrad

位置传感参数

集成传感器 光学编码器

位置传感分辨率 2nm

控制器信息

工作电压 220 V

控制器通道 6通道输出控制

通讯接口 USB，232，网口通讯

控制软件 提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT

Carrier.S200.XY

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

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Piezoelectric Motion - RT

Contents

About MultiFields Tech. Page

“LS**.Lab 系列” — 线性位移台·压电·室温 Page

“Carrier**.XY Series” — ⼤⾏程载物台·压电·室温 Page

“AutoScrew” — 压电台 Page

“Scanner Series” — 压电扫描台 Page

压电位移台控制器 & 压电扫描台控制器 Page

MultiFields

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT

Carrier.S200.XY

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

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压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

室温压电运动·Lab系列-全家福

Linear Motion Unit Rotary Motion Unit

X 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 Tz，旋转台

35 mm 35 mm

LS35x.Lab系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS35z.Lab系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-35.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-55.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS35.Lab系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

65 mm 65 mm

LS65x.Lab 系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS65z.Lab 系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-77.Lab系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-97.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS65.Lab 系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；

压

电

运

动·室

温

4

LS35x.Lab 系列

• LS35x.Lab.E

• LS35x.Lab

• LS35x.Lab.HV

• LS35x.Lab.UHV

• LS35x.Lab.NM

• LS35x.Lab.HV.NM

• LS35x.Lab.UHV.NM

• LS35x.Lab.adv

• LS35x.Lab.adv.HV

• LS35x.Lab.adv.UHV

• LS35x.Lab.adv.NM

• LS35x.Lab.adv.HV.NM

• LS35x.Lab.adv.UHV.NM

LS35z.Lab 系列

• LS35z.Lab

• LS35z.Lab.HV

• LS35z.Lab.UHV

• LS35z.Lab.NM

• LS35z.Lab.HV.NM

• LS35z.Lab.UHV.NM

• LS35z.Lab.adv

• LS35z.Lab.adv.HV

• LS35z.Lab.adv.UHV

• LS35z.Lab.adv.NM

• LS35z.Lab.adv.HV.NM

• LS35z.Lab.adv.UHV.NM

LS65x.Lab 系列

• LS65x.Lab.E

• LS65x.Lab

• LS65x.Lab.HV

• LS65x.Lab.UHV

• LS65x.Lab.NM

• LS65x.Lab.HV.NM

• LS65x.Lab.UHV.NM

• LS65x.Lab.adv

• LS65x.Lab.adv.HV

• LS65x.Lab.adv.UHV

• LS65x.Lab.adv.NM

• LS65x.Lab.adv.HV.NM

• LS65x.Lab.adv.UHV.NM

LS65z.Lab 系列

• LS65z.Lab

• LS65z.Lab.HV

• LS65z.Lab.UHV

• LS65z.Lab.NM

• LS65z.Lab.HV.NM

• LS65z.Lab.UHV.NM

• LS65z.Lab.adv

• LS65z.Lab.adv.HV

• LS65z.Lab.adv.UHV

• LS65z.Lab.adv.NM

• LS65z.Lab.adv.HV.NM

• LS65z.Lab.adv.UHV.NM

RS35.Lab 系列

• RS35.Lab.E

• RS35.Lab

• RS35.Lab.HV

• RS35.Lab.UHV

• RS35.Lab.NM

• RS35.Lab.HV.NM

• RS35.Lab.UHV.NM

RS65.Lab 系列

• RS65.Lab.E

• RS65.Lab

• RS65.Lab.HV

• RS65.Lab.UHV

• RS65.Lab.NM

• RS65.Lab.HV.NM

• RS65.Lab.UHV.NM

GS35-35.Lab 系列

• GS35-35.Lab

• GS35-35.Lab.HV

• GS35-35.Lab.UHV

• GS35-35.Lab.NM

• GS35-35.Lab.HV.NM

• GS35-35.Lab.UHV.NM

GS35-55.Lab 系列

• GS35-55.Lab

• GS35-55.Lab.HV

• GS35-55.Lab.UHV

• GS35-55.Lab.NM

• GS35-55.Lab.HV.NM

• GS35-55.Lab.UHV.NM

GS65-77.Lab 系列

• GS65-77.Lab

• GS65-77.Lab.HV

• GS65-77.Lab.UHV

• GS65-77.Lab.NM

• GS65-77.Lab.HV.NM

• GS65-77.Lab.UHV.NM

GS65-97.Lab 系列

• GS65-97.Lab

• GS65-97.Lab.HV

• GS65-97.Lab.UHV

• GS65-97.Lab.NM

• GS65-97.Lab.HV.NM

• GS65-97.Lab.UHV.NM

默认 ~ 2nm 空间分辨率

.E ~ 50 nm 空间分辨率

.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本

.NM ~ 完全⽆磁版本

可选型号 ⇨

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压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

室温压电运动·Lab系列-全家福

Linear Motion Unit Rotary Motion Unit

X 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 Tz，旋转台

35 mm 35 mm

LS35x.Lab系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS35z.Lab系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-35.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-55.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS35.Lab系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

65 mm 65 mm

LS65x.Lab 系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS65z.Lab 系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-77.Lab系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-97.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS65.Lab 系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；

压

电

运

动·室

温

4

LS35x.Lab 系列

• LS35x.Lab.E

• LS35x.Lab

• LS35x.Lab.HV

• LS35x.Lab.UHV

• LS35x.Lab.NM

• LS35x.Lab.HV.NM

• LS35x.Lab.UHV.NM

• LS35x.Lab.adv

• LS35x.Lab.adv.HV

• LS35x.Lab.adv.UHV

• LS35x.Lab.adv.NM

• LS35x.Lab.adv.HV.NM

• LS35x.Lab.adv.UHV.NM

LS35z.Lab 系列

• LS35z.Lab

• LS35z.Lab.HV

• LS35z.Lab.UHV

• LS35z.Lab.NM

• LS35z.Lab.HV.NM

• LS35z.Lab.UHV.NM

• LS35z.Lab.adv

• LS35z.Lab.adv.HV

• LS35z.Lab.adv.UHV

• LS35z.Lab.adv.NM

• LS35z.Lab.adv.HV.NM

• LS35z.Lab.adv.UHV.NM

LS65x.Lab 系列

• LS65x.Lab.E

• LS65x.Lab

• LS65x.Lab.HV

• LS65x.Lab.UHV

• LS65x.Lab.NM

• LS65x.Lab.HV.NM

• LS65x.Lab.UHV.NM

• LS65x.Lab.adv

• LS65x.Lab.adv.HV

• LS65x.Lab.adv.UHV

• LS65x.Lab.adv.NM

• LS65x.Lab.adv.HV.NM

• LS65x.Lab.adv.UHV.NM

LS65z.Lab 系列

• LS65z.Lab

• LS65z.Lab.HV

• LS65z.Lab.UHV

• LS65z.Lab.NM

• LS65z.Lab.HV.NM

• LS65z.Lab.UHV.NM

• LS65z.Lab.adv

• LS65z.Lab.adv.HV

• LS65z.Lab.adv.UHV

• LS65z.Lab.adv.NM

• LS65z.Lab.adv.HV.NM

• LS65z.Lab.adv.UHV.NM

RS35.Lab 系列

• RS35.Lab.E

• RS35.Lab

• RS35.Lab.HV

• RS35.Lab.UHV

• RS35.Lab.NM

• RS35.Lab.HV.NM

• RS35.Lab.UHV.NM

RS65.Lab 系列

• RS65.Lab.E

• RS65.Lab

• RS65.Lab.HV

• RS65.Lab.UHV

• RS65.Lab.NM

• RS65.Lab.HV.NM

• RS65.Lab.UHV.NM

GS35-35.Lab 系列

• GS35-35.Lab

• GS35-35.Lab.HV

• GS35-35.Lab.UHV

• GS35-35.Lab.NM

• GS35-35.Lab.HV.NM

• GS35-35.Lab.UHV.NM

GS35-55.Lab 系列

• GS35-55.Lab

• GS35-55.Lab.HV

• GS35-55.Lab.UHV

• GS35-55.Lab.NM

• GS35-55.Lab.HV.NM

• GS35-55.Lab.UHV.NM

GS65-77.Lab 系列

• GS65-77.Lab

• GS65-77.Lab.HV

• GS65-77.Lab.UHV

• GS65-77.Lab.NM

• GS65-77.Lab.HV.NM

• GS65-77.Lab.UHV.NM

GS65-97.Lab 系列

• GS65-97.Lab

• GS65-97.Lab.HV

• GS65-97.Lab.UHV

• GS65-97.Lab.NM

• GS65-97.Lab.HV.NM

• GS65-97.Lab.UHV.NM

默认 ~ 2nm 空间分辨率

.E ~ 50 nm 空间分辨率

.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本

.NM ~ 完全⽆磁版本

可选型号 ⇨

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压电·六轴并联位移台— Free6D.3-2.150.G2

压

电

运

动·室

温

6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动；

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

Free6D.3-2.150.G2, 压电六轴并联位移台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV .UHV

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 Ø150 × 90 mm

2 主体材料 不锈钢/铝合⾦

3 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆 D-Sub15 kapton漆包线，PEEK-2mm插针

4 最⼤垂直负载 1 kg

运动参数

5 ⾏程 X, Y, Z ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

6 ⾏程 ΘX, ΘY , ΘZ ± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

7 单向重复定位精度 X, Y, Z ± 0.3 μm, ± 0.3 μm, ± 0.1 μm

8 单向重复定位精度

ΘX，ΘY，ΘZ ± 5 μrad, ± 5 μrad, ± 5 μrad

9 最⼩位移 X, Y, Z 0.1 μm, 0.1 μm, 0.1 μm

10 最⼩位移 ΘX，ΘY，ΘZ 5 μrad, 5 μrad, 5 μrad

位置传感参数

11 集成传感器 光学编码器

12 位置传感分辨率 2nm

控制器信息

13 功能* 根据⽤户输⼊的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节

14 控制⽅式 各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专⽤软件，实现对六轴并

联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节。

15 控制器尺⼨ 482 mm x 355 mm x 89 mm

16 重量 6.5 kg

17 ⼯作电压 220 V

18 最⼤输出电压 50 V

19 最⼤输出频率 20 kHz

20 最⼤输出功率 100 W

21 ⼯作环境 0～50 °C，<70 % RH

22 控制器通道 6通道输出控制

23 位移台通道接⼝ DB15 female，6组

24 通讯接⼝ USB 串⼝

25 控制软件 提供PC端使⽤软件，⽀持labview，串⼝命令集控制

*此控制器仅适⽤于Free6D.3-2系列六轴并联位移台系统

位移台尺⼨图

55

控制器尺⼨图

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT

Carrier.S200.XY

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

TEL:010 56370168 TEL:010 56370168

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Piezoelectric Motion - RT

Contents

About MultiFields Tech. Page

“LS**.Lab 系列” — 线性位移台·压电·室温 Page

“Carrier**.XY Series” — ⼤⾏程载物台·压电·室温 Page

“AutoScrew” — 压电台 Page

“Scanner Series” — 压电扫描台 Page

压电位移台控制器 & 压电扫描台控制器 Page

MultiFields

&Group

www.zolix.com.cn | www.multi-field.com www.zolix.com.cn | www.multi-field.com

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT

Carrier.S200.XY

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

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压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

室温压电运动·Lab系列-全家福

Linear Motion Unit Rotary Motion Unit

X 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 Tz，旋转台

35 mm 35 mm

LS35x.Lab系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS35z.Lab系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-35.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-55.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS35.Lab系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

65 mm 65 mm

LS65x.Lab 系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS65z.Lab 系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-77.Lab系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-97.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS65.Lab 系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；

压

电

运

动·室

温

4

LS35x.Lab 系列

• LS35x.Lab.E

• LS35x.Lab

• LS35x.Lab.HV

• LS35x.Lab.UHV

• LS35x.Lab.NM

• LS35x.Lab.HV.NM

• LS35x.Lab.UHV.NM

• LS35x.Lab.adv

• LS35x.Lab.adv.HV

• LS35x.Lab.adv.UHV

• LS35x.Lab.adv.NM

• LS35x.Lab.adv.HV.NM

• LS35x.Lab.adv.UHV.NM

LS35z.Lab 系列

• LS35z.Lab

• LS35z.Lab.HV

• LS35z.Lab.UHV

• LS35z.Lab.NM

• LS35z.Lab.HV.NM

• LS35z.Lab.UHV.NM

• LS35z.Lab.adv

• LS35z.Lab.adv.HV

• LS35z.Lab.adv.UHV

• LS35z.Lab.adv.NM

• LS35z.Lab.adv.HV.NM

• LS35z.Lab.adv.UHV.NM

LS65x.Lab 系列

• LS65x.Lab.E

• LS65x.Lab

• LS65x.Lab.HV

• LS65x.Lab.UHV

• LS65x.Lab.NM

• LS65x.Lab.HV.NM

• LS65x.Lab.UHV.NM

• LS65x.Lab.adv

• LS65x.Lab.adv.HV

• LS65x.Lab.adv.UHV

• LS65x.Lab.adv.NM

• LS65x.Lab.adv.HV.NM

• LS65x.Lab.adv.UHV.NM

LS65z.Lab 系列

• LS65z.Lab

• LS65z.Lab.HV

• LS65z.Lab.UHV

• LS65z.Lab.NM

• LS65z.Lab.HV.NM

• LS65z.Lab.UHV.NM

• LS65z.Lab.adv

• LS65z.Lab.adv.HV

• LS65z.Lab.adv.UHV

• LS65z.Lab.adv.NM

• LS65z.Lab.adv.HV.NM

• LS65z.Lab.adv.UHV.NM

RS35.Lab 系列

• RS35.Lab.E

• RS35.Lab

• RS35.Lab.HV

• RS35.Lab.UHV

• RS35.Lab.NM

• RS35.Lab.HV.NM

• RS35.Lab.UHV.NM

RS65.Lab 系列

• RS65.Lab.E

• RS65.Lab

• RS65.Lab.HV

• RS65.Lab.UHV

• RS65.Lab.NM

• RS65.Lab.HV.NM

• RS65.Lab.UHV.NM

GS35-35.Lab 系列

• GS35-35.Lab

• GS35-35.Lab.HV

• GS35-35.Lab.UHV

• GS35-35.Lab.NM

• GS35-35.Lab.HV.NM

• GS35-35.Lab.UHV.NM

GS35-55.Lab 系列

• GS35-55.Lab

• GS35-55.Lab.HV

• GS35-55.Lab.UHV

• GS35-55.Lab.NM

• GS35-55.Lab.HV.NM

• GS35-55.Lab.UHV.NM

GS65-77.Lab 系列

• GS65-77.Lab

• GS65-77.Lab.HV

• GS65-77.Lab.UHV

• GS65-77.Lab.NM

• GS65-77.Lab.HV.NM

• GS65-77.Lab.UHV.NM

GS65-97.Lab 系列

• GS65-97.Lab

• GS65-97.Lab.HV

• GS65-97.Lab.UHV

• GS65-97.Lab.NM

• GS65-97.Lab.HV.NM

• GS65-97.Lab.UHV.NM

默认 ~ 2nm 空间分辨率

.E ~ 50 nm 空间分辨率

.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本

.NM ~ 完全⽆磁版本

可选型号 ⇨

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压

电

运

动·室

温

压

电

运

动·室

温

MultiFields

&Group

室温压电运动·Lab系列-全家福

Linear Motion Unit Rotary Motion Unit

X 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 Tz，旋转台

35 mm 35 mm

LS35x.Lab系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS35z.Lab系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-35.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS35-55.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS35.Lab系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

65 mm 65 mm

LS65x.Lab 系列

可选 .E / .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

LS65z.Lab 系列

可选 .adv

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-77.Lab系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

GS65-97.Lab 系列

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

RS65.Lab 系列

可选 .E

可选 .HV/. UHV

可选 .NM

.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；

压

电

运

动·室

温

4

LS35x.Lab 系列

• LS35x.Lab.E

• LS35x.Lab

• LS35x.Lab.HV

• LS35x.Lab.UHV

• LS35x.Lab.NM

• LS35x.Lab.HV.NM

• LS35x.Lab.UHV.NM

• LS35x.Lab.adv

• LS35x.Lab.adv.HV

• LS35x.Lab.adv.UHV

• LS35x.Lab.adv.NM

• LS35x.Lab.adv.HV.NM

• LS35x.Lab.adv.UHV.NM

LS35z.Lab 系列

• LS35z.Lab

• LS35z.Lab.HV

• LS35z.Lab.UHV

• LS35z.Lab.NM

• LS35z.Lab.HV.NM

• LS35z.Lab.UHV.NM

• LS35z.Lab.adv

• LS35z.Lab.adv.HV

• LS35z.Lab.adv.UHV

• LS35z.Lab.adv.NM

• LS35z.Lab.adv.HV.NM

• LS35z.Lab.adv.UHV.NM

LS65x.Lab 系列

• LS65x.Lab.E

• LS65x.Lab

• LS65x.Lab.HV

• LS65x.Lab.UHV

• LS65x.Lab.NM

• LS65x.Lab.HV.NM

• LS65x.Lab.UHV.NM

• LS65x.Lab.adv

• LS65x.Lab.adv.HV

• LS65x.Lab.adv.UHV

• LS65x.Lab.adv.NM

• LS65x.Lab.adv.HV.NM

• LS65x.Lab.adv.UHV.NM

LS65z.Lab 系列

• LS65z.Lab

• LS65z.Lab.HV

• LS65z.Lab.UHV

• LS65z.Lab.NM

• LS65z.Lab.HV.NM

• LS65z.Lab.UHV.NM

• LS65z.Lab.adv

• LS65z.Lab.adv.HV

• LS65z.Lab.adv.UHV

• LS65z.Lab.adv.NM

• LS65z.Lab.adv.HV.NM

• LS65z.Lab.adv.UHV.NM

RS35.Lab 系列

• RS35.Lab.E

• RS35.Lab

• RS35.Lab.HV

• RS35.Lab.UHV

• RS35.Lab.NM

• RS35.Lab.HV.NM

• RS35.Lab.UHV.NM

RS65.Lab 系列

• RS65.Lab.E

• RS65.Lab

• RS65.Lab.HV

• RS65.Lab.UHV

• RS65.Lab.NM

• RS65.Lab.HV.NM

• RS65.Lab.UHV.NM

GS35-35.Lab 系列

• GS35-35.Lab

• GS35-35.Lab.HV

• GS35-35.Lab.UHV

• GS35-35.Lab.NM

• GS35-35.Lab.HV.NM

• GS35-35.Lab.UHV.NM

GS35-55.Lab 系列

• GS35-55.Lab

• GS35-55.Lab.HV

• GS35-55.Lab.UHV

• GS35-55.Lab.NM

• GS35-55.Lab.HV.NM

• GS35-55.Lab.UHV.NM

GS65-77.Lab 系列

• GS65-77.Lab

• GS65-77.Lab.HV

• GS65-77.Lab.UHV

• GS65-77.Lab.NM

• GS65-77.Lab.HV.NM

• GS65-77.Lab.UHV.NM

GS65-97.Lab 系列

• GS65-97.Lab

• GS65-97.Lab.HV

• GS65-97.Lab.UHV

• GS65-97.Lab.NM

• GS65-97.Lab.HV.NM

• GS65-97.Lab.UHV.NM

默认 ~ 2nm 空间分辨率

.E ~ 50 nm 空间分辨率

.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率

.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本

.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本

.NM ~ 完全⽆磁版本

可选型号 ⇨

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压电·六轴并联位移台— Free6D.3-2.150.G2

压

电

运

动·室

温

6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动；

压

电

运

动·室

温

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Free6D.3-2.150.G2, 压电六轴并联位移台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV .UHV

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 底⾯尺⼨*⾼度 Ø150 × 90 mm

2 主体材料 不锈钢/铝合⾦

3 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆 D-Sub15 kapton漆包线，PEEK-2mm插针

4 最⼤垂直负载 1 kg

运动参数

5 ⾏程 X, Y, Z ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

6 ⾏程 ΘX, ΘY , ΘZ ± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

7 单向重复定位精度 X, Y, Z ± 0.3 μm, ± 0.3 μm, ± 0.1 μm

8 单向重复定位精度

ΘX，ΘY，ΘZ ± 5 μrad, ± 5 μrad, ± 5 μrad

9 最⼩位移 X, Y, Z 0.1 μm, 0.1 μm, 0.1 μm

10 最⼩位移 ΘX，ΘY，ΘZ 5 μrad, 5 μrad, 5 μrad

位置传感参数

11 集成传感器 光学编码器

12 位置传感分辨率 2nm

控制器信息

13 功能* 根据⽤户输⼊的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节

14 控制⽅式 各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专⽤软件，实现对六轴并

联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节。

15 控制器尺⼨ 482 mm x 355 mm x 89 mm

16 重量 6.5 kg

17 ⼯作电压 220 V

18 最⼤输出电压 50 V

19 最⼤输出频率 20 kHz

20 最⼤输出功率 100 W

21 ⼯作环境 0～50 °C，<70 % RH

22 控制器通道 6通道输出控制

23 位移台通道接⼝ DB15 female，6组

24 通讯接⼝ USB 串⼝

25 控制软件 提供PC端使⽤软件，⽀持labview，串⼝命令集控制

*此控制器仅适⽤于Free6D.3-2系列六轴并联位移台系统

位移台尺⼨图

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控制器尺⼨图