型号

控制对象马达容量 [W]

控制对象编码器

通信功能

电压 [V]

容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

控制电源电压 [V]

控制电源容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

通讯速度[bps]

最大网络长度

站间电缆长(m)

适合现场总线(版本)

连接电缆

远程站号

电缆长

占有区(输入点数/输出点数)

远程寄存器输入

点动No.输入

等分定位输入

连接台

主电源

控制

电源

通信

规格

绝对 18-bit 编码器(分辨率 262,144 p/rev)

单相 AC100 ~ 120 (50/60 Hz)

单相 AC85 ~ 132

单相 AC100 ~ 120 (50/60 Hz)

单相 AC85 ~ 132

0.4

单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

单相 AC170 ~ 253

0.2

CC-Link 通信 (2局占有时)

USB 通信或 RS422 通信

CC-Link 通信, RS422 通信

CC-Link 通信 (1局占有时) : 31点、CC-Link 通信 (2局占有时) : 255点

RS422 通信 : 255点

1局占有(远程I/O 32点/32点)/(远程寄存器4words/4words)

2局占有(远程I/O 64点/64点)/(远程寄存器8words/8words)

仅遥控装置, 最多42台(1局/台占有时) /最多32台(2局/台占有时)

LECSC系列

CC-Link 通信 (Ver.1.10)

CC-Link Ver. 1.10 对应电缆(带屏蔽3芯双绞线电缆)

1 ~ 64

0.2以上

0.9

100

LECSC2-S5

2.5M

400

400

2.6

LECSC2-S8

10M

100

1.5

200

LECSC2-S7

5M

160

200

LECSC1-S7

625K

900

5.0

100

16K

1200

3.0

LECSC1-S5

指令

方式

CC-Link 通信

CC-Link 通信 (1局占有时) : 31点、CC-Link 通信 (2局占有时) : 255点

三相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz), 单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

三相 AC170 ~ 253, 单相 AC170 ~ 253

型号

控制对象马达容量 [W]

控制对象编码器

适合现场总线

通信功能

电压 [V]

容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

控制电源电压 [V]

控制电源容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

主电源

控制

电源

绝对 18-bit 编码器(分辨率 262,144 p/rev)

单相 AC100 ~ 120 (50/60 Hz)

单相 AC85 ~ 132

单相 AC100 ~ 120 (50/60 Hz)

单相 AC85 ~ 132

0.4

单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

单相 AC170 ~ 253

0.2

USB 通信

SECNET III (高速光纤)

LECSS系列

0.9

100

LECSS2-S5

400

2.6

LECSS1-S8

1.5

200

LECSS2-S7

200

LECSS1-S7

5.0

100

3.0

LECSS1-S5

三相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz), 单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

三相 AC170 ~ 253, 单相 AC170 ~ 253

型号

控制对象马达容量 [W]

控制对象编码器

电压 [V]

容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

控制电源电压 [V]

控制电源容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

并列输入

定位完成距离设定范围[pulse]

误差过大

扭力限制

通信

点动

推动动作

并列输出

最大输入脉冲频率 [pps]

功能

主电源

控制

电源

绝对 22-bit 编码器(分辨率 4,194,304 p/rev)

单相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz)

单相 AC170 ~ 264

0.2

10点

6点

4M(差劲接收器时)，200k(开集电极回路时)

0 ~ ±65535(指令脉冲单位)

±3旋转

参数设定或外部类比输入设定(DC0 ~ 10V)

USB通信或RS422通信

最长255点

点动No.输入127点

LECSB-T系列

2.6

200 400

LECSB2-T7

1.5

100

0.9

LECSB2-T5

三相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz), 单相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz)

三相 AC170 ~ 264 (50/60 Hz), 单相 AC170 ~ 264 (50/60 Hz)

三相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz), 单相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz)

三相 AC170 ~ 264 (50/60 Hz), 单相 AC170 ~ 264 (50/60 Hz)

LECSB2-T8

型号

控制对象马达容量 [W]

控制对象编码器

通信功能

电压 [V]

容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

控制电源电压 [V]

控制电源容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

通讯速度[bps]/ 最大网络长度[m]

站间电缆长[m]

适合现场总线(版本)

连接电缆

远程站号

电缆长

占有区(输入点数/输出点数)

远程寄存器输入

点动No.输入

等分定位输入

连接台

主电源

控制

电源

通信

规格

绝对 18-bit 编码器(分辨率 262,144 p/rev)

单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

单相 AC170 ~ 253

0.2

CC-Link 通信 (2局占有时)

USB 通信或 RS422 通信

CC-Link 通信, RS422 通信

CC-Link 通信 (1局占有时) : 31点、CC-Link 通信 (2局占有时) : 255点

RS422 通信 : 255点

1局占有(远程I/O 32点/32点)/(远程寄存器4words/4words)

2局占有(远程I/O 64点/64点)/(远程寄存器8words/8words)

仅遥控装置, 最多42台(1局/台占有时) /最多32台(2局/台占有时)

LECSC-T系列

CC-Link 通信 (Ver.1.10)

CC-Link Ver. 1.10 对应电缆(带屏蔽3芯双绞线电缆)

1 ~ 64

0.2以上

2.6

400

LECSC2-T8

200

LECSC2-T7

1.5

100

16k/1200, 625k/900, 2.5M/400, 5M/160, 10M/100

0.9

LECSC2-T5

指令

方式

CC-Link 通信

CC-Link 通信 (1局占有时) : 31点、CC-Link 通信 (2局占有时) : 255点

型号

控制对象马达容量 [W]

控制对象编码器

适合现场总线

通信功能

电压 [V]

容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

控制电源电压 [V]

控制电源容许变动电压 [V]

额定电流 [A]

主电源

控制

电源

绝对 22-bit 编码器(分辨率 4,194,304 p/rev)

单相 AC200 ~ 240 (50/60 Hz)

单相 AC170 ~ 264

0.2

USB 通信

SSCNET III (高速光纤)

LECSS-T系列

2.6

400

LECSS2-T8

200

LECSS2-T7

1.5

100

0.9

LECSS2-T5

脉冲输入型控制器(AC伺服马达适用LEF, LEJ, LEY系列) LECSC/LECSS系列(绝对型)

三相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz), 单相 AC200 ~ 230 (50/60 Hz)

三相 AC170 ~ 253 (50/60 Hz), 单相 AC170 ~ 253 (50/60 Hz)

4-48

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) RoHS

系列配置表

LEFS系列

LEFB系列

LEJS系列

LEY系列

LEYG系列

系列 尺寸

25

100W

100W

100W

100W

200W

200W

200W

200W

400W

400W

100W

400W

200W

32 40 63

可对应马达品牌 (功率 : 100W/200W/400W)

品牌 系列 类型*1

MinebeaMitsumi Inc.

东方马达

三菱电机

FASTECH Co., Ltd.

安川电机

三洋电机

欧姆龙

松下

发那科

日本电产三协

基恩士

富士电机

ORIENTAL MOTOR

Co., Ltd.

Rockwell Automation,Inc.

(Allen-Bradley)

Beckhoff Automation

GmbH

Siemens AG

Delta Electronics, Inc.

ANCA Motion

MELSERVO-JN

MELSERVO-J4

MELSERVO-J5

Σ-V

Σ-7

SANMOTION R

Sysmac G5

1 S

MINAS A5

MINAS A6

βis (-B)

S-FLAG

SV

SV2

ALPHA5

ALPHA7

FALDICα

SZ

CSB-BZ

AR

AZ

Ezi-SERVO

MP-/VPTL

AM

AM

1FK7

ASDA-A2

AMD2000

HF-KN

HG-KR

HK-KT

SGMJV

SGM7J/SGM7A

R2

R88M-K

R88M-1

MSM□/MHMD

MSMF/MHMF

β

MA/MH/MM

SV-M/SV-B

SV2-M/SV2-B

GYS/GYB

GYS/GYB

GYS

A17PM/A23KM

CSB-BZ

AR

AZ

EzM

MP/VP

TLY-A

AM30/AM31

AM80/AM81

1FK7

ECMA

Alpha

可对应通讯接口*2

Ⅱ Ⅲ 4

无电池

绝对式

编码器

脉冲

输入

LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG系列

4-49

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

基本型 (±0.02mm)

H 高精度型 (±0.01mm)

无记号

尺寸

马达 马达种类 相对螺距(mm)

行程对应表

行程对照表

记号

25 记号 32

40

尺寸

40

63

U

NZ

NY

S 54

螺距(mm)

记号

H

A

B

马达种类

记号

NZ

NY

种类

安装形状Z

安装形状Y

种类

安装形状Z

安装形状Y

上方

下方

标准 准标准

标准 准标准

型号 行程(mm)

型号 行程(mm)

马达种类对应表

马达 尺寸／类型

品牌

三菱电机

安川电机

山洋电机

欧姆龙

松下

系列 类型 NZ安装形状Z NY安装形状Y NZ安装形状Z NY安装形状Y NZ安装形状Z NY安装形状Y

MELSERVO-JN

MELSERVO-J3

MELSERVO-J4

-V

SANMOTION R

Sysmac G5

MINAS-A4

MINAS-A5

HF-KN

HF-KP

HG-KR

SGMJV

R2

R88M-K

MSMD

MSMD/MHMD

25 32 40

马达

三菱电机

安川电机

山洋电机

欧姆龙

松下

品牌 系列 类型 NZ安装 形状Z

NY安装 形状Y

NZ安装 形状Z

NY安装 形状Y

NZ安装 形状Z

NY安装 形状Y

MELSERVO-JN

MELSERVO-J3

MELSERVO-J4

-V

SANMOTION R

Sysmac G5

MINAS-A4

MINAS-A5

HF-KN

HF-KP

HG-KR

SGMJV

R2

R88M-K

MSMD

MSMD/MHMD

尺寸／类型

25 32 40

马达种类对应表

马达

品牌

三菱电机

安川电机

山洋电机

欧姆龙

松下

系列 类型

MELSERVO-JN

MELSERVO-J3

MELSERVO-J4

-V

SANMOTION R

Sysmac G5

MINAS-A4

MINAS-A5

HF-KN

HF-KP

HG-KR

SGMJV

R2

R88M-K

MSMD

MSMD/MHMD

NZ安装形状Z NY安装形状Y NZ安装形状Z NY安装形状Y

尺寸／类型

40 63

马达种类对应表

磁性开关固定码

(可选项)

型号 : LEF-D-2-1

伺服马达

磁性开关安装图示

磁性开关

2线型号 : D-M9BL-1124

3线NPN型号 : D-M9NL-1124

200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1200 1500

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600 1700 1800 1900 2000 2500 3000

LEFB25

LEJS40

LEJS63

LEFB32

LEFB40

LEFS40

24

16

8

LEFS63

30

20

10

LEFB 25 NZ S 100

LEJS 40 500

基本型 (±0.02mm)

H 高精度型 (±0.01mm)

无记号

精度 尺寸

精度

马达种类 螺距(mm)

行程对应表

记号

记号

25

32

40

NZ

NY

H

A

B

种类

安装形状Z

安装形状Y

标准

型号 行程(mm)

LEFS

LEFS25

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

LEFS32

LEFS40

LEFS25

20

12

6

LEFS32

24

16

8

LEFS40

30

20

10

LEFS系列 25 NZ A 100

LEFB系列

LEJS系列

LEFS

LEFB

注1) 若需配其他品牌伺服马达, 请与SMC联络。

注1) 若需配其他品牌伺服马达, 请与SMC联络。 注2) 可直接选购磁性开关D-M9BL/D-M9NL配装手缸体坑槽上。

注1) 若需配其他品牌伺服马达, 请与SMC联络。

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG 系列

型号表示方法

4-50

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG 系列

型号表示方法

LEY25

LEYG25

LEYG32

LEY32

LEY63

LEY25/32 LEY63

LEY 25 NZ B 500

LEY G 25 M NZ B 200

基本型 (±0.02mm)

H 高精度型 (±0.01mm)

无记号

基本型 (±0.02mm)

H 高精度型 (±0.01mm)

无记号

尺寸 马达种类

活塞杆螺纹

对应防尘防滴

安装方式 马达

马达

行程对应表

行程对应表

记号

无记号 无记号

记号

无记号

记号

折返 轴向

马达配置

25

32

63

尺寸 轴承种类

25

32

M

L

NZ

NY

记号

R

L

D

种类

安装形状Z

安装形状Y

马达种类

* 与 LEY 相同

记号

NZ

NY

种类

安装形状Z

安装形状Y

滑动轴承

滚珠轴承

无

带润滑保护机构

*滑动轴承才可选用

缸体上端

轴向安装

内牙

外牙

无保护 IP5x(防尘)

IP65(防尘防滴)

横置透气口

缸体上端

缸体右端

缸体左端

轴向安装

标准

标准

型号 行程(mm)

型号 行程(mm)

30 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 700 800

30 50 100 150 200 250 300

螺距(mm)

记号

A

B

C

记号

D

无记号

F*

M

P

U

L

F

G

D

LEY25

12

6

3

螺距(mm)

导杆

记号

A

B

C

LEYG25

12

6

3

LEYG32

16 (20)

8 (10)

4 (5)

LEY32

16(20)

8(10)

4(5)

LEY63

20

10

5

精度

LEY系列

LEYG系列

种类

缸体正面安装

缸体底面安装

L型安装吗

活塞杆端法兰安装

无杆端法兰安装

双耳环型

马达种类对应表

马达

品牌

三菱电机

安川电机

山洋电机

欧姆龙

松下

系列 类型

MELSERVO-JN

MELSERVO-J3

MELSERVO-J4

-V

SANMOTION R

Sysmac G5

MINAS-A4

MINAS-A5

HF-KN

HF-KP

HG-KR

SGMJV

R2

R88M-K

MSMD

MSMD/MHMD

注1) 若需配其他品牌伺服马达, 请与SMC联络。

NZ安装形状Z NY安装形状Y NZ安装形状Z NY安装形状Y NZ安装形状Z NY安装形状Y

尺寸／类型

25 32 63

精度

4-51

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

马达安装尺寸

种类

NZ

NY

M5x0.8 9 70 50 5 46

M4x0.7 8 70 50 5 46

FA FB FC FD FE FF

[mm]

尺寸表

行程

100

200

300

400

500

600

700

800

288

388

488

588

688

788

888

988

106

206

306

406

506

606

706

806

230

330

430

530

630

730

830

930

4

6

6

8

10

10

12

14

2

2

3

4

4

5

6

300

300

450

600

600

750

900

L A B n D E

[mm]

LEFS25

ø5H9( ) +0.030

0

深5

5H9( ) +0.030

0

5H9( ) +0.030

0

深5

深5

马达

马达连接件

螺纹深9.5

4xM6x1

(122)

70

42

44

605.5

Dx150(= E)

B

安装间距 øFC

øFD、深 FE

45°

螺纹深8

(F.G.端子)

M4x0.7

70 10 (62) 62

nx ø5.5

150

15 15

6

46.860

60

62

48 FF

(L) 4x FA

A 48

6.5 7.5

30(62)

LEFS32

ø3H9( ) +0.025 0

3H9( ) +0.025

0

深3

深3

3H9( ) +0.025

0

深3

马达

马达连接件

螺纹深8.5

4xM5x0.8

螺纹深8

螺纹深 FB

安装间距 øFC

øFD、深 FE

(F.G.端子)

M4x0.7

(102)

64

57.8 10 (52) A 52

nx ø4.5

120

35

B

Dx120(=E) 10

4

4847 38.5

FF

4x FA

45°

31.5

(L)

38

6.5 24(48)

48

6

45

503.5

38

马达安装尺寸

种类

NZ

NY

M5x0.8 9 70 50 5 47.5

M4x0.7 8 70 50 5 47.5

FA FB FC FD FE FF

[mm]

尺寸表

行程

200

300

400

500

600

700

800

900

1000

439

539

639

739

839

939

1039

1139

1239

206

306

406

506

606

706

806

906

1006

300

300

450

600

600

750

900

900

1050

378

478

578

678

778

878

978

1078

1178

6

6

8

10

10

12

14

14

16

2

2

3

4

4

5

6

6

7

L A B n D E

[mm]

螺纹深 FB

ø6H9( ) +0.030

0

深7

6H9( ) +0.030

0

深7

6H9( ) +0.030

0

深6

马达

马达连接件

螺纹深13

4xM8x1.25

(170)

106

60

1376

7

60 15

150

B

53.86867.5

(86) 86

nx ø6.6

A 48 FF

(L)

螺纹深8

(F.G.端子)

90

M4对边宽度2.5

61

M4x0.7 31

8(68)

8

58

74

7

Dx150(=E)

螺纹深 FB

安装间距øFC

øFD、深: FE

4x FA

45°

LEFS40

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG 系列

外形尺寸图 (毫米)

尺寸表 [mm]

行程 LABnDE

300 552 306 467 6 2 340

400 652 406 567 8 3 510

500 752 506 667 8 3 510

600 852 606 767 10 4 680

700 952 706 867 10 4 680

800 1052 806 967 12 5 850

900 1152 906 1067 14 6 1020

1000 1252 1006 1167 14 6 1020

1100 1352 1106 1267 16 7 1190

1200 1452 1206 1367 16 7 1190

1300 1552 1306 1467 18 8 1360

1400 1652 1406 1567 20 9 1530

1500 1752 1506 1667 20 9 1530

1600 1852 1606 1767 22 10 1700

1700 1952 1706 1867 22 10 1700

1800 2052 1806 1967 24 11 1870

1900 2152 1906 2067 24 11 1870

2000 2252 2006 2167 26 12 2040

马达安装尺寸

种类 FA FB FC FD FE FF FG FH FJ

NZ M4 x 0.7 8 46 30 3.5 73 — — 2

NY M3 x 0.5 8 45 30 3.5 73 — — 4

[mm]

LEFB25

4 x M5 x 0.8

螺纹深 8.5

(102)

64

45

33

38

45° FJ x FA

螺纹深FB

3.550

安装间距

马达连接件 øFC

øFD, 深FE

深 3

ø3H9 ( ) +0.025

0

ø3H9 ( )

深3

+0.025

0

38

(48) 24

58

17

6 6.5 12.5

3H9 ( )

深3

L

10 (109) A 52 75

(9)

FF 41.5 45.5

48 38.5

马达

48

B

D x 170 (= E)

170

25 3

n x ø4.5 +0.025

0

4

螺纹深8

(F.G.端子)

M4x0.7

马达法兰

马达安装尺寸

尺寸表

种类

行程

NZ M4x0.7

251.5

351.5

451.5

551.5

651.5

751.5

106

206

306

406

506

606

210

310

410

510

610

710

4

6

8

8

10

12

2

3

3

4

5

240

360

360

480

600

100

200

300

400

500

600

8 46 30 3 35.5

NY M3x0.5 8 45 30 3.5 35.5

FA

L A B n D E

FB FC FD FE FF

[mm]

[mm]

4-52

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG 系列

外形尺寸图 (毫米)

LEY25/32

FA FB FC FD FE FF

M4x0.7

M5x0.8

M4x0.7

7.5

8.5

8

46

70

70

30

50

50

3.7

3.3

3.3

11

13

13

25 NZ

NZ

NY 32

B 尺寸 种类

25 15~100

105~400

20~100

105~500

89.5

114.5

96

126 32

13

13

20

25

44

51

45.5

56.5

M8x1.25

M8x1.25

24

31

17

22

12.5

16.5

34

40

M5x0.8

M6x1.0

8

10

46

60

92

118

1

1

26.5

34

22

27

C D EH EV H J K L M O1 R S T U Y1 Y2

[mm]

尺寸 行程范围

螺纹深 FB 侧面

2 x FA

FE

A-A B(2 : 1) øFD+0.3 +0.1

FF

øFC

45°

马达 马达连接件

螺纹深 C

螺纹深 R螺纹深 R

注2)

EV

J

H

4x O1 4x O1 K

M

øD

L B M

M

T

U

S

Y1

Y2

EH

LEY25/32D 深

螺纹深 FB

øFD

øFC

FE

2 x FA U

马达连接件 马达

øD

L B＋行程 FF

螺纹深 C

螺纹深 R

TEV

M

M

4x O¹

EH

S

J

H

25 NZ

NY

NZ

NY

M4x0.7

M3x0.5

M5x0.8

M4x0.7

7.5

6

8.5

8

46

45

70

70

30

30

50

50

3.7

4.2

3.3

3.3

47

47

60

60 32

尺寸 种类 FA FB FC FD FE FF

25 15~100

105~400

20~100

105~500

89.5 13

13

20

25

44

51

45.5

56.5

M8x1.25

M8x1.25

24

31

17

22

12.5

16.5

34

40

M5x0.8

M6x1.0

8

10

45

60

46.5

61

1.5

1

114.5

96

126 32

B C D EH EV H J K L M O1 R S T U

[mm]

尺寸 行程范围

FC 安装间距:

马达连接件

8 M4 x 0.7

6

4 x M6 x 1

螺纹深 9.9

(122)

70

42

44 45°

4 x FA

螺纹深FB

ø

øFD, 深FE 6044 5.5

L

(5) 64 (62) A

55

62 96

(12)

马达FF 57.5

48

31.5 30

70

(60)

60

5H9 ( ) n x ø5.5 深 5

200

D x 200 (= E)

B

15 5

6

46.860

M4对边宽度7 马达连接件

ø5H9 ( )

深5

+0.030

0

ø5H9 ( )

深 5

+0.030

0

+0.030

0

LEFB32

LEFB40

螺纹深8

(F.G.端子)

øFC 安装间距:

马达连接件

øFD, 深FE

46

45° (170)

106

60

ø6H9 ( )

深 7 4 x M8 x 1.25

螺纹深 13

M4 x 0.7

7

8

58

774

L

6 66 (86) A 86 97.5

(12)

60.5 65.5FF

61

3331(68)

90

马达

马达连接件

53.8 68

76

n x ø6.6 7

6H9 ( )

深6

200

D x 200 (= E)

B

60 5

+0.030

0

6H9 ( )

深 7

+0.030

0

+0.030

0

4 x FA

螺纹深FB

螺纹深8

(F.G.端子)

M5对边宽度8

种类 FA FB FC FD FE FF

NZ M5 x 0.8 9 70 50 4 95.5

NY M4 x 0.7 8 70 50 4 95.5

尺寸表 [mm]

行程 L A B n D E

300 590 306 430 6 2 400

400 690 406 530 6 2 400

500 790 506 630 8 3 600

600 890 606 730 8 3 600

700 990 706 830 10 4 800

800 1090 806 930 10 4 800

900 1190 906 1030 12 5 1000

1000 1290 1006 1130 12 5 1000

1100 1390 1106 1230 14 6 1200

1200 1490 1206 1330 14 6 1200

1300 1590 1306 1430 16 7 1400

1400 1690 1406 1530 16 7 1400

1500 1790 1506 1630 18 8 1600

1600 1890 1606 1730 18 8 1600

1700 1990 1706 1830 20 9 1800

1800 2090 1806 1930 20 9 1800

1900 2190 1906 2030 22 10 2000

2000 2290 2006 2130 22 10 2000

2500 2790 2506 2630 28 13 2600

马达安装尺寸 [mm]

[mm]

种类 FA FB FC FD FE FF

NZ M5 x 0.8 9 70 50 4 100

NY M4 x 0.7 8 70 50 4 100

尺寸表 [mm]

行程 L A B n D E

300 641.5 306 478 6 2 400

400 741.5 406 578 6 2 400

500 841.5 506 678 8 3 600

600 941.5 606 778 8 3 600

700 1041.5 706 878 10 4 800

800 1141.5 806 978 10 4 800

900 1241.5 906 1078 12 5 1000

1000 1341.5 1006 1178 12 5 1000

1100 1441.5 1106 1278 14 6 1200

1200 1541.5 1206 1378 14 6 1200

1300 1641.5 1306 1478 16 7 1400

1400 1741.5 1406 1578 16 7 1400

1500 1841.5 1506 1678 18 8 1600

1600 1941.5 1606 1778 18 8 1600

1700 2041.5 1706 1878 20 9 1800

1800 2141.5 1806 1978 20 9 1800

1900 2241.5 1906 2078 22 10 2000

2000 2341.5 2006 2178 22 10 2000

2500 2841.5 2506 2678 28 13 2600

3000 3341.5 3006 3178 32 15 3000

马达安装尺寸

尺寸表

□

注2) □K

4-53

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

LEY63

øFD深

øFC

FE

螺纹深 FB

4 x FA U

马达连接件 马达

øD

L B

Z

FF

螺纹深 R

螺纹深 C

4 x O¹

TEV

M H

M

EH

S

J

外形尺寸图 (毫米)

NZ

NY

M5x0.8

M4x0.7

10

8

70

70

50

50

3.5

3.5

22.5

22.5

种类 FA FB FC FD FE FF

63

尺寸

[mm]

B

63

50~200

205~500

505~800

168.2

203.2

238.2

21 40 76 82 M16x2 44 36 33.4 60 M8x1.25 16 78 83 5

C D EH EV H J K L M O1 R S T U

尺寸表

尺寸 范围

LEJS40

LEJS63

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

-300

-400

-500

-600

-700

6

8

8

10

10

1

2

2

3

3

180

80

180

80

180

200

200

400

400

600

尺寸表 [mm]

型号 n C D E

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

LEJS63N□□

-800

-900

-1000

-1200

-1500

12

12

14

16

18

4

4

5

6

7

80

180

80

80

180

600

800

800

1000

1200

[mm]

型号 n C D E

安装尺寸 [mm]

FA FB

7

5

M5x0.8

M4x0.7

种类

NZ/安装形状Z

NY/安装形状Y

安装尺寸 [mm]

FA FB

7

5

M5x0.8

M4x0.7

种类

NZ/安装形状Z

NY/安装形状Y

LEJS63NY□-□

84 10

6 58

39 (64) 84

70

13

200

E 25 79

30

nx ø6.8

140

Cx200 ( = D)

深6 8H9( ) +0.036

0

深6

ø8H9( ) +0.036

0

(F.G.端子)

25 M4x0.7深8

49.5

63.5

73

68

124 160

4xM8x1.25深12

(158)

(172)

122

129

124

90

114

7

深7

ø6H9( ) +0.030

0

深7

6H9( ) +0.030

0

螺纹深FB

4 x FA

35

45°

ø70

C

EC

ED

0.5

马达法兰 马达

FF

C

EC

ED

(行程+4mm)

0.5

B +行程

Y

H

(EB)

FG

øFC

EVQ

S

J

EH

T

EB

X

GA

尺寸

XX1

øXA H9 深XA

4 x OA通孔 2 x FA øFD深 FE 螺纹深FB

XAH9

XB XA

尺寸Y详细图解

L+行程

øDB

P

ø

XDA

WC+行程

Z WA

(0.5) K

4 x OA 螺纹深OB

底孔øG 通孔

øXA H9

深 XA

尺寸XX2

2 x NA

螺纹深NC

WB

XA

XB

XAH9

尺寸 XX2

尺寸XX1

LEYG25, 32

尺寸 行程范围

[mm] NC OA OB P Q S T U WA WB WC X XA XB Z

25

高达 35

6.5 M6 x

1.0 12 80 18 30 95 6.8

35 26

51

33.5

43.5

70

54 4 5 8.5

40 ~ 100 50 105 ~ 120

125 ~ 200 70 95

205 ~ 300 85

32

高达 35

8.5 M6 x

1.0 12 95 28 40 117 7.3

40 28.5 75

64 5 6 8.5

40 ~ 100 50 33.5 105 ~ 120

125 ~ 200 70 43.5 105

205 ~ 300 85 51

LEYG M, LEYG L [mm]

尺寸 行程范围

[mm] B C DA EB EH EV EC ED G GA H J K NA

25

高达 35 89.5 50

20 85 103 52.3 11 12.5 5.4 40.3 53.3 30.8 29 M5 x 0.8

40 ~ 100 67.5 105 ~ 120

125 ~ 200 114.5 84.5

205 ~ 300 102

32

高达 35 96 55

25 101 123 63.8 12 16.5 5.4 50.3 68.3 38.3 30 M6 x 1.0

40 ~ 100 68 105 ~ 120

125 ~ 200 126 85

205 ~ 300 102

LEYG M (滑动轴承) [mm]

尺寸 行程范围[mm] L DB

25

高达 55

60 ~ 185 12

190 ~ 300

32

高达 55

60 ~ 185 16

190 ~ 300

100.5

138

74

67.5

107

144

LEYG L (滚球轴承) [mm]

尺寸 行程范围[mm] L DB

25

高达114

115 ~ 190 115 10

133

97.5

91

191 ~ 300

32

高达114

115 ~ 190 116.5 13

191 ~ 300 134

尺寸表 [mm]

尺寸 种类 FA FB FC FD FE FF FG FH

25 NZ M4 x 0.7 7.5 46 30 3.7 47 45 —

NY M3 x 0.5 6 45 30 4.2 47 45 —

32 NZ M5 x 0.8 8.5 70 50 3.3 60 60 —

NY M4 x 0.7 8 70 50 3.3 60 60 —

不配置马达的选择(仅电驱动缸本体) LEFS/LEFB/LEJS/LEY/LEYG 系列

注2) □K

[mm]

n C

-200

-300

-400

-500

-600

6

6

8

8

10

1

1

2

2

3

200

200

400

400

600

80

180

80

180

80

D E

尺寸表

型号

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

[mm]

n C

-700

-800

-900

-1000

-1200

10

12

12

14

16

3

4

4

5

6

600

800

800

1000

1200

180

80

180

80

80

型号 D E

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

LEJS40N□□

45

37 (58) 64.5

50.8

(F.G.端子)

18 M4x0.7深8

36.5

50.5

58

56

100 130

64

11

200

20

30

nx ø5.5

E Cx200 ( = D)

深4

ø6H9( ) +0.030

0

深4

6H9( ) +0.030

0

4xM6x1深10 深6

(128)94

(160)

110

105

100

84

6

深6

5H9( ) +0.030

0

螺纹深7

2xM4x0.7

26

45°

ø46

ø5H9( ) +0.030

0

4-54

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

电缸导轨

LEFG系列

RoHS

双滑块电缸

LEF-X61系列

RoHS

LEFG(导轨)

LEF(驱动侧)

尺寸 : 16, 25, 32, 40

专利宽型导轨, 高刚性。

省工时

无需垫高，高度和LEF系列电缸完全一致。

防尘式的密闭构造，无需定期加油维护。

防尘

型号表示方法 LEFG 32 BT 200

支撑导轨 ➊ ➋ ➌

尺寸 行程

记号 LEFG16 LEFG25 LEFG32 备注

BT ●

●

● ●

同步带

驱动

步进电机／伺服电机

BS

300 ~ 3000

50 ~ 1200

S

— ● ●

LEFG40

—

●

● ● ●

交流伺服电机

16

25

32

40

➊ ➋安装间距种类 ➌

行程(mm)

滚珠丝杆驱动步进电机/

伺服电机(24VDC)/交流伺服电机

● ● -

- - -

● ● -

● ● ●

● ● -

● ● ●

● - -

● ● ●

32

40

电机类型

LEFS

(滚球丝杆驱动)

尺寸

16

25

步进电机

交流伺服电机

步进电机

交流伺服电机

步进电机

交流伺服电机

步进电机

交流伺服电机

电机顶部安装型 电机底部安装型

LEFB

(同步带驱动)

· 高刚性，运行更加稳定

· 容许力矩提高

· 适合在两点同时操作的场合

4-55

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

应用例

IO-Link

Master

PLC

EX260

电驱动缸 气缸 IO-Link 通讯

可以额外安装在现有

可在同一通讯协议构建电控及气控的控制系统 网络中

* 如连接电脑需配 LECABLE-232 通讯线及 P5062-5 转换线

JXC P 1 7 -

控制器

EtherCAT ®直入型

EtherNet/IPTM直入型

DeviceNet 直入型

PROFINET 直入型

IO-Link

E

9

D

P

L

M CC-Link

安装方式

7

8

DeviceNet

通讯接头类型

其他通讯协议

---

直型

T分支型

无

S

T

电缸型号

例 : 选用「LEFS16B-100B-S1CP17」

电缸请加上「LEFS16B-100」

螺丝安装

DIN轨安装

驱动器 电缸+驱动器

电缸种类

系列

LEY/LEYG/LEF/

LES/LESH/LER/

LEL/LEDY/LEPS/

LEH/LEM

C D 1 7 T

Nil

C 1

E EtherCAT ®

9

P PROFINET

D

7

8 DIN Nil

S

T

通讯协议

单抽用

驱动器

安装方式

用通讯接头

无通讯接头

电缸本体电缆

种类及长度

无驱动器

有驱动器

螺丝固定式

轨固定式

直型通讯接头

T分歧型通讯接头

L IO-Link

M CC-Link

LEFS16B-100 R1 CD17T

EtherNet/IP™

DeviceNet™

EtherCAT / EtherNet/IP / DeviceNet /

PROFINET / IO-Link / CC-Link 直接输入型控制器

JXCE1/91/D1/P1/L1/M1系列 RoHS ®

型号表示方法

4-56

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

4轴同步控制器(步进电机适用)

系列(同步I/O型及EtherNet/IP JXC73/83/93 TM型)

DC24V

控制器用输入电源

●

PLC

DC24V

mm/s mm mm/s2 mm/s2 mm mm mm

０

1轴 ABS 100 200.00 1000 1000 0 6.0 12.0 0.5

2轴 ABS 50 100.00 1000 1000 0 6.0 12.0 0.5

3轴 ABS 50 100.00 1000 1000 0 6.0 12.0 0.5

4轴 ABS 50 100.00 1000 1000 0 6.0 12.0 0.5

１

1轴 INC 500 250.00 1000 1000 1 0 0 20.0

2轴 INC 500 250.00 1000 1000 1 0 0 20.0

3轴 INC 500 250.00 1000 1000 1 0 0 20.0

4轴 INC 500 250.00 1000 1000 1 0 0 20.0

2046 4轴 ABS 200 700 500 500 0 0 0 0.5

2047

1轴 ABS 500 0.00 3000 3000 0 0 0 0.5

2轴 ABS 500 0.00 3000 3000 0 0 0 0.5

3轴 ABS 500 0.00 3000 3000 0 0 0 0.5

4轴 ABS 500 0.00 3000 3000 0 0 0 0.5

指令 轴 动作

方法

速度 位置 加速度 减速度 定位/

推力

区域1 区域2 定位宽度 备注

1 用第1轴，第2轴平面上的圆弧动作。

一个步进指令可同时设定四个轴。

ABS

INC

LIN-A

LIN-I

CIR-R 1

CIR-L 1

SYN-I

第1轴为X轴, 第2轴为Y轴, 以右旋转圆弧补间移动。

目标座标与中心座标从现在位置的指定相对座标。

位置资料以下记分配。

第1轴 : 目标位置X

第2轴 : 目标位置Y

第3轴 : 中心点X

第4轴 : 中心点Y

第1轴为X轴, 第2轴为Y轴, 以左旋转圆弧补间移动。

目标座标与中心座标从现在位置的指定相对座标。

位置资料以下记分配。

第1轴 : 目标位置X

第2轴 : 目标位置Y

第3轴 : 中心点X

第4轴 : 中心点Y

动作方法 推压动作

空白 资料无效(无处理)

以驱动器的原点为基准，移动到绝对座标位置。

内容

以现在位置为基准，移动到相对座标位置。

以驱动器的原点为基准，以直线补间移动到绝对座标位置。

以现在位置为基准，以直线补间移动到相对座标位置。

以现在位置为基准，以同步控制移动到相对座标位置。

步进数据输入 : 最高2048个指令

0

10

20

30

40

50

10 20 30 40 50 0

10

20

30

40

50

10 20 30 40 50

·4轴可同步控制 ·可直线/圆孤运行

直线插补 圆弧插补

原点 原点

目标位置

当前位置

轴1

轴2

轴1

轴2

目标位置

当前位置

中心

170

CN5

I/O

18%

*LE□尺寸25以上的场合

LECP6 x 4个时 JXC73/83

PLC

CN5

客户自备

I/O

24 VDC

信号用电源

I/O电缆线 x 4条

● 多点定位 : 最大2048点

● 省空间、省配线

● 绝对·相对位置坐标指示

● 定位／推力动作

PLC

I/O

I/O

24 VDC

信号用电源

I/O电缆线 x 2条

客户自备

拾取装置 RoHS

●

●

客户自备

PLC

客户自备

EtherNet电缆

(类别5以上) 控制器/JXC93

系统配置图 / EtherNet / IP 系统配置图 / 同步I/O型(JXC73/83) TM型(JXC93)

客户自备

输入输出电源信号

DC24V

客户自备

客户自备

主控制电源

· 电驱动缸

● 控制器 / JXC73/83

· 电缸本体电缆

· I/O电缆

型号

JXC-C2-□

耐弯曲电缆

LE-CP-□-□ LE-CP-□-□-S

标淮电缆

I/O

USB

C PWR

M PWR

CI

型号

JXC-C1

· 电机刹车电源接头

<适合电缆>

AWG20(0.5mm2

)

·电机电源接头

<适合电缆>

AWG16(1.25mm2

)

·控制器设置软件

(控制器设定软件及USB电缆)

型号 : JXC-W1

· 控制器设定软件

型号 : JXC-W1-1

·USB电缆

型号 : JXC-W1-2

长度 : 3m

4轴同步控制器 : JXC73/83/93系列(同步I/O型及 型)

4-57

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

外形尺寸图 (毫米)

66.3

144.2

81

104.3

105.9

125

136.2

144.2 2.9 2.9

2.9 2.5

106 2

125

139.2

116.2

117.8

11.9

66.3

144.2

81

104.3

105.2

125

136.2

144.2 2.9 2.9

106

125

139.2

2.9 2.5

2 116.2

117.1

11.9

L

7.5

(35) (25)

5.5

12.5 5.25

8 (1.5)

No. 1 2 3 4 5 6

L 23 35.5 48 60.5 73 85.5

No. 25 26 27 28 29 30

L

21 22 23 24

273 285.5 298 310.5

323 335.5 348 360.5 373 385.5

AXT100 DR

JXC Z1(附安装螺丝6支)

并列I/O型 JXC73/83

螺丝安装

EtherNet/IPTM型 JXC93

螺丝安装

DIN轨道安装 DIN轨道

DIN轨道安装金具

DIN轨道安装

DIN导轨安装件

DIN导轨安装件

(间距)

5.5安装孔

5.5安装孔

5.5安装孔

5.5安装孔

尺寸

No. 7 8 9 10 11 12

L尺寸 98 110.5 123 135.5 148 160.5

No. 13 14 15 16 17 18

L尺寸 173 185.5 198 210.5 223 235.5

No. 19 20

L尺寸 248 260.5

尺寸

No. 31 32 33 34 35 36

L尺寸 398 410.5 423 435.5 448 460.5

No.

L尺寸

L尺寸表

37 38 39 40

473 485.5 498 510.5

系列(同步I/O型及EtherNet/IP 4轴同步控制器(步进电机适用) JXC73/83/93 TM型)

控制器单体

JXC 3

4轴型

I/O电缆/安装方法

记号 I/O电缆 安装方法

1 1.5m 螺丝安装

2 1.5m DIN轨安装

3 3m 螺丝安装

4 3m DIN轨安装

5 5m 螺丝安装

6 5m DIN轨安装

7 无 螺丝安装

8 无 DIN轨安装※包含2条I/O电缆。

输入输出规格

记号 输入输出规格

7 NPN

8 PNP

7 2

■同步I/O型(JXC73/83)

共同规格

同步I/O型(JXC73/83)

项目

控制轴数

控制对应电机

控制对应编码器

并行输入

并行输出

串行通讯

内存

LED 指示灯

锁定控制

电缆长度

规格

最大4轴

步进电机(伺服DC24V)

增量或A/B相(800p/r)

最大4轴

步进电机(伺服DC24V)

增量或A/B相(800p/r)

32点(光偶绝绿）

16点(光偶绝绿）

USB2.0 (全速12Mbps)

闪存ROM／EEPROM

PWR, RUN, USB, ALM

强制锁紧解除端子

I/O电缆 : 5m以下、电缸电缆 : 20m以下

项目 规格

EtherNet/IPTM

10Mbps/100Mbps(自动协商)

全二重/半二重(自动协商)

EDS文件

输入16Byte／输出16Byte

□请以DIN轨道尺寸的No.记入。

安装尺寸请参照左图外型尺寸。

通过开关手动设置 : 192.168.1.1~254、

DHCP服务器通过 : 任何地址

7 h(SMC Corporation)

2Bh(Generic Device)

DCh

USB2.0(全速12Mbps)

闪存ROM/EEPROM

PWR, RUN, USB, ALM, NS, MS, L/A, 100

强制锁解除端子

本缸电缆 : 20m以下

控制轴数

控制对应电机

控制对应编码器

通讯协议名称

通信速度

通信方式

配置文件

数据占有区

IP地址设置范围

供货商ID

产品类型

产品编号

串行通讯

内存

LED 指示灯

锁定控制

电缆长度

通

讯

规

格

型号表示方法

■EtherNet/IPTM型(JXC93)

JXC 3

4轴型

安装方法

记号 安装方法

7 螺丝安装

8 DIN轨安装

输入输出规格

记号 输入输出规格

9 EtherNet/IPTM

9 7

控制器单体

EtherNet/IP型TM(JXC93)

4-58

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

控制器单体

■ EtherNet/IPTM型

(JXC92)

系统配置图 /EtherNet/IPTM

型 (JXC92)

PC

CI

PLC

P1 or P2

USB

客户自行购买

客户自备

电驱动缸

控制器 / JXC92

M PWR ●电机电源接头

〈适合电缆〉

AWG16（1.25mm2）

● 电机刹车电源接头

〈适合电缆〉

AWG20（0.5mm2）

●控制器设定软件

型号 : JXC-MA1-1

●控制器设置软件

(控制器设定软件及USB电缆)

型号 : JXC-MA1 ● USB电缆

型号：JXC-MA1-2

长度：3m

客户自备

DC24V

●电缸本体电缆

LE-CP- - LE-CP- - -S

耐弯曲电缆 标淮电缆

JXC 2

7

8 DIN轨安装

9 7

安装方式

记号 安装方式

9

输入输出规格

输入输出规格

记号

3轴型 EtherNet/IPTM 螺丝安装

项目 规格

通

讯

规

格

最大 3 轴

步进电机(伺服DC24V)

增量或A / B相(800p/r)

EtherNet/IPTM

10Mbps / 100Mbps(自动协商)

全二重/半二重(自动协商)

EDS文件

输入16Byte / 输出16Byte

通过开关手动设置 : 192.168.1.1~254、DHCP服务器通过 : 任何地址

7h (SMC Corporation)

2Bh (Generic Device)

DEh

USB2.0(全速12Mbps)

闪存ROM

PWR, RUN, USB, ALM, NS, MS, L/A, 100

强制锁解除端子

本缸电缆 : 20m以下

控制轴数

控制对应电机

控制对应编码器

通讯协议名称

通信速度

通信方式

配置文件

数据占有区

IP地址设置范围

供货商ID

产品类型

产品编号

串行通讯

内存

LED指示灯

锁定控制

电缆长度

共同规格

3轴同步控制器(步进电机适用)

JXC92系列(EtherNet/IP型)

RoHS

型号表示方法

4-59

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

ZK2A 新款真空发生器组合 5-1

ZK2-X188/ZK2-X211 真空发生器（供给阀 : N.O.） 5-4

ZB 小型真空发生器组合 5-7

ZQ 薄型真空发生器组合 5-10

ZR 大型真空发生器组件 5-12

ZL112A 多级真空发生器 5-17

ZL3/ZL6 多级真空发生器 5-19

ZL-X233/ZP-642-11AC 大流量多级真空发生器 / 海绵吸盘 5-22

ZHDSLA/ZHBSA 真空发生器 5-23

ZH--X267 全不锈钢真空发生器 5-26

ZUA 直管型真空发生器 5-27

ZFA/ZFB 真空过滤器 5-28

ZFZ-03-002/ZFC050 小型真空过滤器 / 微型真空过滤器 ( 螺纹型 ) 5-29

ZFC 小型真空过滤器 5-30

ZH-X185/X226/X249/X338 真空发生器 / 大流量喷嘴型 5-31

ZP2V 真空止回阀 5-34

AFJ20~AFJ40 真空过滤器 5-36

AMJ/AF-T17 真空用水份分离器 / 真空过滤器 5-38

IRV10·20 真空调压阀 5-39

ZP 真空吸盘 5-40

ZPR 水平真空接管型 5-41

ZPR 水平真空接管型（带缓冲） 5-42

ZPT 垂直真空接管型（不带缓冲） 5-43

ZPT 垂直真空接管型（带缓冲） 5-44

ZPT 大型垂直真空接管吸盘 5-46

ZPT 大型垂直真空接管吸盘（带缓冲） 5-47

ZPT 大型垂直真空接管风琴型吸盘 5-48

ZPT 大型垂直真空接管风琴型吸盘（带缓冲） 5-49

ZPX 大型水平真空接管吸盘 / 大型水平真空接管风琴型吸盘 5-50

ZPY 水平真空口倒钩式接管吸盘 5-52

ZP2 4·5 段风琴型吸盘 / 多段型风琴吸盘 / 海棉吸盘 5-53

ZP2(ø2~ø46) 多段型风琴吸盘 5-55

ZP2(ø4~ø15) 海绵吸盘 5-56

ZP2(ø10~ø30) 扁平型吸盘 5-57

ZP2(ø4~ø125) 无痕吸盘 5-58

ZP2(ø0.8~ø8) 超小型吸盘 5-59

ZP2(ø3.5 x 7~8 x 30) 椭圆型吸盘 5-60

ZP2(ø32~ø340) 重载吸盘 5-60

ZHP 附带真空发生器吸盘 5-61

ZXP-X1 机械手应用真空吸盘拾放组合 5-63

ZP3 新款吸盘 5-65

ZP3E 新款吸盘（平型及风琴型带槽） 5-70

ZP3P-JT 真空吸盘（多层风琴型） 5-74

ZP3P 真空吸盘 ø20, ø25, ø35, ø50 5-78

ZP-580 海绵吸盘 5-80

ZP3-HS 真空吸盘 ( 半导电性硅橡胶 ) 5-81

ZP-905 防静电真空吸盘 5-82

ZP-654 管道串联接头 5-83

ZP-697 薄片无痕吸盘 5-84

XT661 非接触式吸盘 5-85

XT661-X427 非接触式吸盘 5-88

SP 吸板 5-89

ZCUK 真空用气缸 5-90

ZUA-X107 真空操作气缸 5-92

XGTP 平行密封型闸阀（对应 300mm 晶圆） 5-94

XLA/C-100/160-(1)-X152 高真空阀 5-96

XLJ 带大气开放阀的真空阀 5-98

XSA 高真空阀 5-99

真空元件

型号 类型 页码

新款真空发生器组合

ZK2A系列

RoHS

·增加节能压力开关 : 真空压力到达时，供给流量减少90%。

·真空发生器效率提高 : 吸入流量增加50%, 耗气量减少30%

·小型化, 轻量化。

[mm]

[mm]

[L/min ANR ]

[L/min ANR ]

[L/min ANR ]

[kPa]

[MPa]

[MPa]

ZK2 07

-91

0.3~0.6

0.35 0.4

ZK2 10 ZK2 12 ZK2 15

0.7

34

29

24

2~40 2~50 2~125 2~150

1.0

56

44

40

1.2

74

61

58

1.5

89

67

90

项目 型式

供给压力范围

标准供给压力

适用吸盘直径

真空发生器喷嘴孔径

最大吸入量

最大耗气量

最高真空压力

高消音消声器

消声器式

共同规格

带省能功能的真空数字式压力开关

(与供给阀联动达到设定真空度即停止供气)

供气

真空 真空

供气

只有在真空压力不足

时，才断续地消耗压

缩空气，断续地排气

只要在吸附工件期间，

一直消耗压缩空气，

持续地排气

真空单元组合变化

先导压力供给 (PS) 孔

ø4 快速接头

真空压供给 (PV) 孔

ø6 快速接头

真空 (V) 孔

ø6, ø8 快速接头

喷嘴径 真空开关

无真空传感器

供给阀，破坏阀的组合

空气压供给 (PV) 孔

真空 (V) 孔 排气 (EXH) 孔

破坏流量调整针阀

供给阀 破坏阀

N.C N.C

N.C 无

真空保持式 N.C

无 无

ø0.7, ø1.0, ø1.2, ø1.5 · 压力检测器

· 真空用压力传感器

· 附省能源功能真空用压力传感器

供给阀，破坏阀额定电压

24 VDC

ø6

ø6, ø8 快速连接

圆形锁锣母

螺丝刀操作型

高消音消声器排气

消声器排气

真空产生器(带阀/无阀)

单

体

组

合

变

化

真空泵系统

供给阀信号

ON

OFF

ON

OFF

省能源

控制

现有品

吸著确认

压力

省能源

ON/OFF

动作

到达真空压

大气压

真空孔压力

现有的

真空产生器

附省能功能真空

开关真空产生器

5-1

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款真空发生器组合 ZK2A 系列

(单个组件)

ZK2 A

A

A

真空发生器系统(带阀)

真空发生器系统(无阀)

真空泵系统* P K 5 A L 08

12

12

00

ZK2 A K 5 A L 08

ZK2 A N 0 N N 08 *

组件内无真空发生器，真空由客户提供。

型号表示方法

➀ ➁ ➂ ➃ ➄ ➅ ➆ ➇

记号 真空系统形式 组件形式 排气形式

P 单体式 无

Q 集装式 无

A 消声器

G 高消音消声器

C 排气共通

H 高消音消声器

➀真空系统及组件形式

真空泵系统

真空发生器

系统

单体式

集装式

记号 真空系统形式 发生器孔径

00 真空泵系统 无

07 ø0.7

10 ø1.0

12 ø1.2

15 ø1.5

➁真空发生器喷嘴孔径

真空发生器

系统

记号 供给阀 破坏阀

K N.C N.C.

J N.C 无

R* 真空保持式

*

只需瞬时供电于供给阀，一直保持真空

状态，可作为工件掉落防止对策用，

供电于破坏阀同时会断电供给阀。

*在➂选 N时，必须这里

选“0”。 N.C.

➂真空供给阀/破坏阀选项

N 无 无

记号 电压

5 DC24V

0* 无

➃额定电压

记号 记号

压力范围

(kPa) 输出方式

P 0~-101

T -100~100

A 0~-101

E -100~100

K** NPN 1个输出

N

NPN 2个输出

*如查询更多规格，另有PNP可选择，请联系SMC.

**必须在③选”K”。

模拟输出

1-5V

➅供给阀、破坏阀和真空/压力传感器出线选项

传感器

接线样式 接头形式、导线形式

C 集装式插头(集装板专用)

注1)

注3)

注4)

注1)

注2)

注1) 压力传感器 : 直接出线式线长3m 。真空压力传感器 : L型插头线长2m。

注2) 若➄选“K”, 必须在➅选“W”。注3) 若➄选“N”, 就不能选配 。注4) 若➄选“P”,“T”, 就不能选配 。

L 带阀，带传感器

不带阀，带传感器

带阀，不带传感器

不带阀，不带传感器

L1

L2

L3

W L型插头(专用节能导线)

Y 不带阀(在➂选N时)

N 无供给阀，破坏阀，压力传感器(在➂及➄选N时)

供给阀 / 破坏阀用

记号

06

08

接管口径

ø6配管

ø8配管

➆真空口配管

无记号

K

无

带破坏流量调节阀

➇任选项

J

-100~100

类型

节能真空压力传感器

无压力传感器及数字真空压力开关

压力传感器

真空压力传感器

➄压力传感器/数字真空压力传感器

14.5

5.8 5

26.5

15

46.4

1

8.9

2×ø4.6

33.5

单体式 托架(型号:ZK2-BK1-A)

*托架需另外采购

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法 (集装式) ZZK2 04 A- A 1 L -

➀ ➁ ➂ ➃ ➄

记号 内容

单独配线

无

D-sub插座

(25针)

扁平插座

(26针)

L

F*

P**

N

➃配线方式

记号 真空系统形式 接管口径

P PV共通:ø8

PS共通:ø6

A

➁真空系统及组件端口

真空泵系统

真空发生器

系统 PV共通:ø8

记号 组件位数

01 1个

02 2个

··· ···

10 10个

➀组装集装个数

记号 排气形式

2 真空泵系统

1 真空发生器

2 系统

无消声器(ZK2Q00配用)

排气消声器在集装板两侧(ZK2C配用)

无消声器(单独排气)(ZK2H配用)

➂排气方式

单独配线

D-sub插座

扁平

插座

无记号 无

DIN导轨式

真空供给口

共通(PD)

单独给供气

B

D

L

➄任选项

DIN导轨式

安装

共通PD口

单独

PV口

* D-sub连接电线3m长，型号 : AXT100-DS25-030 ** 扁平连接电线3m长，型号 : AXT100-FC26-3

以上需另外采购

0

10

20

30

40

50

60

200 2000 20000

噪音水平 [dB (A)]

频率[Hz]

ZK2A07

ZK2G07 (通孔式消音器)

(消音器内藏)

2,000~20,000Hz的

降低高频域

ZK2G系列

高消音消声器

46dB※(A) 最大提升20%

排气使其直接对大气排放

能发挥最大真空性能且删除

不愉快的音频

低噪音 吸入

流量

新

※喷嘴ø0.7时

5-2

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款真空发生器组合 ZK2A 系列

33.5 6

89

80.9

76.8 B 2000

82.9 79

57.6 27.5 19.4 30

4 15 1.2 104

16.5 38.5

A

E 1, 3

S

LED表示

G

ZK2 LAA/E

K

R A

G

A C

06 ø6 8.25 4

08 ø8 11.4 6

B

06 ø6 9.7

PV孔型

手动操作

(供给阀)

手动操作(破坏阀)

2×ø4.5安装孔

10

全开时

真空

过滤器

5

45.9 37.4 8.4 3.5

(PV)孔

E

33.8

排气口

高消音

消音器外壳

高消音消音器排气时

破坏流量

调整针阀

真空

(V)孔

空气压

供给

C六角对边

V孔型

插座端子

按键(SET)

表示(红)

表示(绿)

按键(UP)

按键(DOWN)

OUT2

OUT1

真空发生器系统、单体、带供给阀

破坏阀、真空压力传感器

带节能真空

压力传感器

带真空

压力传感器

真空

过滤器

10

4 15

300

82.9 79

3000 38.7 19.4 27.5

80.9

76.8

2×ø4.5

E 1, 3

94.2

16.5 38.5

A

33.5 6

B

G

ZK2 LA- A

G K

R P

T

B

06 ø6 9.7

手动操作

(供给阀)

手动操作(破坏阀) 9.9

安装孔

全开时

A C

06 ø6 8.25 4

08 ø8 11.4 6

V孔型 PV孔型

45.9 37.4 8.4 3.5

5

PV

高消音消音器排气时

E

33.8

排气口

高消音

消音器外壳

破坏流量

调整针阀

空气压

供给

孔

C六角对边

真空

(V)孔

真空发生器系统、单体、带供给阀及

破坏阀、压力传感器 带压力传感器

单体式

外形尺寸图 (毫米)

ZZK2 A- L P

A

单独配线(集装式)

真空发生器系统、真空泵系统、单独配线(集装式)、带供给阀及破坏阀、无压力传感器及数字真空压力传感器

D 1 2 3 n U

C

D

33.8

M3

54.8

2.6

1

A 54.8

-B

79

84

3.8

10

1.3

76.7

10

35

32

4×M4

88.870

PD

15 33

82.987.962 53

37.4 26.4

EXH

n−1 ×15

45.9 38

L4

L3

L2

1.5 L1

4.6

5

5.5

5.3

L5

L6 5.5

10.5

12.8

3.5

10.5

8.4

B

300

E

mm

A B C D

06 8.3

08 11.4

4 9.7 8.7

6

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

L1 30 45 60 75 90 105 120 135 150 165

L2 45 60 75 90 105 120 135 150 165 180

L3 56.8 71.8 86.8 101.8 116.8 131.8 146.8 161.8 176.8 191.8

L4 67.5 82.5 97.5 112.5 127.5 142.5 157.5 172.5 187.5 202.5

L5 62.5 75 87.5 112.5 125 137.5 150 162.5 187.5 200

L6 73 85.5 98 123 135.5 148 160.5 173 198 210.5

孔型 位置

DIN导轨式安装

全开时:

手动操作(供给阀)

手动操作(破坏阀)

2 x 共通先导

压力供气(PS)孔

可选项记号

安装孔

DIN导轨固定螺丝

(选择可选项-B时)

先导压力排气孔

真空泵系统PE孔

高消音消声器 PS及PD孔尺寸

单独排气孔

共通供气(PV)孔

2 x ø8 破坏流量调整针阀

2 x 共通供气

孔

2 x 共通供气

孔

EXH 孔

n x 单独排气

n x 真空(V)孔

(内置过滤器)

(真空发生器系统) (真空泵系统)

5-3

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

N.O. 规格可以在电源不通电或者

突然断电状态下，保持真空*1。

■ 防止工件突然跌落

*1 假设供给压力一直保持供给

时间图

吸入指令信号(FUNC)

节能控制 一般真空

断电/关机

节能控制*1 真空规格

节能

控制

压力开关输出

(OUT1)

大气压

实际吸力 真空口压力

可达到的真空压力

节能ON/OFF操作 P_1 H_2 H_1

OFF

ON

OFF

ON

打开

关闭

先导式供给阀：打开

先导式供给阀：关闭

*1当电源再次打开时，以及启动节能控制和开关输出(OUT1)时，大约有1秒钟

的时间延迟的时间间隔。

请参阅左边的时间图表以获得详细信息。

单体式

集装式

供给阀N.O.规格

带节能功能的

真空压力开关

先导式供给阀

(节能控制P:OUT2)

➊ ➋ ➌ ➍ ➎ ➏

➋

07 ø0.7

10 ø1.0

12 ø1.2

15 ø1.5

12

12

06

06

ZK2

ZK2

X188

X211

A

C

K

K

W

W

A

A

5

5

MO

MO

Z

Z

➏

B

D 孔

➏

L

P

➊

A 消音器排气

高消音

G 消音器排气

C

H

高消音

消音器排气

➍

W

➎

06 ø6

08 ø8

➌

K

R

消音器

V

系统·本体形式

集装式

单体式

记号

记号

记号

系统 本体规格 排气形式 内藏

单体

产生器

系统

复合排气注1)

底座用

附消音器

附消音器

额定电压注4 M形插头插座、 、 无插座

指示灯·附突波电压保护回路

喷嘴公称直径

真空用数位压力开关规格

记号

记号

记号

记号

内容

内容

种类 规格 压力范围

系统

系统

公称直径

真空产生器注3)

注3)

附省能源功能

真空用数位

压力开关

附单位切换功能

附单位切换功能

NPN

1输出

PNP

1输出

注4) 选配记号，复数时以英文字母顺序并记。

另外功能，用途的详细请参照网页WEB目录。

注5) PD孔尺寸只有M3。请用外径ø6.2以内的快速接头或倒钩接头配管。(推荐: M-3AU-4)

注6) 请选择底座用本体。另外,底座型式也请选择 共通SUP与个别混搭时,请另外洽询本公司。

注7) 底座的选配选择 时,单体型式的选配,请选择 。

选配的规格 注4) (单体)

无记号

无记号

无选配

无选配

单体用托架附1个 附本体安装螺栓

附个别破坏压力供给 注

底座个别SUP规格 注

共通破坏压力供给 孔附注

真空用数位压力开关插座规格

压力开关用插座附导线

附省能源功能开关

附专用导线

规格

公厘尺寸

口径

快速接头

快速接头

注3) 单体的供给(PV)孔，选择公厘尺寸时为ø6

附省能源功能

真空用产生器

压力开关

标准供给压力喷嘴径

07~12: 0.35MPa

15 : 0.4MPa(ZK2□-X188)

0.45MPa(ZK2□-X211)

注 选配的规格(底座用)

5

6

7

3

型号表示方法

注1) 复合排气为从底板集合排气与各连直接排气的组合排气方式。

-100

100

~

。

真空发生器(供给阀 : N.O.)

ZK2-X188/ZK2-X211系列

RoHS

真空(V)孔

供给阀 破坏阀

注4) 供给阀·破坏阀的额定电压

5-4

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

真空发生器 ZK2-X188/ZK2-X211系列

ZZK2 04 A 1 L X211

➋系统(孔组合)

系统 孔 规格

A 产生器

系统 共通PV：ø8 公厘尺寸

➊连数

记号

记号

连数

01 1连

10 10连

➍选配注4)

无选配

B 附DIN导轨安装用金具注6）

D 共通破坏压力供给(PD)孔附注7）

L 底座个别SUP规格注8）

注4）选配记号,复数选择时请以英文字母顺序并记。

注5）DIN导轨为别途订购 。

注6）DIN轨道安装时请选择「-B」。

注7）底座型式选择「-D」时、产生器系统单体型式

的选配请选择「-P」。

注8）单体型式的➏选配选择「-L」个别SUP规格时,

底座也请用「-L」指定。

➌排气方法

内容 内容

1 产生器系统／复合排气注1）, 注3）

2 产生器系统 注2）

（高消音消音器排气）

注1）单体型式的

单体型式的

系统・本体型式）

系统・本体型式）

请选择

请选择

C。

从底板的排气,各连的排气口也做排气。

注2） H。

注3）复合排气与底板的集合排气与各连的直接

排气的组合排气方式。

➋ ➌ ➍

个别配线规格

…

…

记号 记号

无记号

ZZK204-A1L-B-X211

ZK2C10A5MOZKW-08-X211

ZK2C12A5MOZKW-08-X211

1 2 3连数 D侧 U侧

底座组合的表示方法(订购例)

· V孔朝正面,左侧(D侧)算来为第1连。

· 底座型号下面,请以搭载单体第1连依序计入。

· 真空产生器系统,复合排气与个别孔排气无法混搭。

· DIN导轨请另外订购。

注）标准品底座用单体可混合搭载(标准品底座上,ZK2□-X211底座用单体侧则无法

ZZK204-A1L-B-X211・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1se（t 底座型号）

ZK2C10A5MOZKW-08-X21 1・・・・・・・・・・・3se（t 喷嘴公称直径：ø1.0）

ZK2C12A5MOZKW-08-X21 1・・・・・・・・・・・1se（t 喷嘴公称直径：ø1.2）

表示例

混合搭载。)

产生器规格

型号 项目

ZK2□07-X188 ZK2□10-X188 ZK2□12-X188 ZK2□15-X188

ZK2□07-X211 ZK2□10-X211 ZK2□12-X211 ZK2□15-X211

喷嘴径 [mm] 0.7 1.0 1.2 1.5

最大吸入流量注）

孔排气 [L/min（ANR）] 34 56 74 89

消音器排气 / 复合排气 [L/min（ANR）] 29 44 61 67

高消音消音器排气 [L/min（ANR）] 34 56 72 83

空气消耗量注） [L/min（ANR）] 24 40 58 90

最高真空压力注） [kPa] — 91

供给压力范围 [MPa] 0.15~0.6

标准供给压力 [MPa] 0.35 0.4(X188时）

0.45(X211时）

108.2

83.5 B

（15.5）

103.4

（2000）

22.2 63.7

57.6

15

9.9

1.1 104

六角对边

C

10

45.9 37.4 8.4

3.5

27.5 19.4

16.5 38.5

A

3.8 37.9

H

E 排气口注8）

G注6） G注6）

-

OUT1表示(绿)

注5）

F

真空(V)孔

空气压供给

（PV）孔

LED表示

插座端子

注4)

E注2）

破坏流量调

整针阀

2×ø4.5安装孔注7）

高消音消音器排气时

（本体型式：G）

M3

F（2：1）

PD孔时

A

33.8

V孔尺寸

V孔型 A B C

公厘

尺寸

06 ø6 8.25 9.7 4

08 ø8 11.4 6

注1）本图所示为ZK2A□A5MOZ□W-□-□-X188。

注2）消音器排气时、从两侧面切口处排气。

。

(单侧请务必开放)

注3） 、 。

。

注4）

注5）喷嘴径12、 15附排气口

注6）G所示的箭头方向请不要施加外力。

注7）使用2× ø4.5安装孔做产品组装时,推荐使用

M4的螺帽,锁紧扭力0.73~0.75N· m。

注8）排气空气的逆流，

为故障的原因,因此排气口请不要塞住

表示

键

键

键

高消音消音器外壳

全开时

真空过滤器 孔排气时

托架安装的尺寸，请参目录。

由快速接头处排气

手动操作(供给阀) 手动操作(破坏阀)

底座型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

➊

➊（

➊（

5-5

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

真空发生器 ZK2-X188/ZK2-X211系列

－ － －

高消音消音器排气时

（本体型式：H）

（选配记号：-L）

PD

：-D

D 连数 1 2 3 U

C

D

SUP（PV）孔

：ø6

PS孔

公厘尺寸：ø6

公厘尺寸 公厘尺寸

公厘尺寸

C

：ø6

106

62

53

37.4

45.9

26.4

8.4

B

破坏流量调整针阀

× SUP（PV）孔注4）

注6）

2× （PV）孔

：2 × ø8

2× （PD） 注3）

×

（EXH）孔

2×

（EXH）孔注1）

真空（

（

V）

）

（ ）

孔

24.7

10 ：

10

（54.8） A

25.2 1.1

3.8 57.6 L1

L2

L3

L4

5.5

5

4 × M4用安装孔

88.8

70 12.8

10.5

（5.3）

（L6）

（L5）

（选配

共通气引导压

共通供给

共通供给 孔

个别排气口

-B选择时） 5）

2 ×

（PS）孔注4）

32

（35）

（5.5）

4.6 1.5

E

排气口注2）

33.8

注4） 注3）

底座尺寸表 （mm）

连数 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

L1 30 45 60 75 90 105 120 135 150 165

L2 45 60 75 90 105 120 135 150 165 180

L3 56.8 71.8 86.8 101.8 116.8 131.8 146.8 161.8 176.8 191.8

L4 67.5 82.5 97.5 112.5 127.5 142.5 157.5 172.5 187.5 202.5

L5 62.5 75 87.5 112.5 125 137.5 150 162.5 187.5 200

L6 73 85.5 98 123 135.5 148 160.5 173 198 210.5

孔尺寸 （mm）

V孔型 A B（六角对边） C D

公厘尺

寸

06 ø6 8.3 4 9.7 8.7 08 ø8 11.4 6

注1）

注2）

注3）

（公厘尺寸：ø6 ）

（公厘尺寸：ø6 ）

注4）个别SUP规格（记号：-L）选择时。

注5）底座用DIN轨道固定,在底座制品型号上,需要选择选配。

注6）

手动操作(供给阀)

手动操作(供给阀)

个别排气

集合排气

DIN轨道夹紧螺丝

注

侧 侧

内藏过滤器

个别

个别

个别

共通破坏压力供给

孔附的尺寸 孔附的尺寸

选配记号

全开时

高消音消音器排气时，没有排气口。

排气空气的逆流，是故障的原因，排气口请不要塞住。

只限附共通PD选配(记号:-D)选择时。

复合排气规格的时,除集合排气,也会从各连的个别排气口排气。

外形尺寸图 (毫米)

5-6

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

特点 :

1. 高速响应： 阀响应时间 5ms，真空响应时间 28ms，

真空破坏响应时间 14ms。

2. 维修方面： 无螺丝拆卸滤芯，十分方便。

真空泵系统

真空发生器系统

ZB 00 2 0 K1 5 L P1 C4

ZB 04 1 1 K1 5 L P1 C4

供气阀／真空破坏阀电线导出方式

L型插座带300mm长导线

(带指示灯及过电压保护回路)

M型插座带300mm长导线

(带指示灯及过电压保护回路)

注3) M选项不适用于真空压力开关及压力传感器上

注3)

L

M

无记号 非锁定推压式

锁定式 (要使用工具)

半标准

手动操作

注4) 线圈锁定型只适用于锁定式

注4) B

带真空

过滤器

带真空

过滤器

直头 ø2 快速插头

直头 ø4 快速插头

弯头 ø2 快速插头

弯头 ø4 快速插头

真空口 (V)

C2

C4

L2

L4

带插头连电线插头盖，线长2m

真空压力开关用插头带电线

G

记号 供气阀 真空破坏阀

适合真空系统形式

真空发生器 真空泵

供气阀／真空破坏阀组合表

线圈锁定型

常闭

常闭 常闭

无

常闭

线圈锁定型 无

注2)

*

*

* 直接连接大气来破坏真空

注2) 线圈锁定型只适用于喷咀直径ø3及ø4

*

注2)

PV = PD PV ≠ PD PV = PD PV ≠ PD

K1

J1

Q1

Q2

(+ COM)

(+ COM)

记号 真空发生器形式

单体

单体

汇流板用

无区别

共用一个接气口

单独接气

接气口规格

真空发生器形式

1 PV, PD

PV, PD

PV PD

PV/PD

(PV = PD)

(PV ≠ PD)

2

3

线圈锁定型 大流量

适用供气阀类型及标准供气压力

(N.C.)

喷咀

口径

注1)

注1) 仅限于真空泵系统。

喷咀口径

00

03

04

05

06

ø0.3

ø0.4

ø0.5

ø0.6

(0.35 MPa)

(0.35 MPa)

(0.35 MPa)

(0.5 MPa)

(0.4 MPa)

(0.45 MPa)

额定电压

5

6

24 VDC

12 VDC

型号 ZB1-PS1-A(PSE541)

额定压力范围

耐压试验压力

输出电压

输出阻抗

电源电压

消耗电流

精度

直线性

重复精度

受电源电压的影响

温度特性

0 ~ −101kPa

ZB1-PS3-A(PSE543)

−100 ~ 100kPa

DC1~5V

约1kΩ

DC10 ~ 24V±10%、波动(p-p) 10%以下

15mA 以下

±2%F.S.(但环境温度25℃时)

±0.4%F.S. 以下

±0.2%F.S. 以下

±0.8%F.S. 以下

±2%F.S.以下(环境温度25℃基准)

500kPa

型号 ZB1-ZSE□□□-A(ZSE10)

额定压力范围

设定压力范围／指示压力范围

耐压试验压力

设定最小单位

电源电压

消耗电流

开关输出

0 ~ −101kPa

10 ~ −105kPa

ZB1-ZSF□□□-A(ZSE10F)

−100 ~ 100kPa

−105 ~ 105kPa

500kPa

0.1kPa

DC12 ~ 24V±10%、波动(p-p) 10%以下(带逆接保护)

40mA 以下

NPN或PNP开路集电极2输出(选择)

80mA

28V(NPN输出时)

2V以下(负载电流80mA时)

2.5ms以下(防止振荡功能时 : 可选择20, 100, 500, 1000, 2000ms)

装备

±0.2%F.S. ±1digit

从0可变注1)

3 1/2位数 7段LED 1色显示(红)

±2%F.S. ±1digit (环境温度25±3℃时)

开关ON时灯亮　OUT1: 绿　OUT2: 红

注1) 施加压在设定值附近变动的场合，未设定变动幅度以上的迟滞则会发生振荡。

重复精度

迟滞

指示方式

指示精度

动作指示灯

最大负载电流

最大施加电压

残留电压

响应时间

短路保护

迟滞模式

上下限比较模式

真空用压力传感器／ZB1-ZS□□□□-A (详见ZSE/ISE10系列及使用说明书)

供给阀形式

喷嘴径　 mm

供给压力范围注1) MPa

标准供给压力　 MPa

空气消耗量　 L/min(ANR)

最大吸入流量　L/min(ANR)

最高真空压力　 kPa

型号

真空发生器规格注1)

注1) 此值是代表值，根据大气压(天气气候、标高等)会有变化。

注2) 带压力传感器·真空用压力开关使用的场合，最高使用压力是0.5MPa。

ZB03

大流量型

(N.C.) 锁定型

0.3

2

−86

0.35

3.5

0.4

4

0.4

3.5

0.35

6.5

ZB04 ZB05

大流量型

(N.C.) 锁定型 大流量型

(N.C.)

0.5

0.35

10

4.5

ZB06

大流量型

(N.C.)

0.6

0.3 ~ 0.55

0.5

18

7

0.2 ~ 0.55

0.45

8.5

−90

型号表示方法

小型真空发生器组合

ZB系列

RoHS

压力传感器／ZB1-PS□-A

传感器规格

真空泵

系统用

(无消声器)

无排气口

排气口

消声器排气 排气方向

(单独排气)

排气口排气

(单独排气)

排气方式

0

1

2

压力传感器／真空用压力开关规格

无记号

记号 种类 压力范围 [kPa]

0 ~ -101

0 ~ -101

-100 ~ 100

-100 ~ 100

规格

注5) 压力传感器线长3米 注6) 固定单位：kPa

注5) 压力传感器 输出：1 ~ 5 V，精度：±2% F.S. 以下

输出：1 ~ 5 V，精度：±2% F.S. 以下

真空用压力开关

NPN 型

双输出 带单位转换功能

带单位转换功能

带单位转换功能

带单位转换功能

NPN 型

双输出

PNP 型

双输出

PNP 型

双输出

P1

P3

EA

EB

FA

FB

无记号

托架

单体用

安装托架

(同时出货，

但未组装)

无选项

可选项

螺丝刀操作

破坏真空用

调整螺钉 注7)

B

K

注7) 标准带有手动破坏真空用调整螺钉(不需要工具)

5-7

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

1 mm

B

A B

A 10 26.7 43.1

88.5

0.838.1

2 x ø2.1 2 x ø2.1

(7.7) (30) (12) 4.2

39 5.6

1 mm

5.639

2.8

60.8

5 98.3

36.5 43.1

1.2

0.8

6.4

10

43.4

2.8

5

43.4

1* 2*

1* 2*

*1虚线代表线圈锁定型及手动锁定式

*2虚线代表手动锁定式

ZB 10

11

J1 L ZB Q2 M

10

11

20

K1 L

Q1 M

21

ZB L P G

10

1

3

11

20

K1

Q1

21

ZB L

10

11

20

K1 E

Q1 F

21

小型真空发生器组合ZB系列

外形尺寸图 (毫米)

真空发生器／真空泵系统

有消声器排气／供气阀及真空破坏阀／

无真空压力开关

真空发生器／真空泵系统

只有消声器排气及供气阀／

无压力开关

真空发生器／真空泵系统

有消声器排气及供气阀和破坏阀／

带压力开关

真空发生器／真空泵系统

有消声器排气／供气阀及

真空破坏阀／带真空压力开关

手动操作旋钮

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

92.6

96

96.9

96.8

B 接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

103.6

107

107.9

107.8

B

破坏真空用供气阀(PD)

消声器外盖

(可拆下)

空气压供给(PV) 真空压供给

M5螺纹深度为4

M5螺纹深度为4

1

22.7 10

破坏真空用供气阀(PD)

消声器外盖(可拆下)

空气压供给(PV) 真空压供给 M5螺纹深度为4

M5螺纹深度为4

1

32.5 10

排气口设置

于墙面时

真空口 (V)

以上

排气口设置

于墙面时

真空口(V)

以上

插头端

输出(OUT2)

输出(OUT1)

S 按钮(SET)

按钮(UP)

按钮(DOWN)

LED表示

显示(红色)

显示(绿色)

供气阀 破坏真空用流量调整旋钮

真空过滤器

排气口

真空破坏阀

安装孔

全开时 ( : 42.4)

大气开放口

(3000: 引线长)

(300: 引线长)

供气阀

破坏真空用流量调整旋钮

真空过滤器

排气口

真空破坏阀

安装孔

全开时 ( : 42.4)

大气开放口

(300: 引线长)

51.4

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

78.5

81.9

82.8

82.7

B

1*

10

1.3

11.3 43.1

38.7 5.1

2 x ø2.1 1 mm

73.1

B

A

4.7

0.811.343.4 37.4 3.539 5.6 2.2 2.8

5

2*

*1虚线代表线圈锁定型及手动锁定式

*2虚线代表手动锁定式

手动操作旋钮

大气

开放口

排气口设置

于墙面时

供气阀 破坏真空用流量调整旋钮

破坏真空用供气阀 (PD)

消声器外盖 (可拆下)

空气压供给(PV) 真空压供给 M5螺纹深度为4

M5 螺纹深度为 4

7.3

1

10

真空过滤器

真空口 (V)

以上

排气口

真空破坏阀

安装孔 全开时 ( : 42.4)

(300: 引线长)

37.3 1.8

1.8

手动操作旋钮

61.2 1.8

2 x ø2.1

1.3

4.7

10

0.811.3

1 mm

39 5.6

11.3 43.1

38.7 5.1

73.1

B

A

2.8

43.4 37.4

3.5 2.2

5

1* 大气

开放口

排气口设置

于墙面时

供气阀

消声器外盖 (可拆下)

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

78.5

81.9

82.8

82.7

B

(PV) 空气压供给

真空压供给

M5螺纹深度为4

7.3 1

破坏真空用流量调整旋钮

真空过滤器

以上

排气口

安装孔

真空口 (V)

全开时 ( : 42.4)

(300: 引线长)

手动操作旋钮

37.3 1.8

汇流板型号选择

真空口 (V)

共同正压供气口 (PV)

(PV = PD)

ZZB

选择单体的时候，请参照\"真空发生器形式\"一样中的 1 和 2。

选择汇流板的时候，先选择汇流板型号，再参照 “真空发生器

形式” 一样中的 3 选择真空发生器在单体型号前加 “*” 号表示

汇流板与真空发生器将组装后出货。

单体

汇流板

例)

产品选型的方法

ZB0411-K15L-P1-C4

汇流板式真空发生器最多可同时动作个数

真空发生器

供气阀类型

单侧供气

单侧供气

两侧供气

两侧供气

正压供气口(PV)

线圈

锁定型

大流量

(N.C.)

大流量

(N.C.)

大流量

(N.C.)

大流量

(N.C.)

线圈

锁定型

ZB03

Rc1/8 12

12

12

12

10

10

10

8

12

10

M5 x 0.8

例) ZZB04-S01M5 ZB04 ZB05 ZB06

Ex * ZB0531-K15L-P1-C4 4

1

ZB0531-K15L-P1-C4

08 S 01 M5

不可安装压力传感器／真空用压力开关

无 PD 口 (PV = PD)

M5 x 0.8 (PV ≠ PD)

可安装压力传感器／真空用压力开关

无记号

无记号

真空发生器个数 可安装压力传感器/真空用压力开关

共用正压供气口(PV)的接管口径 共用真空破坏阀(PD)接口

个

个

个

01

01

M5 M5

S

Rc1/8

M5 x 0.8

02

12

1

2

12

真空口 (V)

共同正压供气口 (PV)

共用真空破坏口 (PD)

(PV ≠ PD)

5-8

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

小型真空发生器组合ZB系列

外形尺寸图 (毫米)

(mm)

L

29

21.6

39.2

31.8

49.4

42

59.6

52.2

69.8

62.4

80

72.6

L1

1 2 3 4 5 6

L2

n

L

90.2

82.8

100.4

93

110.6

103.2

120.8

113.4

131

123.6

141.2

133.8

L1

7 8 9 10 11 12

L2

n

真空发生器／真空泵系统

消声器、供气阀／破坏阀

带压力开关、PV, PD 单独供气 (PV ≠ PD)

ZZB -S

ZB 3 L P

01

0 K1

1 Q1

1

3

M5 M5

*

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

92.6

96

96.9

96.8

B

ZZB -S

ZB 31-Q1 L P1

3

M5

ZZB -S

ZB0030-K1 L P1

3

M5

*

*

大气开放口

大气开放口 大气开放口

大气开放口

压力开关

压力开关 压力开关

真空发生器／汇流板

真空泵系统／汇流板

压力开关

供气阀

破坏阀

供气阀

破坏阀

供气阀

破坏阀

供气阀

破坏阀

PV

PD

PV

PD

PV

PD

PV

PD

EXH

V

V V

V

EXH

D 侧 个数 1 n U 侧

D 侧 个数 1 n U 侧

11.6

3.7

B88.5 A

51.4

28.6

大气开放口

D侧 个数 1 2 3 4 n U侧

供气阀

破坏真空用供气孔(PD)

真空压供气

正压供气 (PV)口

2 x 1/8, M5螺纹深5

2 x M5螺纹深5

38.1

6

5.8

18.3

5.6

14.5 10.2

(n-1) x 10.2

12.8

真空口 (V)

手动操作旋钮

破坏真空用流量调整旋钮

真空破坏阀

2 x ø3.2 L1

L2 安装孔

27.8

32.4

43.4

排气

39 (全开时: 42.4)

(300: 引线长)

(3000: 引线长)

(mm)

L

29

21.6

39.2

31.8

49.4

42

59.6

52.2

69.8

62.4

80

72.6

90.2

82.8

100.4

93

110.6

103.2

120.8

113.4

131

123.6

141.2

133.8

L1

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

L2

n

真空发生器／真空泵系统

带消声器、供气阀／破坏阀

带真空压力开关、PV, PD 单独供气 (PV ≠ PD)a

ZZB -S

ZB 3 L

01

0 K1

Q1

E

1 F

M5 M5

*

破坏阀 破坏阀

PV

PD

大气开放口

供给阀 供给阀

V

真空用压力开关

大气开放口

真空用压力开关

V

PV

PD

ZZB -S

ZB 31-Q1 L E

F

M5

*

真空发生器／汇流板

D 侧 个数 1 n U 侧

破坏阀 破坏阀

PV

PD

大气开放口

V

真空用压力开关

大气开放口

真空用压力开关

V

PV

PD

供给阀 供给阀

ZZB -S

ZB0030-K1 L E

F

M5

*

真空泵系统／汇流板

D 侧 个数 1 n U 侧

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

103.6

107

107.9

107.8

B

11.6

(7.7)

6.4

10

插头端

输出 (OUT2) 输出(OUT1)

S 按钮 (SET)

按钮 (UP)

按钮 (DOWN)

LED 显示

显示 (红色) 显示(绿色)

2 x ø3.2

3.7

(30)

(12)

60.8

5.8

18.3

6

4.2 1.2 38.4 61.2 98.3

C

L1

L2

A

B

手动操作旋钮

D侧 个数 1 2 3 4 n U侧

大气开放口

供气阀

破坏真空用流量调整旋钮 破坏真空用

供气孔 (PD)

真空压供气

正压供气(PV)口

2 x 1/8, M5螺纹深5

2 x M5螺纹深5

27.8

32.4

43.4

5.6

14.5 10.2

(n-1) x 10.2

12.8

真空口 (V)

排气

真空破坏阀

安装孔

39 (全开时: 42.4)

(300: 引线长)

真空发生器

带消声器、供气阀／真空破坏阀

无压力开关／真空压力开关

PV, PD 共同接口 (PV = PD)

ZZB

ZB 31 K1 L

Q1 M

01

M5

*

ZZB

*ZB 31-K1

真空发生器／汇流板

D侧

大气开放口 大气开放口

供气阀

破坏阀

供气阀

破坏阀

PV

EXH

V

EXH

V

PV

个数 1 n U侧

接口类型

(mm)

A

C2

C4

L2

L4

4.1

7.5

8.4

8.3

78.5

81.9

82.8

82.7

B 11.6

5.6

14.5 10.2

(n-1) x 10.2

12.8

真空口(V)

2 x ø3.2

3.7 1.3

B73.1

L1

L2

A

36

13.2

手动操作旋钮

D侧 个数 1 2 3 4 n U侧

安装孔

大气开放口

供气阀

破坏真空用流量调整旋钮

正压供气口(PV)

2 x 1/8, M5 螺纹深 5 6

5.8

27.8

32.4

37.4

43.4

排气

真空破坏阀

39 (全开时: 42.4)

(300: 引线长)

(mm)

29

21.6

39.2

31.8

49.4

42

59.6

52.2

69.8

62.4

80

72.6

90.2

82.8

100.4

93

110.6

103.2

120.8

113.4

131

123.6

141.2

133.8

L1

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

L2

L n

5-9

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

薄型真空发生器组合

ZQ系列

RoHS

[选项]

ZQ1 07 1U K1 5 L

05

07

1.0

N.C.

(DC1W)

(DC0.5W)

N.C.

N.C.

N.O.

N.O.

N.C.

N.C.

ø1.0

ø0.7

ø0.5

[真空发生器组件] EA G

无记号

单向阀

K 带单向阀

无

无记号

真空压力传感器

导线规格

供给阀

锁定型+COM

锁定型+COM

标准型

低功率型

破坏阀

无

无

无

电源电压

手动操作方式

功能

[集装式] ZZQ1 08 B S B

B 无(气从P口进)

回路图(单体式)

与P口二选一

真空破坏供气口(PD口)

S C

B

F -

V

- EC

EE

FC

FE

ZQ1 1U □ -K1□5

6□□- □□ -□□ □□ □□ □□

EA

EB

FA

FB

P

V

P

V

EXH

PE

P

最多同时动作位数

喷嘴孔径

两侧

最多位数

供给通口位置

*同时动作的场合，根据喷

嘴孔径大小，最多集装位

数是不同的。

排气规格

带消声器(两侧)

01 1位

08

ø0.5

ø0.7

ø1.0

8位

8位

6位

4位

位数

单体用带消声器

集装用带消声器

导线引出方式

G 插头带

导线(2m)

无插头

EC

EA

FA

F

FC

数显式真空压力传感器及真空过滤器规格

接头(V口)

0

2

3

5

无接管(M5x0.8)

ø4(直通)

ø6(直通)

ø4(弯头)

符号 适用管子外径

VVQ1000-50A-M5

VVQ1000-50A-C4

VVQ1000-50A-C6

VVQ1000-F1-LC4

型号

真空压力开关

接头(P口)

0

2

3

5

单个

单元

无接头(M5x0.8)

ø4(直通)

ø6(直通)

ø4(弯头)

符号

无记号

型号

汇流板

适用管子外径

无接口

无记号

托架

无托架

带托架

N*

*如只带真空过滤器(F), 在P口及V口都不带接头时，

必需选择“无记号”或“-00”。

*另有PNP式，请联系SMC。

CE规格

无记号

CE规格

*CE只限DC电压

*适用排气形式“1U”选择

无

Q

注)另有100、110、

200、220VAC

可供选择，请

联系SMC.

注3) 请尽量避免长时间用，

如需要，请选用低功率型或锁定型，

但锁定型不能同时供电于A及B线圈。

注4) Y选项只适用于K1及J1。

注1)如选择常通供给阀，请尽量避免长时间通供

(10分钟以上)。

注2)另有锁定型-COM，请联系SMC。

注3)

注4)

0 ~ -101kPa/NPN 集电极2输出, 带真空过滤器

0 ~ -101kPa/NPN 集电极1输出+模拟电压, 带真空过滤器

100 ~ -100kPa/NPN 集电极2输出, 带真空过滤器

100 ~ -100kPa/NPN 集电极1输出+模拟电压, 带真空过滤器

仅真空过滤器

喷嘴孔径

排气形式

电磁阀组合

L形插座式、导线长0.3m,

带指示灯及过电压保护回路

直接出线式、导线长0.3m

(锁定型、AC不可)

L形插座式、无插头、带

指示灯及过电压保护回路

—

KJS04-M5

KJS06-M5

KJL04-M5

1U 仅真空过滤器

3M

K1

Y

L

G

LO

K2

J1

J2

Q1

Q2

记号

无

记号

注1)

注1)

5 DC24V

6 DC12V

无

记号 锁定型 : 推压锁定式

非推压锁定式、

锁定式

(Q1/Q2/N1/N2 : 不适用) B

型号表示方法

10 mm

* 宽10mm，带真空压力传感器

及真空过滤器的单体式是109g。

共同规格

真空压力开关

ZQ1-ZSE(ZSE10)

0 ~ -101 kPa

10 ~ -105 kPa

12 ~ 24 VDC ±10%

NPN/PNP 集电极: 2 输出

80 mA

28V (NPN 输出)

2 V以下(当负载电流为80mA)

2.5ms以下

1 ~ 5 V ±2.5% F.S.

±1% F.S. 以下

大约1kΩ

-100 ~ 100 kPa

-105 ~ 105 kPa

型号 ZQ1-ZSF(ZSE10F)

额定压力范围

设定压力范围

电源电压

开关输出

最大负载电流

最大施加电压

残留电压

响应时间

模拟

输出

电压

输出

输出阻抗

输出额定

直线性

-80kPa

30μm

ZQ105

0.5

5

14

ZQ107

0.7

10

23

0.35MPa 0.43MPa

ZQ110

1.0

22

46

0.3 ~ 0.5MPa

5 ~ 50°C(未冻结)

型号

喷嘴孔径(mm)

最大吸入流量ℓ/min(ANR)

空气消耗量ℓ/min(ANR)

最高真空度

供给压力范围

标淮供给压力

使用温度范围

真空过滤器过滤精度

5-10

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

外形尺寸图 (毫米)

集装式

单体式 : K1型 (带真空压力开关)

A部分

3.5 5.5 本体安装孔） (

真空压力开关

附属垫圈 附属垫圈

真空过滤器

8.5

81

(60.1)

*9

63.6 68.9 带L形插座式 ( )

107.5

111

76.8

(3.7)

V

SMC SMC SMC

真空口(V口)

(M5)

*是安装脚座时的尺寸

集装位数n

(mm)

42

26

L2

L1

1

52

36

2

62

46

3

72

56

4

82

66

5

92

76

6

102

86

7

112

96

8

左 右

2110

8.9 10.2

L2L1

PE

PE P

P

A B

0

A

0

B

A

2 x ø3.5

(本体安装孔）

供给阀

破坏阀

共通先导排气口(PE口)

(快换接头: 适用管子直接 ø4)

(快换接头: 适用管子直接 ø8)

共通空气压供给口(P口)

排气口

13间距 ( ) P = 10

(R)

8

3 75

13.2

28.8

62.8

薄型真空发生器组合 ZQ 系列

破坏流量

调节螺钉

1U-K1□ □□- □□

P

PE

空气压供给口(P口) 注)

注) 使用KJ系列的快换接头

时,确认各配管的间距不

存在干涉后再使用

*号的尺寸是安装托架A时

的尺寸

M5

先导排气口(PE口)

M3

ZQ1 5

6

(直接出线式)

10

0.8 *3 20.329.4

*30.5

(300) (55.3)

*79.3

SMC

4 x ø3.5

安装孔

托架 A (标准)

供给阀 破坏阀

带( L型插座式)

破坏流量调整螺钉

排气部

真空过滤器 真空压力开关

真空口(V口)

(M5)

*23

*32

*33 *25

*17.6

*13.1

62.8

17.7 22.8 3 20.2

2 x ø3.2 通孔

(本体安装孔） (63.1)

107.5 (3.7) 69.4 76.3

8.4

ZZQ1 - BSB

回路图

※ZQ1 3M-K1 -D 的场合 ※ZQ1 3M-K2 -D K的场合 ※ZQ1 3M-J1 -F的场合 ※ZQ1 3M-Q1 -FK的场合

P P

EXH

PE

P

V V V V

EXH

PE

P

5-11

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

大型真空发生器组件

ZR系列

RoHS

[选项]

*适合抓起0.5 ~ 5kg的工件 **模块化设计 : 按需要的那个可自由选择组合

喷嘴组件mm

最大吸入流量

/min(ANR)

空气消耗量 /min(ANR)

最大真空度

排气形式

基本规格 真空发生器系统

构成元件 特性

真空发生器单元

ZR1-W

阀单元

ZR1-V

真空压力传感器单元

ZSE2-0R-15/55

ZSE30A-00-□-□□□

真空过滤器单元

ZR1-F

功能板

ZR1-RV

构成元件

功能

使用控制阀

线圈电压

设定压力范围

迟滞

供应电压

使用压力范围

过滤精度

滤芯材料

型号

单体式

-0.1 ~ 0.5MPa

30μm

PVF

RV1

RV2

RV3

供气接口

真空吸盘接口

供气阀接口

控制阀接口

破坏阀接口

共同排气接口

外部真空供气口

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/8

M5

M5

Rc1/2

- Rc1/8

0 ~ -101kPa

3%F.S.或以下

DC12 ~ 24V(波动±10%或以下)

供给阀(先导式)，破坏阀(先导式)

N.C. N.O.

电磁阀(双线圈，单线圈)、气控阀

DC3, 5, 6, 12, 24V AC100, 110V(50/60Hz)

1.0

25

44

53

内置消声器、各自排气口、集装板排气

S : -84kPa L : -53kPa

1.3

42

55

86

1.5

63

88

102

1.8

74

105

155

2.0

95

132

194

S型

L型

PV PS PD

PV PS PD

集装式

共同规格

单体式 集装式 单体式 集装式

释放流量调整针/支架一个A, B

锁定螺母 支架 A 或 B

附加 (支架 A 或 B 与真空发生器包在一起.)无

无记号

L

M

N

构成元件

ZR1

ZR1

20 1

20 1

ZR1 20 1

ZR1 1

S

L

S

20 L

10

13

1.0

1.3

15 1.5

18 1.8

20 2.0

手动操作

无记号

B

非锁定推压式

锁式旋具操作式

Z

Z

指示灯·过电压保护回路

无记号 无

Z (仅电磁插头)

S 过电压保护回路

指示灯·过电压保护回路

M

M

S

L

-84 kPa

-53 kPa

最高真空度

真空发生器排气方式

供给阀·破坏阀的组合

*请参考下一页表①

供给阀·破坏阀组合。

喷嘴直径

记号

—

形式 集装式

通口排气

内置消声器

集中排气

电磁阀额定电压

无记号

5

6

V

S

R

D1

D2

气控式

24 VDC

12 VDC

6 VDC

5 VDC

3 VDC

100VAC( Hz)

110VAC( Hz)

50/60

50/60

5

5

导线引出方式

导线长 0.3 m L形

插座式

M形

插座式

直接

出线式

导线长 0.3 m (仅DC适合)

导线长 0.6 m (仅DC适合)

导线长 0.3 m

L

G

H

M

无记号 气控式

数字式真空压力传感器 (ZSE30A) 规格 (D)

AC的场合/没有S式

DC的场合(过电压保护回路)

一旦极性接错，二极管或开关元件

会烧损，要十分注意

—

●

●

●

●

●

—

—

CE- 认证

无记号

Q

—

CE

(仅DC)

真空开关/真空过滤器的组合

无

数字式真空开关 (ZSE30A) + 真空过滤器

真空开关 (ZSE2) + 真空过滤器

真空过滤器

无记号

D

E

F

真空用压力传感器 (ZSE2) 规格 (E)

不用设定

不用设定

单位规格

无记号

M

P

带单位切换功能

仅SI单位固定

带单位切换功能 (初始值Psi)

L

C

CL

真空过滤器规格 (F)

不用设定

导线引出规格

数字式真空压力传感器 (ZSE30A) 规格 (D)

无记号

L

直接/导线 (长 0.6 m)

直接/导线 (长 3.0 m)

插头带导线(长 0.6 m)

插头带导线 (长 3 m)

插头带导线 (长 2 m)

真空发生器

单元

真空发生器

单元

真空发生器

单元

真空发生器

单元

供给阀

N.C.型

供给阀

自我保持型

真空发生器单元喷嘴直径

供给阀·破坏阀的组合

电磁阀额定电压

导线引出方式

指示灯·过电压保护回路

输出规格

真空压力传感器/真空过滤器组合

释放流量调整针/支架一个A/B

导线引出规格

手动操作

单元规格

真空发生器排气方式

最高真空度

真空压力

开关单元

真空压力

开关单元

真空压力

开关单元

真空过滤

无记号

真空压力传感器 (ZSE2) 规格 (E)

真空过滤器 (F)

无记号

无记号

CE认证

输出规格

数字式真空压力传感器 (ZSE30A) 规格 (D)

N

P

A

B

C

D

E

F

NPN 型集电极开路1输出

PNP 型集电极开路1输出

NPN 型集电极开路2输出

PNP 型集电极开路2输出

NPN 型集电极开

路1输出

PNP 型集电极开

路1输出

真空用压力传感器

(ZSE2) 规格 (E)

无记号

55

真空过滤器规格 (F)

不用设定

NPN 型集电极开路1输出 + 模拟电压输出

NPN 型集电极开路1输出 + 模拟电流输出

PNP 型集电极开路1输出+ 模拟电压输出

PNP 型集电极开路1输出+ 模拟电流输出 无记号

无记号

2

1

3

型号表示方法

K1

K2

PV PS PD

5-12

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

表①供给阀/破坏阀的组合

记号

供给阀

电磁阀

双线圈

(SYJ3233-X126)

N.C.

(SYJ3133) (SYJA3130) N.C.

(SYJ3133) (SYJA3130)

气控阀

无阀单元

电磁阀 气控阀

破坏阀

与供给阀共用

与供给阀共用

与供给阀共用

K1

K2

K3

C1

C2

C3

无记号

X

适用 有限度适用

不适用(无自我保持功能)

阀单元机能

动作

停止

真空

吸着

真空

破坏 供给阀 破坏阀

阀单元构成元件

双线圈(SYJ3233-X126)

N.C.(SYJ3133)

N.C.(SYJ3133)

N.C.(SYJ3133)

气控阀(SYJA3130)

N.C.(SYJ3133)

气控阀(SYJA3130)

N.O.(SYJ3133)

气控阀(SYJA3130)

X

X

X

真空发生器

真空发生器规格

的全部组件

真空发生器单元

真空传感器/

真空过滤器单元

无真空压力传感器

带真空压力传感器

带数字式真空压力传感器

阀单元

机能板

(可选件)

双电控

气控

单电控

真空泵规格的完整组件

用途例

显像吸着搬送 薄板吸着搬送 自动送纸机

还有 : 铜板吸着搬送、自动贴标签机、胶合板吸着搬送、小螺钉自动紧固机

大型真空发生器组件 ZR系列

通口排气 内置消声器

组合配件维修备用

最大真空度-84kPa(S:标准型)

型号 喷嘴直径

ømm空气消耗量

/min(ANR)

最大吸入流量

/min(ANR)

ZR1-W10S□

ZR1-W13S□

ZR1-W15S□

ZR1-W18S□

ZR1-W20S□

1.0

1.3

1.5

1.8

2.0

25

42

63

74

95

53

86

102

155

194

最大真空度-53kPa(L:大流量型)

型号 喷嘴直径

ømm空气消耗量

/min(ANR)

最大吸入流量

/min(ANR)

ZR1-W10L□

ZR1-W13L□

ZR1-W15L□

ZR1-W18L□

ZR1-W20L□

1.0

1.3

1.5

1.8

2.0

44

55

88

105

132

53

86

102

155

194

共同规格

供给压力范围

标准供给压力

使用温度范围

标准附件

排气形式

0.2~0.55MPa

0.45MPa

5~50°C

代号1=内置消声器-单体式，集装式

代号2=通口排气-单体式，集装式

托架(ZR1-OBB)

ZR1 W 20 S 1

最大真空度

排气形式

喷嘴直径

S

L

-84KPA

-53KPA

10

13

15

18

20

ø1.0MM

ø1.3MM

ø1.5MM

ø1.8MM

ø2.0MM

1

2

内置消声器

通口排气*

*通口排气的连接口径

Ø1.0~Ø1.5为RC1/4

Ø1.8/Ø2为RC3/8

喷嘴直径/ø1.0,ø1.3,ø1.5mm

ZR1-W10,13,15 真空口V

供气口P

排气口

31

连接板B

2 x 4.6

(安装孔) 16*1 1

8*1

*15161*1*1

80(直径 ø1.5)

70(直径 ø1.0, ø1.3) 70

连接板 E 消声器

3 49

真空发生器

30 35

2 x 3.4

(安装孔)

9

PD P

Rc1/8

供气口(P) 11

托架 B 7 8 托架 B

M5

破坏阀供气口(PD)

*1

V

84(直径 ø1.5)

74(直径 ø1.0, ø1.3)

16

1.2

4

Rc1/8

真空口 (V)

注 *1 ) 托架B安装后的尺寸

托架型号为 : ZR1-0BB

回路图 消声器 排气口

供气口(P)

破坏阀供气口(PD)

真空口(V)

外形尺寸图 (毫米)

真空发生器单元 : ZR1

105 (排气口)

110 (消声器)

30 35

2 x 3.4

(安装孔)

消声器

连接板E

真空发生器

3 53 70

PD P

M5

真空破坏口(PD)

9

托架 B 7 8 托架 B 11

Rc1/8

供气口(P)

连接板 B

31

21

2 x ø4.6

(安装孔) 16 1

85161

*1

*1

*1*1

*1

109 (排气口)

114 (消声器)

30

Rc1/8

真空口 (V)

16 4*1

注 *1 ) 托架C安装后的尺寸

Rc3/8

排气口(EXH)

29

通口排气

喷嘴直径/ø1.8,ø2.0mm

ZR1-W18,20

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法

5-13

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

可安装在真空发生器

组件上

共同规格

ZR1-FX

-0.1 ~ 0.5MPa

5 ~ 50°C

30μm

PVF

托架(ZR1-OBC)

ZR1-FZ

* 这种真空过滤器只可单独使用，

不可安装在真空发生器组件上。

真空过滤器

过滤器

破坏阀

供气口

(PD)

出 进

回路图 *1

*1 *1

*1 *1*1

20.5 4

4 x 3.5

(安装孔) 31 4761

26.5 1

7079

34 3

OUT PD

真空过滤器

Rc1/8

出口

4 8

20 M5

托架C

破坏阀

供气口(PD) *1

IN *1

1.2

5 15

Rc1/8

进口15

注 *1 ) 托架C安装后的尺寸

外形尺寸图 (毫米)

型号

使用压力范围

环境温度

过滤精度

滤芯材料

标准附件

滤芯型号(维修用)

真空压力传感器带过滤器规格

型号

使用压力范围

环境温度

过滤精度

滤芯材料

真空压力传感器

标准附件

ZR1-F□□□□-□

-100 ~ 100kPa

5 ~ 50°C

30μm

PVF

参照真空压力传感器ZSE2

托架A(ZR1-OBA)

真空压力传感器与过滤器的组合

符号

D

E

F

ZSE30A

ZSE2

真空压力传感器

-

过滤器

真空压力传感器带过滤器

无记号 不用设定

ZR1-F

真空开关/真空过滤器的组合

D

E

F

数字式真空开关 (ZSE30A) + 真空过滤器

真空开关 (ZSE2) + 真空过滤器

真空过滤器

数字式真空压力传感器(ZSE30A)规格(D) 真空用压力传感器(ZSE2)规格(E)

输出规格

N 无记号

无记号

P 55

A

B

C

D

E

F

NPN 型集电极开路1输出

PNP 型集电极开路1输出

NPN 型集电极开路2输出

PNP 型集电极开路2输出

NPN型集电极开路1输出+模拟电压输出

NPN型集电极开路1输出+模拟电流输出

PNP型集电极开路1输出+模拟电压输出

PNP型集电极开路1输出+模拟电流输出

NPN型集电极开路1输出

PNP型集电极开路1输出

真空过滤器规格(F)

不用设定

数字式真空压力传感器(ZSE30A)规格(D)

单位规格

无记号

M

P

带单位切换功能

仅SI单位固定

带单位切换功能 (初始值psi)

真空压力传感器

(ZSE2)规格 (E)

真空过滤器 (F)

无记号 不用设定

真空用压力传感器(ZSE2)规格(E)

L

C

CL

CN

直接/导线 (长 0.6 m)

直接/导线 (长 3.0 m)

插头带导线(长 0.6 m)

插头带导线 (长 3 m)

带插头无导线

真空过滤器规格(F)

无记号 不用设定

无记号

导线引出规格

数字式真空压力传感器

(ZSE30A)规格(D)

L 插头带导线 (长 2 m)

型号表示方法

大型真空发生器组件 ZR系列

外形尺寸图 (毫米)

2 x 4.2(安装孔)

过滤器块

真空过滤器

真空压力传感器

9

3 63

连接板 F

(600)

30

7079

8483*1*1

SET L H

(安装孔)

真空压力调校旋钮

指示灯(红色) 31 4.6

5767

2 x 长孔(安装孔)

8 23

5.6

8

3 2 x 4.6

*1

*1

*1 *1

*1

*1 *1 *1*1*1

M5

PV

PD

Rc1/8

托架A

9

8 7

11

真空供气口(PV)

真空破坏阀供气口(PD)

Rc1/8

真空口(V)

1.2

16 4*1

注 *1 ) 托架A安装后的尺寸

供气口(PV) P

真空破坏阀供气口(PD)

真空口(V)

回路图

ZR1-FE□□□

回路图

ZR1-FD□□□

V

(不带模拟输出)

ZSE30A (带模拟输出)

ZSE30A

P P

PV

PD

V

85∗1

S

PV

PD

81 3 79 (2000)

(76) 56

真空过滤器 数字式真空压力传感器

7.2∗1

5-14

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

大型真空发生器组件 ZR系列

共通供气及排气 各自供气及排气

PS

(PE)

EXH.

PV

PD

PE

PD

PS

PV 独立供气隔板

ZR1-R1-1

PS

PD

PE

PV

PV PD

(PE)

PS

EXH.

真空吸盘连接

V口

控制阀排气口

PE口

真空发生器空气

供给PV口

控制阀空气供给

PS口

真空破坏阀空气

供给PD口

真空发生器排气 (EXH) 口

喷嘴直径/ø1.0、ø1.3、ø1.5mm 10

13

15 ZR1 □1-K1□M□□-E□□-□

B

A

B

A

B

LSETH

57

Rc1/4

排气口(EXH)

通口排气

SET L H

真空压力设定用按钮

指示灯 (红色) 2 x 长孔(安装孔) 5767

2 x 4.6(安装孔)

3

8

23

5.6

8

4.6

手动按钮

22

32

先导压力破坏阀

+- +- +-

Rc1/8

(PV)

真空压力压力

供给口

破坏流量调整针阀

PV

PS

PD

PE

M5

先导压力排气口(PE)

M5

真空压力破坏口(PD)

M5

先导压力供给口(PS) 1728334252

4

3 1

2

1

先导压力供应阀

先导供气停止阀

A

消声器

110 (DC) 117 (AC)

80 (喷嘴直径 ø 1.5)

70 (喷嘴直径 ø 1.0,ø13）

84 (喷嘴直径 ø1.5)

74 (喷嘴直径 ø1.0,ø13）

(300)

灯

阀单元

连接板C

127

真空发生器 2 x 4.2(安装孔)

9

79 (600)

真空过滤器 真空压力开关

-+ - -+

Rc1/8

真空口(V) 支架A1.2

4 16

*1

*1*1

*1

*1 *1 *1

*1

注) 尺寸*1是安装托架A时，托架A的型号为:ZR1-OBA

ZSE2

P

回路图

PS

PE

PD

PV

真空压力开关 (E)

消声器 排气口

真空过滤器

供给阀

线圈a 线圈b线圈c

破坏阀

真空开关

真空发生器

A

B B B

A A A

真空发生器系统完整组件 (构成元件)真空发生器+阀+真空开关+真空过滤器

喷嘴直径/ø1.8、ø20

18 ZR1 20□1-K1□M□□-E□□-□

排气口(EXH)

通口排气

*1*1

注) 没有标注的尺寸与上图一样

LSETH

A

B

A

B

A

B

A 110 (内置消声器)

105 (通口排气)

131

114 (内置消声器)

109 (通口排气)

+- +- +-

PV

PS

PD

PE

LSETH

A

B

A

B

A

B

59

Rc3/8

集装位数

01

：

06

1

：

6

*阀单元在正面，

来判断供气口

位置的左右

通口螺纹

Rc

供气口位置

R

L

B

右侧

左侧

两端

例) 第1位 第3位装上ZR1-R1-1, ZR1-R1-3

ZZR1 06

ZR1 - R1 - 1

集装板 R

无记号

例) ZZR106-R 1个(6位集装板)

*

*

*

ZR120S1-K15MZ-EC 5个(真空发生器组件)

ZR1-BM1 1个(盖板)

ZR1-R1-3 1个(独立供气隔板)

独立供气隔板 排列 : 从阀侧看，右起为第1位

无记号

1

:

:

6

全数装上

第1位装上

:

:

第6位装上

型号表示方法

PV : 供气口

PS : 控制阀供气口

PD : 真空破坏阀接口

PE : 控制阀排气口

EXH : 共通供气口

V : 真空口

5-15

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

喷嘴直径/ø1.0、ø1.3、ø1.5mm

喷嘴直径/ø1.8、ø2.0mm

(mm)

L1 52

71

85

104

118

137

151

170

184

203

217

L2 236

82

62

96 (2000)

5 3 真空用数字式压力开关 独立供气隔板 功能板 4×5.7

(安装孔)

手动钮

32间距P＝33

4真空过滤器

真空压力开关

压力设定用按钮