PFM 7

共同规格

带调节阀

型式 PFM710 PFM725 PFM750 PFM711

适用流体

压力特性

重复精度

使用压力范围

额定压力范围

耐压力

累计流量范围

开关输出

累计脉冲输出

外部输出

输出

指示灯

供应电压

消耗电流

耐环境

指示装置

最小单位设定*

累计脉冲流量额定改变值

额定流量范围 干燥空气 , N2, Ar

干燥空气 , N2, Ar

干燥空气 , N2, Ar

CO2

最大负载电流

最大供应电压

残留电压

反应时间

输出保护

保护结构

使用流体温度

使用温度范围

使用湿度范围

耐电压

绝缘阻抗

迟滞型

上下限比较型

反应时间

显示范围

设定范围

CO2

CO2

干燥空气, N 2, Ar, CO2 (空气质量等级标准 B8392.1-1, 1.2~1.6.2和ISO 8573.1-1, 1.2~1.6.2)

0.2~10 L/min

0.2~5 L/min

0.2~10.5 L/min

0.2~5.2 L/min

0~10.5 L/min

0~5.2 L/min

0.5~25 L/min

0.5~12.5 L/min

0.5~26.3 L/min

0.5~13.1 L/min

0~26.3 L/min

0~13.1 L/min

±1%满刻度(流体: 干燥空气) 模拟输出精度: ±3%满刻度

±5%满刻度(0.35 MPa)

–100 kPa~750 kPa

–70 kPa~750 kPa

1 MPa

最大. 999999 L

NPN或PNP 集电极开路输出

80 mA

在28 VDC (NPN 输出)

NPN 输出: 1 V 以下 (在80 mA) PNP 输出: 1.5 V 以下 (在80 mA)

1 s (50 ms, 0.5 s, 2 s 可选择.)

短路保护

NPN或PNP 集电极开路输出 (同开关输出)

1.5 s 以下 (90% 响应)

可调设

可调设

无电压输入(舌簧或固态电子式) 输入 30 ms 以上

3位数, 7段显示器 2色显示(红/绿) 显示采样周期: 10 次/秒

OUT1: ON时指示灯亮(绿色). OUT2: ON时指示灯亮(红色).

24 VDC ±10%

55 mA 以下

IP40

0~50°C (未冻结)

操作时: 0~50°C 保存: –10~60°C (未冻结)

操作及保存: 35~85%R.H. (未冻结)

引线座与壳体间1000 VAC 在 1分钟内

50 MΩ或以上 (500 VDC 高阻表) 引线座与壳体间

瞬时流量 L/min, CFM x 10-2 累计流量 L, ft 3 x 10-1

±2%满刻度(15~35°C) ±5%满刻度(0~50°C)

电压输出: 1~5 V

输出阻抗: 1 kΩ

电流输出: 4~20 mA

最大负载阻抗: 600Ω, 最小负载阻抗: 50Ω

线性

温度特性

模拟输出

迟滞

显示精度: ±3%满刻度(流体: 干燥空气) 模拟输出精度: ±5%满刻度

1~50 L/min

1~25 L/min

1~52.5 L/min

1~26.2 L/min

0~52.5 L/min

0~26.2 L/min

2~100 L/min

2~50 L/min

2~105 L/min

2~52 L/min

0~105 L/min

0~52 L/min

电压输出

电流输出

0.01 L/min

0.1 L/脉冲

0.1 L/min

0.1 L/脉冲

0.1 L/min

0.1 L/脉冲

0.1 L/min

1 L/脉冲

*CO2流量请参考规格表

10

25

50

11

S

L

量度流体范围

口径尺寸

调节流量阀

接管方向

输出

无记号

无记号 直

底部

没有

有提供

*另有PNP输出可供选择，请与SMC联系。

01

C4

C6

C8

A

C

D

G

710 725 750 711

02

Rc1/8

ø4(=5/32”) 快速接头

ø8(=5/16”) 快速接头

2 个 NPN 输出

1 个 NPN 输出 + 1 个 1 ~ 5V 模拟输出

1 个 NPN 输出 + 1 个 4 ~ 20mA 模拟输出

1 个 NPN 输出 + 外部输入信号

ø6 快速接头

Rc1/4

*可调定在0.01L/min~0.1L/min之间(PFM710)及0.1L/min至1L/min之间(PFM711),在出厂时，预设值是PFM710：0.1L/min，PFM711：1L/min

1

2

S

IN

ZS-33-F

ZS-33-D

IDF AF AR AMD PFM ZF PFM

IDU IR AFD

导线长度 2m

固定架

安装面板

适配器 B

安装面板

适配器 A

面板

安装螺钉

(配件)

插头保护套

型号：ZS-33-F

托架

型号：ZS-33-M

带调节流量阀型号：ZS-33-MS

面板安装

型号：ZS-33-J

带调节流量阀型号：ZS-33-JS

0.2 至 10 /min

0.5 至 25 /min

1 至 50 /min

2 至 100 /min

建议使用方法

压缩空气用 真空用

干燥机 空气过滤器 调压阀 微雾分离器 流量传感器 真空过滤器 流量传感器

真空生产线

RoHS ®

型号表示方法

2色显示数字式流量传感器

PFM系列

* 型号以带2米长电线

10 - C4 - A

6-37

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

模拟输出

10 (5)

25 (12.5)

50 (25)

100 (50)

PFM710- -C/E

PFM725- -C/E

PFM750- -C/E

PFM711- -C/E

模拟电压输出 (1~5 V)

型号

[L/min]

10 (5)

25 (12.5)

50 (25)

100 (50)

PFM710- -D/F

PFM725- -D/F

PFM750- -D/F

PFM711- -D/F

模拟电流输出 (4~20 mA)

0

4

20

模拟输出 [V]

模拟输出 [mA]

最大额定流量

最大

额定流量 型号

[L/min]

最大

额定流量

最大额定流量

*型号不包括DIN导轨在内

0

0 0

1

5

2 NPN 输出型

PFM7 - -A

NPN + 外部输入型

PFM7 - -G

NPN + 模拟输出型

PFM7 - -C

NPN + 模拟输出型

PFM7 - -D

内部回路及接线举例

DIN 导轨安装码

( ): 流体: CO 2 ( ): 流体: CO 2

棕 DC (+)

黑 OUT1

白 OUT2

蓝 DC (–)

主回路

24 VDC

负载

负载

棕 DC (+)

黑 OUT1

蓝 DC (–)

主回路

白色 24 VDC

模拟输出

负载

负载

白色

外部输入

棕 DC (+)

黑 OUT1

蓝 DC (–)

主回路

24 VDC

负载

PFM7 -01/02

PFM7 -01L/02L

PFM7 -C4L/C6L/C8L

(mm)

快速接头

ø4 (5/32\")

ø6

ø8 (5/16\")

ø1/4\"

A

64.2

64.6

68

64.6

18

48

A

1 IN

OUT1

DC (–)

OUT2

DC (+)

2 x 快速接头

18

10.2

1 43

3

13

(34.2)

2 x 3.4

IN OUT

28

8

2 x 2.6 深 5

1 IN

DC (–)

OUT1

DC (+)

OUT2

2 x 快速接头

18

48

58

76

A

51.5 (最大 58.5)

13

(34.2)

3

10.2

43 1

18

2 x 3.4

IN OUT

28 20

8 3 x 2.6 深 5

PFM7 -C4/C6/C8

PFM7 S-C4/C6/C8

快速接头

(mm)

ø4 (5/32\")

ø6

ø8 (5/16\")

ø1/4\"

A

92.2

92.6

96

92.6

48

70

对边宽度17

18

68

88

3

(34.2)

18

43

10.2

1 13

IN 2 x 3.4 OUT

ZS 33 R

位数

1 位数

2 位数

3 位数

4 位数

5 位数

1

2

3

4

5

18

68

10.2

3

(34.2)

1 43 A

2 x 3.4 OUT IN

(mm)

快换接头

ø4 (5/32\")

ø6

ø8 (5/16\")

ø1/4\"

A

10.1

10.3

12

10.3

外形尺寸图 (毫米)

2色显示数字式流量传感器 PFM系列

6-38

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

2色显示数字式流量传感器

PF2M7系列

* 型号以带2

IN

IN

OUT

OUT

IDF AF AR AMD PF2M

ZF PF2M

IDU IR AFD

调压阀 流量传感器

流量传感器 真空生产线

模拟输出

1V

显示

1L/min

5V

类比输出

1V

75L/min 100L/min 显示

：75L/min 100L/min

5V (10V）20mA）、

在额定压力范围10 105% ， 变

於1 100L/min 1～5V

75L/min

， 输出的感测器 ，

SFD100

PF2M701 PF2M702 PF2M705 PF2M710 PF2M725 PF2M750 PF2M711

流体

流量规格

适用流体

流体温度范围

检出方式

额定流量范围 CO2

设定流量范围

操作压力范围注1）

注2）

型号

可选择2分间隔、5分间隔

-0.1 ~ 0.75MPa

1.0MPa

DC12～24V±10%

DC18～30V±10%

型号:ZS-33-MS

型号:ZS-33-2JS

面板安装接合器

(无流量调整阀用）

面板安装接合器

(附流量调整阀用）

型号:ZS-33-F

型号:ZS-33-D

面板安装

接合器B

面板安装

接合器B

面板

面板安装

接合器

面板安装

接合器S

面板

PF2M 7 10 - C6 - A - 量度流体范围

调节流量阀

注1) 只有PF2M7/10/25/

50/11可选带

10 0.1

05 0.05

02 0.02

01 0.01

25 0.2

50 0.5

11 1

至

至

至

至

至

至

至

10

5

2

1

25

50

100 fi/min

fi/min

fi/min

fi/min

fi/min

fi/min

fi/min

A

B

C

D

E

F

注1）1 5V或 0 10V 1 5V。

口径尺寸

记号

记号

口径 相关流量范围

701 702 705 710 725 750 711

C4 ø4 — — — — — —

C6 ø6 — —

C8 ø8 ——— — — —

S注1) 有

无记号 没有

校正证明书

A 有

无记号 无

输出规格

L -

的任何一方可用按钮操作选择。出货时则选择

模拟输出 ⇔ 模拟输出 注1 0～10V )

模拟输出 模拟输出0～10V注1)

1～5V

1～5V ⇔

模拟输出 4～20mA

模拟输出 4～20mA

IO-Link/NPN/PNP

PNP

PNP

NPN

NPN

PNP

NPN

PNP

NPN

OUT1 OUT2

RoHS

设定最小单位

型号表示方法

配件型号(任选项)

米长电线

带调节阀

显示部反转功能

即使产品上下反转，

也不会有显示上下

颠倒的情形 显示反转功能设定

插座部用橡胶外罩(硅橡胶)

附插座导线(2m)

※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性

※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性

※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性

型号:ZS-33-M

托架(无流量调整阀用)

攻牙螺丝

附2支

攻牙螺丝

附3支

托架(附流量调整阀用)

型号:ZS-33-2J

安装金具 安装金具

干燥空气、

瞬间流量

累计流量

瞬间流量

累计流量

压力规格

电气规格

累计脉冲的换算

累计保特功能

耐压力

压力特性

电源电压

IO-Link

消耗电流

热式(主流式) 热式(分流式)

0 ~ 50o

C

0.01~1L/min

0.001L/min 0.01L/min 0.1L/min

0.02~2L/min 0.05~5L/min 0.1~10L/min 0.3~25L/min 0.5~50L/min 1~100L/min

0.01~0.5L/min

-0.05~1.05L/min

0.00~9999999.99L 0.0~99999999.9L

0.01L

0.01L/pulse 0.1L/pulse 1L/pulse

0.1L 1L

0~999999999L

0.00~9999999.99L 0.0~99999999.9L 0~999999999L

-0.1~2.1L/min -0.25~5.25L/min -0.5~10.5L/min -1.3~26.3L/min -2.5~52.5L/min -5~105L/min

0.02~1L/min 0.05~2.5L/min 0.1~5L/min 0.3~12.5L/min 0.5~25L/min 1~50L/min

-0.05~1.05L/min -0.1~2.1L/min -0.25~5.25L/min -0.5~10.5L/min -1.3~26.3L/min -2.5~52.5L/min -5~105L/min

干燥空气、N2、Ar、CO2 (JIS B8392-1 1.1.2~1.6.2、ISO8573-1 1.1.2~1.6.2)

显示精度

模拟输出精度

精度

输出形式

开关

输出

输出模式

开关动作

注3）

电压输出

电流输出

模拟

输出

显示

显示模式

显示可能范围 零舍去范围

配管

注4）

DIN

导线

面板安装接合器

流量调整阀

±3％F.S.±1digit

±3％F.S.

±5％F.S.±1digit (0~50o

C : 25o

C基準) ±3％F.S.±1digit (15~35o

C : 25o

C基準)

80mA

从0可变

电压输出 : 1~5V(可选择0~10V)、电流输出4~20mA

可选0.05s、0.1s、0.5s、1s、2s、5s

开关ON时亮灯 OUT1/2 : 橙

IP40

AC1000V 1 分钟充电部与外壳之间

50ms±40%

L/min、cfm

保护

往复精度

温度特性

最大负载电流

最大外加电压

内部下降电压

应答时间

迟延时间

应差

保护

输出形式

阻抗

应答时间

显示单位基准

单位 瞬间流量

累计流量

瞬间流量

累计流量

显示部

动作显示灯

数位过滤器

保护构造

耐电压

绝缘阻抗

使用温度范围

使用湿度范围

耐环境

规格

配管规格

托架

接流体部主材质

本体

重量

轨道安装金具

±5％F.S.±1digit（ 0.35MPa 基準

35mA以下

逆接续保护

±1％F.S.±1digit（数位过滤器0.05s 选择时为±2％F.S.±1digit

NPN／PNP 集电极开路输出

可选设定点模式，设定区间模式，逐步输出模式，

逐步脉冲输出模式，错误输出，开关输出OFF

选择性正转输出，反转输出

DC28V (只限NPN)

NPN : 1V以下(负载电流80mA) PNP : 1.5V以下(负载电流80mA)

50ms以下

0~0.10s(每0.01s)、0.1~1.0s(每0.1s)、1~10s(每1s)

可选择20s、30s、40s、50s、60s

短路保护

输出阻抗约1kΩ

最大负载功率电源电压24V时 : 600Ω 电源电压12V时 : 300Ω

标准状态(STD)、基准状态、(NOR)选择

瞬间流量显示、渐进流量显示选择

L ft 、 3

N2

0 ~ ±10%F.S. (对于最大额定流量, 每1%F.S.选择)

瞬间流量显示、渐进流量显示选择

50MΩ以上(DC500V高阻计量测) 充电部与外壳之间

动作时 : 0~50o

C、保存时 : -10~60o

C (无冷凝或结冰)

动作时·保存时 : 35 ~ 85%RH (无冷凝或结冰)

C4 (ø4) C6 (ø6) C8 (ø8)

CE认证 (EMC指令、 RoHS指令)

40g 48g

+34g

+35g

+20g

+15g

+65g

PPS、PBT、FKM、SUS304、黄铜(无电解镀镍)、Si、Au、GE4F)

干燥机 空气过滤机 微雾分离器

共同规格

压缩空气用

建议使用方法

真空用

真空过滤器

注1) 负压为产品IN侧(1次侧)的压力值。注3) 标准状态(STD) : 20[o

C]、101.3[kPa] (绝对压力)、65 [%RH] (规格上记载的流量为标准状态的值)

注2) 产品复数紧密设置时，电源电压的上限请使用DC24V。注4) 累计流量显示乘方表示。平常以上位4码显示。

使用

流量传感器想5V输出时

於

6-39

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

2色显示数字式流量传感器 PF2M7系列

*

型号不包括DIN导轨在内

DIN 导轨安装码 型号: (任选项) ZS 33 R

位数

1 位数

2 位数

3 位数

4 位数

5 位数

1

2

3

4

5

120以上注）

54 ＋0.5

0

34以上

24＋0.5

0

4×R3以下

4×R3以下

4×R3以下

5

5

2

2

2 .

2 .

3 .4 3

A

PF2M710/25/50/11 面板安装／无流量调整阀／直通

注）

A

ø

ø

面板安装／带流量调整阀／直通

面板厚度 面板厚度

快速接头适用

气压管外径 A

ø

ø

快速接头适用

气压管外径

面板厚度 1～3.2mm

配管方向：因为是直线型 请考虑配管材 气压管后做设计。

附角度R时 请设定R3以下。

，

，

、 注）

面板厚度 1～3.2mm

配管方向：因为是直线型 请考虑配管材 气压管后做设计。

附角度R时 请设定R3以下。

， 、

7 .0

3 .4

A

3

4 . .53. ）

3

74 ＋0.5

　0

87.9

96

24＋0.5

0

120以上注）

4×R3以下

4×R3以下

34以上

4×R3以下

流量/模拟输出

PF2M710/50/11 PF2M725

1V 5V

PF2M710/50/11 PF2M725

0V 10V

流量 流量

电压输出（1−5V）

电流输出（4−20mA）

电压输出（ 0−10V）注1）

注1） 选择0～10V时 从连接机器流入类比输出线的电流 请设定20µA以下 20µA以上的电流流入时 大约有0.5V以下的领域，

   其精度有可能无法符合要求。

注2） D或H 依零舍去功能的设定值变动 零舍去设定值以0设定时 流量显示值从0L/min开始显示。於水平方向设置及供给压力0.35MPa以外的条件，

流体没有流动时，也有可能以0L/min以外的流量显示

。 ，

， 。 ，

， ，

输

出

输

出

额定流量

最小值

额定流量

最小值

零舍去

范围

零舍去

范围

额定流量

最大值

额定流量

最大值

外形尺寸图 (毫米)

PF2M702/05/10/25/50-C6

2 × ø6快速接头

DC（＋）

OUT1 OUT2

DC（－）

48

59.9

18

10.2

1.4

1

（

3

30.9）

38.5

18 2× 3.4

3

2× 2.8 深8.4

8

28

PF2M710/25/50S-C6

＋）

1 2

2×2.8 2.5

28 20

2 ×3.4

3

38

13

30. ）

3 .5 1.4

10.2

1

76

58

48

87.9

2×ø6 快速接头 46.9(Max.53.9)

PF2M711-C8

OUT1 OUT2

DC（－） DC（＋）

48

68

18

1

10.2 .4

1

（

3

30.9）

38.5

18 3

28

8

2 × 2.8 深6.2

2× 3.4

2×ø8 快速接头

PF2M711S-C8

2× ø 快速接头

1 2

＋）

46.9(最长53.9)

快速接头

深 8.4

PF2M701-C4

96

76

68

58

48

10.2

2 × 2.8 深6.2 18

2.5 深5

2 x 3.4

20

18

28

(30.9) 13

3

38.5 1.4

6-40

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

外形尺寸图 (毫米)

PFM710/750/711-□-X300

3

13

43 1

18

70

1718

48

28

8

深5

IN

OUT

2x3.4

2x2.5

OUT1 OUT2

DC( ) DC(+)

管连接

口径

x2

PFM710-X300: 0.2~10L/min

PFM725-X300: 0.5~25L/min

PFM750-X300: 1~50L/min

PFM711-X300: 0.2~100L/min

● 测定方法

● 产生尖粒极低 ● 接触流体部金属材质：SUS304

PFM710-X300尘粒特性图表(0.10µm或以上)

经过时间［min］

产生数［个/ L］

0 10 20 30 40 50

20

10

0

60 70 80 90 100 110 120

应用示例 洁净室环境下的洁净空气吹拭的流量控制

共同规格

超音波洗净 接触流体金属部 : 接头, 内孔径, 滤网

脱脂处理 本体,O形环

空气吹拭 流路内空气吹拭※

无尘包装 带电防止袋(二重包装)

※ Class10000无尘室内用Class100的空气

清净空气源 CLASS100无尘工作台

储气桶 油雾分离器

0.3MPa

试验样本 入口

雷射粉尘测试器 基准流量计 0.01µm过滤器 采样管

节流

无尘

调压阀

〔试验方法〕试验样本后段设置采样管,发生的粒子用雷射粉尘测试器测定。

〔测定条件〕

使用计测器

名称 光散乱式自动粒子计测器

最小可测粒径 0.1µm

吸入量 28L/min

设定条件

采样时间 1min

间隔时间 4min

采样空气量 28L

※ 粉尘测定中的流量为100L/min,PFM710只有30L/min。

PFM 7 10 01 A X300 额定流量范围:

0.2～100L/min

无

托架

（无流量调整阀用）

10-ZS-33-M

附属的

自攻螺丝

T

面板安装连接器

（ 无流量调整阀用 ）

10-ZS-33-J

注）选配没有与产品组装,为同包装出货。

安装金具 需要选配单体时,请参照选配2/零件型号。

面板安装

连接器 B

面板安装连接器 A

面板

型号表示方法

额定流量范围(流量范围)

10 0.2~10(5)L/min

25 0.2~25(12.5)L/min

50 1~50(25)L/min

11 2~200(50)L/min

※ ( )为流体CO2时

管连接口径

Rc1/8

Rc1/4

记号 内容 流量范围

10 25 50 11

01 ● ● ●

02 ●

输出规格

OUT1 OUT2

A NPN NPN

B PNP PNP

C NPN

D NPN

E PNP

F PNP导线长度2m

1

2

S

IN

选配1

无记号 W

插座附导线(2m)

插座部用橡胶罩（矽橡胶）

注）需要选配单体,时请参照选配1/零件型号。

1

2

S

IN

导线长度2m

插座附导线(2m)

10-ZS-33-D

10-ZS-33-F

10-ZS-33-D

+型号 管连接口径

（Rc）

PFM710 1/8

PFM725 1/8

PFM750 1/8

PFM711 1/4

模拟1~5V

模拟4~20mA

模拟4~20mA

模拟1~5V

RoHS ®

2色显示数位流量传感器(洁净型)

PFM7-X300系列

选配2

无记号 R

6-41

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

2色显示数位流量传感器(洁净型) PFM7-X300系列

型号 PFM710-X300 PFM725-X300 PFM750-X300

适用流体 干燥空气 、N2、Ar、CO2

（ 空气的品质等级为JIS B8392-1 1.1. 2~1.6.2、ISO8573-1 1.1.2~1.6.2）

额定流量范围

（流量范围）

干燥空气、N2、Ar 0.2~10L/min 0.5~25L/min 1~50L/min

CO2 0.2~5L/min 0.5~12.5L/min 1~25L/min

显示可能范围注1） 干燥空气、N2、Ar 0.2~10.5L/min 0.5~26.3L/min 1~52.5L/min

CO2 0.2~5.2L/min 0.5~13.1L/min 1~26.2L/min

设定可能范围注1） 干燥空气、N2、Ar 0~10.5L/min 0~26.3L/min 0~52.5L/min

CO2 0~5.2L/min 0~13.1L/min 0~26.2L/min

设定最小单位注2） 0.01L/min 0.1L/min 0.1L/min

累积脉冲的流量换算值 0.1L/Pulse 0.1L/Pulse 0.1L/Pulse

PFM711-X300

2~100L/min

2~50L/min

2~105L/min

2~52L/min

0~105L/min

0~52L/min

0.1L/min

1L/Pulse

显示单位注3） 瞬间流量: L/min, CFM x 10-2

累积流量: L, ft3 x 10-1

精度 显示精度: ±3%F.S. （流体：在干燥空气） 摸拟输出精度: ±5%F.S.

往复精度 显示精度: ±1%F.S.

摸拟输出精度 : ±3%F.S.（流体：在干燥空气）

压力特性

温度特性

使用压力范围 100kPa～750kPa

额定压力范围 70kPa～750kPa

耐压力 1MPa

累积流量范围 最大 999999L 注4）

传感器输出 NPN或PNP集电极开路输出

最大负载电流 80mA

最大施加电压 DC28 V（NPN 输出时）

内部下降电压 NPN输出 : 1V以下（80mA时）PNP输出 : 1.5V以下（80m A时）

反应时间 1s（可选择50ms、0.5s、2s）

输出保护 短路保护

累积脉冲输出 NPN或PNP集电极开路输出（与开关输出相同）

模拟输出注5）

反应时间 1.5s 以下（90%应答）

电压输出 输出电压:1～5V

输出阻抗:1kΩ

电流输出 输出电流 :4～20mA

最大负载阻抗 : 600Ω 、最小负载阻抗 : 50Ω

外部输入 无电压输入（有接点或无接点）输入30ms以上

显示方式 3码7段显示器　2色显示（红色/绿色）更新周期：10次/1s

动作显示灯 OUT1：ON 时灯亮（绿色）、OUT2：ON 时灯亮（红色）

电源电压

消耗电流 55mA 以下

耐环境

保护构造 IP40

使用流体温度 0~50℃(不结冰及不冷凝)

使用温度范围 动作时：0~50℃　　保存时：10～60℃（不结冰及不冷凝）

使用湿度范围 动作时、保存时 35～85％ R.H（. 不冷凝）

耐电压 AC1000V、1 分钟充电部与外壳间

绝缘阻抗 50MΩ以上（DC500V 高阻计量测）充电部与外壳间

规格 CE、UL（CSA ）、RoHS

接流体部主材质注8） LCP、PBT、HNBR 、FKM 、Si、Au 、SUS304

质量 直线式：70g

清净度等级（ISO等级） 等级4

注1）在10L/min 类型上选择最小设定单位 0.01L/min时，上限会显示成「 9 . 9 9 L/ min」。

在100L/min 类型上选择最小设定单位 0.1L/min 时，上限会显示成「 99. 9 L/ min」。

注2）可选择PFM710 为0.01L/min 或0.1L/min 、PFM711 为0.1L/ min或1L/min 。

在表示单位选择CFM时，不能变更其设定最小单位 。

工厂出货时，设定PFM710 为 0.1L/min 、PFM7 11 为1L/min 。

注3）产品出货时为〈ANR〉。

〈ANR〉是以标准状态20℃ 、1atm 、65%R.H. 来作为基准。

NL/min 是以标准状态 0℃、1atm来作为基准。

附单位切换功能时（附上无单位切换功能型 ，SI单位（L/min 或L）为固定）。

注4）用电源OFF来清除。能选择保持功能（能选择间隔 2分钟或间隔5分钟）。

选择间隔5分钟时，记忆元件（电子零件）的寿命为100 万次（24小时通电时,5分

万次＝5 0 0 万分＝9 .5 年），所以请在使用维持功能时 ，从使用条件上来计

算寿命，并在寿命范围内使用 。

注5）设定1.5s（90%）时，也能选择100ms 。

共同规格

A

B

C

0

额定流量范围

的最小值

额定流量范围

的最大值

流量

出

输 流量/模拟输出

A B C

PFM7-X300 电压输出 1V ― 5V

电流输出 4mA ― 20mA

型号 额定流量范围的最小值

［L/min］

额定流量范围的最大值

［L/min］

PFM710-X300 0.2 10（5）

PFM725-X300 0.5 25（12.5）

PFM750-X300 1 50（25）

PFM711-X300 2 10（0 50）

※ ( )为流体CO2时

注 ) PFM7-X300选择CO2时的最大额定流量的模拟输出,电流输出型为3[V],电流输出型为

12[mA]。

模拟输出

±5%F.S.(0/35MPa基准)

±2%F.S.(15~35℃)

±5%F.S.(15~35℃)

DC24V±10%

6-42

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

・体积小、安装方便

・符合RoHS

・最适用于确保吸紧细小工件用，因为

在细小管道情况下，工件有没有吸著，

从真空压力是比较难分别出来，因为

压力是差不多。

PFMV5 05 1

共同规格

适用流体

额定流量范围

精度

重复精度

压力特性

(0kPa基准)

温度特性

(25˚C基准)

额定压力范围

使用压力范围

保证耐压力

模拟输出

反应时间

电源电压

消耗电流

耐环境

重量

注1)

型号

干燥空气、N2

±5% 满刻度以下

±2% 满刻度以下

±2% 满刻度以下 (15 ~ 35˚C)

±5% 满刻度以下 (0 ~ 50˚C)

-70 kPa ~ 300 kPa

-100 kPa ~ 400 kPa

500 kPa

DC12 ~ 24 V ±10% 波动 (p-p) ±10% 以下 (带电源逆接保护)

16 mA以下

IP40

0 ~ 50˚C (但未结露)

0 ~ 50˚C (但未结露)

50 MΩ 或以上 (500 VDC 高阻表) 引线座与壳体间

M5 x 0.8

PPS, Si, Au, SUS316, C3604

10g (不含电线)

注 1) 20˚C, 101.3kPa, 65%RH 之标准状态下 (ANR) 之体积流量换算值。

注 2) 模拟输出显示为3V当流量是0，如果流向时由入至出口，输出时变为5V，

流向时出至入，输出时变为1V。

保护构造

使用流体温度

使用温度范围

保存温度范围

使用湿度范围

保存湿度范围

耐电压

绝缘阻抗

接管口径

接触流体部件材料

引线

PFMV505-1 PFMV510-1 PFMV530-1 PFMV505F-1 PFMV510F-1

0 ~ 0.5

托架型号

测定流量范围

05

10

30

05F

10F

30F

0.0 ~ 0.5 /min 1

0.0 ~ 1.0 /min

0.0 ~ 3.0 /min

-0.5 ~ 0.5 /min

-1.0 ~ 1.0 /min

-3.0 ~ 3.0 /min

(1 ~ 5 V)

输出规格

模输拟出

型号

ZS-36-A1

ZS-36-A2

ZS-36-A3

ZS-36-A4

ZS-36-A5

1 个 (单独用)

2 个用

3 个用

4 个用

5 个用

2L 型托架 2 个，安装螺栓 M3 x 15L 2 个

2L 型托架 2 个，安装螺栓 M3 x 25L 2 个

2L 型托架 2 个，安装螺栓 M3 x 35L 2 个

2L 型托架 2 个，安装螺栓 M3 x 45L 2 个

2L 型托架 2 个，安装螺栓 M3 x 55L 2 个

位数 备注

型号表示方法

注意:若确保PFMV5使用较佳效果,请需加ZFC050一并使用。

共同规格

ZFC-EL013-A

型号 ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68

压缩空气

-100 ~ 600

0 ~ 60(不冻结)

过滤精度 (μm) 30

使用流体

使用压力范围 (kPa)

环境和流体温度 (°C)

备件(滤芯型号)

应用例 (安装在PFMV前)

14 ø9.2 ø9.2

(7) 14

ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68

A A

M5×0.8

IN OUT

(3.5)

ø9.2

14

17.5

3

对边7

剖面图 A-A

六角对边2

滤芯

M5×0.8

六角对边2

深3

ø6倒钩

六角对边2

A A

OUT

M5×0.8

14 (3.5)

24.5

(7)

IN

ø9.2

对边7

剖面图 A-A

ø2

外形尺寸图 (毫米)

微型流量传感器

PFMV5系列

RoHS ®

0 ~ 1 0 ~ 3 -0.5 ~ 0.5注2) -1 ~ 1注2)

PFMV530F-1

-3 ~ 3注2)

电压输出 : 1 ~ 5 V，输出阻抗 : 约 1 kΩ

5ms以下 (90%反应)

±2% 满刻度以下 (0 ~ 300 kPa)

±5% 满刻度以下 (-70 ~ 0 kPa)

( /m)

-10 ~ 60˚C (但未结露)

35 ~ 85% R.H. (但未结露)

35 ~ 85% R.H. (但未结露)

引线座与壳体间1000VAC在1分钟内

3芯, ø2.6, 0.15mm², 2米长

6-43

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

建议空气回路举例

压缩空气场合 真空场合

单边托架

PFMV5□□-1

IDF AF AR AMD PFMV ZF PFMV

IDU IR AFD

PFMV5□□F-1

2 x M5 x 0.8

(25.7)

10 12

5

24

20

9.1

2

1

L 型托架

干燥机 过滤器 调压阀 微雾分离器 流量传感器 真空过滤器 流量传感器

真空源

34

2 x 4.5

34.4

14

2 x 3.4

0.8

7.1

10

1815.2

15

3

应用图

确保吸紧细小工件

·感应器可集装式组合一起使用

·感应器可靠近吸盘

测漏

确认工件的存在

外形尺寸图 (毫米)

微型流量传感器PFMV5系列

6-44

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

内部回路

■特点

● 额定流量范围0~0.1L/min

● 可配套PFMV3显示器使用

■应用

● 更容易检测到泄漏情况

共同规格

1 kΩ

+

–

DC12~24V

主回路

负载

褐色DC(+)

蓝色DC(-)

黑色(模拟输出)

10

34.4 2000

15 5 10

0.8

A

187.1

10

2 x M5 x 0.8

3 (15)

2 x ø3.4 14

生产代号#

X502

可测量及显示压力范围在10kPa或以下

∗2出T前已设定此单位，可作自行更改。

kPa Pa mbar psi inHg mmHg inH2O mmH2O

-X576 ±500 Pa ∗2

-X577 ±1 kPa OOOOOO ∗2 O O

OOOOO O O O

-X578 ±2 kPa OOOOOO ∗2 O O

-X579 ±5 kPa ∗2

-X580 ±10 kPa ∗2

O X OOOO O O

O X OOOO O O

型号 额定压力范围

单位可显示

ZSE30AF 01 A A

接管

01 R1/8

带M5内螺紏纹

A NPN集电极开路2个输出

B PNP集电极开路2个输出

C NPN集电极开路1个输出+ 模拟电压

D NPN集电极开路1个输出+ 模拟电流

X576 −500 ~ 500 Pa

X577 −1.000 ~ 1.000 kPa

X578 −2.00 ~ 2.00 kPa

X579 −5.00 ~ 5.00 kPa

X580 −10.00 ~ 10.00 kPa

可选项

可选项

输出

型号 额定压力范围

带插头导线 (2m长)

带插头导线 (2m长)

带接头保护盖

带接头保护盖

L

G

共同规格

型号

额定压力范围

设定压力范围

保证耐压力

设定压力分解度

流体

供应电压

消耗电流

开关输出

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短络保护

迟滞型

上下限比较型

电压输出

电流输出

输出电压

线性

输出电阻

输出电流

线性

负载电阻

重覆精度

迟滞

模拟输出

-X576 -X577 -X578 -X579 -X580

−500 ~ 500 kPa −1.000 ~ 1.000 kPa −2.00 ~ 2.00 kPa −5.00 ~ 5.00 kPa −10.00 ~ 10.00 kPa

−525 ~ 525 kPa −1.050 ~ 1.050 kPa −2.10 ~ 2.10 kPa −5.25 ~ 5.25 kPa −10.50 ~ 10.50 kPa

2.5 kPa 5 kPa 10 kPa 25 kPa 50 kPa

1 Pa 0.001 kPa 0.01 kPa 0.01 kPa 0.01 kPa

压缩空气、不燃烧性气体、非腐蚀性气体

DC12 ~ 24V ±10%、脉动 (p-p) 10% 以下 (带电源电极保护)

40mA或以下

NPN 集电极开路 1 个输出、NPN 集电极开路 2 个输出

80mA

28V (NPN 输出时)

4 或以下 (带振荡防止功能：20 ms, 100 ms, 500 ms, 1000 ms, 2000 ms, 10 s, 30 s, 60 s)

有短路保护功能

±1% 满刻度以下 ±1 单位

可调设 (可以设定由零开始)

±1.5% 满刻度以下 ±1% 满刻度以下

约 ±1%

4 to 20 mA ±2.5% 满刻度以下

±1.5% 满刻度以下 ±1% 满刻度以下

最大负载电阻: 供电电压 12 V: 300Ω, 供电电压 24 V: 600Ω

最小负载电阻: 50Ω

1V 或以下 (在 80mA 负载电流时)

1 ~ 5V ±2.5%

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法

L X576

±3%满刻度以下

0 ~ 0.1 L/min

-70 kPa ~ 300 kPa

500 kPa

IP40

安装方式 水平安装

电线 重载型乙烯电缆, 三芯ø2.6, 0.15mm², 2米长

干燥空气 , N2

电压输出 输出阻坑 约

以下 反应

波动

以下

° 但未结露

不含电线

±7%满刻度以下 (-70 ~0 kPa)

±3%满刻度以下(0 ~300 kPa)

2色显示式高精度数字式压力传感器(低压应用)

ZSE30AF-X576-X580系列

新款微型流量传感器

PFMV505-1-X502系列

RoHS ®

RoHS ®

PPS, Si, Au, SUS316, C3604

6-45

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

共同规格

PFMV30 0 - M

输出

引线及插头

模拟输出

M3 x 5 L

脚架

M3 x 5 L

面板

面板式安装适配器

保护盖

安装螺钉

(M3 x 8 L)

*另有PNP输出可供选择，请与SMC联络

NPN 2 个输出 + 1 ~ 5 V 输出

NPN 2 个输出 + 4 ~ 20 mA 输出

NPN 2 个输出 + 自动偏移输入

带电源及输出引线 (2m) 连插头

感应器插头

传感器插头

(e-con 插头)

ZS-28-C

面板

面板式安装适配器

面板安装托架

型号：ZS-28-C 型号：ZS-27-C 型号：ZS-28-B 型号：ZS-27-D

0 1.00 5.00

0

4

20

4 ~ 20 mADC模拟输出 [mA]

0 1.00 5.00

0

1

5

1 ~ 5 VDC

显示表示

显示表示

模拟输出 [V]

0

1

2

L

ZS-28-A

ZS-28-B

配件型号

电源及输出引线及插头(2m)

托架

感应器插头

面板安装托架

面板安装＋保护盖

ZS-28-C

ZS-27-C

ZS-27-D

电压显示范围

适用感应器

型号

0.70 ~ 5.10 V : 未到 0.7 V 显示 \"LLL\"，超过 5.1 V 显示 \"HHH\".

DC 12 ~ 24 V 波动 ±10% 以内 (带电源逆接保护)

50 mA 以下

迟带型 : 可调；上下限比较型 : 可调

开关输出 : 2ms (10ms, 50ms, 0.5s, 1s 可选择)

±0.1% 满度以下，模拟输出 ±0.3% 满度以下

电压输出 : DC1 ~ 5V 输出阻抗约 1kΩ

电流输出 : DC4 ~ 20mA 最大负载阻抗600Ω (DC24V时)、最小负载阻抗50Ω

精度 : ±1%满度以下(对显示值)、迟滞0.1s(90% 迟滞)以下

±0.5% 满度±1 个数字以下

3位数 7 段显示器、2色 (红、绿) 显示采样周期 : 10 次/秒

OUT1 : ON 时指示灯亮 (绿色)、OUT2 : ON 时指示灯亮 (红色)

无电压输入 (舌簧或固态电子式) LOW 水平输入5ms以上、LOW 水平0.4V以下

IP40

操作时 : 0 ~ 50˚C，保存 : -10 ~ 60˚C (防止结冰)

操作及保存 : 35 ~ 85% R.H. (防止结冰)

引线座与壳体间 AC1000V 在 1 分钟内

50MΩ 或以上 (DC500V 高阻表) 引线座与壳体间

±0.5% 满度以下 (25˚C 基准)

电源、输出连接 : 5针插头、感应器连接 : 4针插头

前、后壳 : PBT

30g (无引线及插头)、85g (带引线及插头)

0.70 ~ 5.10 V

0.01 V

电压设定范围

电压最小设定单位

显示单位

电源电压

消耗电流

迟滞

开关输出

反应时间

重复精度

模拟输出

显示精度

显示方式

动作指示灯

保护构造

环境温度范围

环境湿度范围

耐电压

绝缘阻抗

温度特性

接线方式

材料

重量

外部输入(自动偏移输入)

NPN 集电极开路输出 2 个，最高负载电流 : 80mA、

最高负载电压 DC30V (NPN 输出时)，

残留电压 1V 以下 (负载电流 80mA 时)、带短路保护

电压 : V，即时流量 : L/min，CFH (ft3

/h)

PFMV505(F), PFMV510(F), PFMV530(F)系列

PFMV3系列

RoHS ®

型号表示方法

L

托架 面板安装+保护盖

外形尺寸图 (毫米)

感应器插头

螺纹深 4

1.6

40

26.5

30

□30 31 20 ±0.1

2 x M3 x 0.5

1.5

1.5

3.2

8.2

3

10

20

31.5

A

41

4.2 10 15

46

22

35

7.2

托架

托架 图A

42.4

11 24

7.2 23.8

8.5

面板安装托架

34.5

面板安装托架 面板厚度: 0.5~6

面板安装托架+保护盖

面板安装开孔

面板安装托架 + 保护盖

34.5

4 x R2

以下

31 0–0.4

31 0

–0.4

PFMV5专用显示器

PFMV3系列

电源・ 输出插头

6-46

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

一体式共同规格

170mA以下

一体式

＊可以进行流量的设定和检出。

＊可以显示瞬时流量或累计流量。

＊传感器部分和显示部分有一体

式和分离式两种。

＊2个输出,可以独立设定不同的流量。

＊有开关输出、累计脉冲输出和模拟

输出。

NPN开路集电极 最大负载电流80mA 内部电压降1V以下 最大施加电压30V，2输出

NPN 开路集电极(

(

与开关输出相同)

迟滞模式：可变(可从0设定) 上下限比较模式2)：固定(3digits)

1s以下

ON时灯亮 OUT1 : 绿色 OUT2 : 红色

IP65

动作时：0~50°C 保存时：-25~85°C 但未结露)

外部端子与壳体间 AC1000V 1分钟

外部端子与壳体间 50MΩ以上

5 ~ 50

0.5

1~10

0.1

10 ~ 100

1

20 ~ 200

2

PF2A710-01-27 PF2A750-02-27 PF2A711-03-27 PF2A721-03-27 PF2A751-04-27

1/8 1/4 3/8 3/8

压缩空气 · N2

-50kPa~0.5MPa -50kPa~0.75MPa

0 ~ 50°C

DC12~24V ±10%

150mA以下

热式

型号

接管口径Rc(PT)

使用流体

额定流量范围( /min)

最小设定单位( /min)

累计脉冲的流量换算值(脉冲宽50ms)

显示单位 瞬时流量

累计流量

使用压力范围

使用流体温度

电源电压

消耗电流(无负载时)

累计流量范围

检出方式

直线性

重复精度

温度特性(以25°C为准)

输出规格1) 开关输出

累计脉冲输出

迟滞

响应时间

动作指示灯

保护构造

使用温度范围

耐电压

绝缘阻抗

导线规格 M12接头(3m)

耐

环

境

注1) 开关输出和累计脉冲输出是在初期设定时选择

注2) 上下限比较模式迟滞为

注3) 另有PNP开关输出供选择，请联系SMC公司

3digit,故P1、P2或n1 、n2 之差要大于7个数值(1个数值是最小设定单位)

0 ~ 999999

, ft

3 x 10-1

0.1 /1个脉冲 0.5 /1个脉冲 1 /1个脉冲

50 ~ 500

5

1/2

2 /1个脉冲 5 /1个脉冲

L/min, CFMx10-2 L/min, CFMx10 -1

160mA以下

应用例 分离式

传感器部

显示器部

清洁气体过滤器

集洁净气体过滤器的出口侧管道的流量传感器。

流量控制氮气防止探测照相机闪烁和引线框架氧化

RoHS

±5% 满刻度以下

±1%满刻度以下 ±2%满刻度以下

±3%满刻度以下(15 ~ 35°C), ±5%满刻度以下(0 ~ 50°C)

M12接头(3m)

传感器共同规格 显示器共同规格

-500kPa~0.5MPa -500kPa~0.75MPa

0 ~ 50°C

±5% 满刻度以下

±1% 满刻度以下

±2%满刻度以下(15 ~ 35°C), ±3%满刻度以下(0 ~ 50°C)

模拟电压输出(非直线性)输出阻抗1kΩ 、显示部PF2A3□□用输出

300Ω 以下(DC12V)

600Ω 以下(DC24V)

DC12~24V ±10%

100mA以下 110mA以下

IP65

测定流体

检出方式

使用压力范围

使用流体温度

直线性

重复精度

温度特性

显示部用输出

输出规格

模拟输出

电源电压

消耗电流

耐环境

导线规格

注：□-代表输出规格

无记号=输出到显示器

1 =输出到显示器+模拟电压输出(1~5V)

2 =输出到显示器+模拟电流输出(4~20mA)

注：另有PNP开关输出供选择

测定流量范围( /min) 1~10 5~50 10~100 20~200 50~500

压缩空气 · N2

热式

2.5 ~ 52.5

0.5

0.5 ~ 10.5

PF2A510, 550 PF2A511, 521, 551

0.1

5 ~ 105 10 ~ 210 25 ~ 525

1 2 5

PF2A300-A PF2A310-A

DC12~24V ±10%

50mA以下 60mA以下

NPN开路集电极 最大负载电流80mA 内部电压降1V以下

(PF2A300/310) 最大施加电压30V、2输出

NPN开路集电极(与开关输出相同)

迟滞模式：可变(可从0设定) 上下限比较模式：固定(3个数值)

1s以下

ON时灯亮 OUT1：绿色 OUT2：红色

0 ~ 999999

, ft

3 x 10-1

5 1 /1个脉冲 2 /1个脉冲 /1个脉冲 0.5 /1个脉冲 0.1 /1个脉冲

型号(NPN 2输出)

流量设定范围

对应系列

( /min)

最小设定单位( /min)

累计脉冲的流量换算值

(脉冲宽50ms)

显示单位 瞬时流量

累计流量

累计流量范围

直线性

重复精度

温度特性

电源电压

消耗电流

输出规格 开关输出

累计脉冲输出

迟滞

响应时间

动作指示灯

耐环境

型号注) PF2A510-01-□ PF2A550-02-□ PF2A511-03-□ PF2A521-03-□ PF2A551-04-□

接管口径Rc(PT) 1/8 1/4 3/8 3/8 1/2

电压输出1~5V, 直线性 : ±5%满刻度以下,允许负载阻抗100kΩ以上

电流输出4~20mA, 直线性±5%满刻度以下, 允许负载阻抗

L/min, CFM x 10-2 L/min, CFM x 10-1

±5%满刻度以下

±1%满刻度以下

±1%满刻度以下(15 ~ 35°C), ±2%满刻度以下(0 ~ 50°C)

IP40

数字式流量传感器(空气用)

PF2A 系列

6-47

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

端子台号

1 2 3 4

5 6 7 8

1 2 3 4

5 6 7 8

PF2A3 -A (分离式显示器)

面板安装型

40.3 41.8

A

3 x 7.2 (=21.6)

4.3 40

40 35.8

1

SMC FLOW SWITCH

SET

RESET

UNIT

2 3 4

5 6 7 8

19.4

6.4

8 x M3

A 向视图

36 +0.5

0

36 +0.5 0

43 以上

A

面板安装尺寸

R3.5 以下

注) 适合面板厚度1~3.2mm

4

3

2

1

8

7

6

5

NC

12~24 VDC

PF2A5 系列

黑

棕

蓝

+

–

负载

负载

OUT2

OUT1

主回路 PF2A3 0-A

内部回路及配线例

~ 是端子号

传感器

模拟输出

1~5 VDC

5

1

最小额定流量值 最大额定流量值

最小额定流量值

[L/min]

最大额定流量值

[L/min]

最小额定流量值

[L/min]

最大额定流量值

[L/min]

瞬时流量[L/min]

模拟输出 [V]型号

PF2A510- -1

PF2A550- -1

PF2A511- -1

PF2A521- -1

PF2A551- -1

1

5

10

20

50

10

50

100

200

500

1.1

5.4

11

21

54

10.7

53.5

107

214

535

正常情况 标准情况

最小额定流量值 最大额定流量值 瞬时流量[L/min]

4~20 mA DC

20

4

模拟输出 [mA]

最小额定流量值

[L/min]

最大额定流量值

[L/min]

最小额定流量值

[L/min]

最大额定流量值

[L/min]

型号正常情况 标准情况

PF2A510- -2

PF2A550- -2

PF2A511- -2

PF2A521- -2

PF2A551- -2

1

5

10

20

50

10

50

100

200

500

1.1

5.4

11

21

54

10.7

53.5

107

214

535

42

2 x ø3.4

43

4

(44.3)

PF2A710, 750 (一体式)

FLOW SWITCH

FOR AIR

OUT1 OUT2

SET

UP

DOWN

5444

60

82

98

40

50

4 x ø4.5

17

58

67

6

1.6

2 x 配管口径 24

输出规格

输出到显示器

PF2A510,550尺寸表

输出到显示器+

模拟输出

42

A

52

62

B

流动方向 72

流动方向

A

B

2 x ø3.4

4

(46.3)

43

PF2A510,550(分离式)

73

(44.3)

PF2A511,521,551尺寸表

输出规格

输出到显示器

输出到显示器+

模拟输出

48

A

58

62

B

72

PF2A711, 721, 751 (一体式)

DOWN

U P

SET

OUT1

FOR AIR

OUT2

FLOW SWITCH

流动方向

4 x ø4.5

50

88

544434

116

40 2 x 配管口径

64

30

23

1.6

流动方向

(46.3) A

B

PF2A511,521,551(分离式)

外形尺寸图 (毫米)

数字式流量传感器(空气用) PF2A 系列

6-48

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款3色显示式

数位流量传感器(空气用) / 大流量型

PF3A7□ H系列

30 60 120

1

2

1 1/2

500 1000 3000

PF3A703H

PF3A706H

PF3A712H

6000 10000 12000

配管 适用流量范围［L/min］

口径

120 12000L型 12000 12000

6060 6000L型 6000 6000

30 3000L型 3000

1台可计测广泛的流量范围

流量范围: 最大12,000L/min

可调范围* 100：1

* 最大流量值: 最小流量值。既有机种(PF2A7□H / 大流量型) 为20:1

耐冷凝水・异物性能提升

通孔构造

压力损失75%降低*

(20kPa→5kPa)

采分流构造，空气中含有水分或异物，可降低附着在感测器部，降低

精度劣化与感测器的损坏。

压力损失降低

流路内不需维护

* 既有机种（PF2A7□H／大流量型）的比较

含水分・异物

的空气

感测器部

显示部

显示反转

90 回转、

CS

输出规格

记号 OUT FUNC 注2）

CS NPN 模拟电压输出注3） 外部输入注4）

DS NPN 模拟电流输出 外部输入注4）

ES PNP 模拟电压输出注3） 外部输入注4）

FS PNP 模拟电流输出 外部输入注4）

注2）模拟输出或外部输入的任何一方，都可按压操

作键做选择。出货时，设定成类比输出。

注3） 或 的任何一方，都可按压操作

键做选择。出货时，设定成 。

注4）累计值、 峰值、 谷值可重置。

注5）M12 插座附导线已附带。

PF3A 03 H 10

螺牙的种类

无记号 Rc

额定流量范围

03 30～3000L/min

06 60～6000L/min

12 120～12000L/min

配管口径

记号 口径 额定流量范围

03 06 12

10 1 ● ― ―

14 1 1/ 2 ― ● ―

20 2 ― ― ●

7

1~5V

1~5V

0~10V

型号表示方法

30 3000

120

IP67

RoHS

6-49

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

共同规格

型式 PF3A703H PF3A706H PF3A712H

流体 适用流体注1） 压缩空气、

适用流体温度 0~50℃

流量规格

检出方式 热式

额定流量范围 30~3000 L/min 60~6000 L/min 120~12000 L/min

设定流量范围注2） 瞬间流量 30~3150 L/min 60~6300 L/min 120~12600 L/min

累计流量 0~999,999,999,990L

设定最小单位 瞬间流量 2L/min 5L/min 10 L/min

累计流量 10L 100L

累计脉冲的换算值

（脉冲幅=50msec） 100L / pulse, 1000L / pulse做选择

累计保持功能注3） 可选择2分间隔、5分间隔

压力规格

额定压力范围 0.1~1.5MPa

耐压力 2.25MPa

压力特性注4）

电气规格

电源电压

消耗电流 150mA以下

保护 逆连接保护

精度

显示精度

模拟输出精度

往复精度 开关输出・显示: ±1.0%F.S.

模拟输出: ±1.0%F.S.

温度特性 ±1.0%F.S. (周围温度0~50°C、25°C基准)

±2.5%F.S. (0.1~1.0Mpa 0.5Mpa基准)

DC24V±10%

±3.0%F.S.

±3.0%F.S.

传感器输出

输出形式 NPN开集极回路

PNP开集极回路

输出模式 可选择瞬间输出（设定点模式、设定区间模式）、累计输出、累计脉冲输出

开关动作 可选择正转输出、反转输出

最大负荷电流 80mA

最大输入电压（只限NPN） DC28V

内部下降电压（残留电压） NPN输出型：1V以下（负荷电流80mA 时）

PNP输出型：2V以下（负荷电流80mA 时）

应答时间注5） 可选择1s、2s、5s

应差注6） 从0开始可变

保护 过电流保护

模拟输出注7）

输出形式 电压输出：1~5V(0~10V)也可选择注8）、电流输出：4~20mA

阻抗 电压输出 输出阻抗约1kΩ

电流输出 最大负荷阻抗约600Ω

应答时间注9） 与开关输出的应答时间连动

外部输入注10）

输入形式 无电压输入：0.4V 以下

输入模式 可选择累计值重置、峰值・谷值重置

输入时间 30ms 以上

显示

显示单位基准注11） 可选择标准状态、基准状态

单位注12） 瞬间流量 L/min、CF M（ft 3/min ）

累计流量 L、ft 3

显示可能范围注13） 瞬间流量 0~3150 L/min

(30 L/min未满以0表示)

0~6300 L/min

(60 L/min未满以0表示)

0~12600 L/min

(120 L/min未满以0表示)

累计流量 0~999,999,999,990L

显示最小单位 瞬间流量 2L/min 5L/min 10 L/min

累计流量 10L 100L

显示部

显示方式 LCD　　画面数：2画面（主画面与副画面）

显示色（主画面）：红色、绿色　　显示色（副画面）：橙色

显示码数（主画面）：5码7段 显示码数（副画面）：6码7段

动作显示灯 OUT指示灯：输出ON时亮红色灯

耐环境

保护等级 IP65

耐电压 AC1000V 1 分钟 充电部与外壳之间

绝缘阻抗 50M Ω（DC500V 高阻计量测） 充电部与外壳之间

使用温度范围 动作时：0~50℃ 、保存时：10~60℃(不冷凝及结冰)

使用湿度范围 动作时及保存时：35~85%RH(不冷凝)

规格 CE、RoHS

配管 配管规格 Rc1 Rc1 1/2 Rc2

接流体部主材质 铝合金、PPS、HNBR［感测器：Pt、Au、Fe 、铝玻璃（RoHs适用除外材料）、Al2O3］

插座附导线长度 3m

质量 配管规格 Rc 610g 1190g 1680g

插座附导线 +90g

注1）空气品质等级为JIS B 8392-1:2012［3:6:-］、ISO 8573-1:2010［3:6:-］。

注2）设定流量范围与强制零功能的设定连动变化。

注3）使用累计保持功能时，从使用条件计算寿命，请在寿命的范围内使用。记

忆元件（电子零件）的更新次数为150 万次。24小时通电时,寿命如下所示。

　・5分间隔：5分 万次＝750 万分钟＝14.3 年

　・2分间隔：2分 万次＝300 万分钟＝5.7年

累计外部重置返复输入时，寿命会比计算求出的年月短，请注意。

注4）压力范围1.0~1.5 MPa 时，压力特性为0~50℃、25℃基准）。 产品

OUT侧配管孔部请不要以未配管状态对大气开放。大气开放使用时，精度

会有变动的情形。

注5）假定流量从0到额定流量范围的最大值瞬间的变化时（步骤输入），设定值在

额定流量范围的90% 设定时,为流量变化到开关输出ON（OFF）为止的时

间。

注6）流量在设定值附近变动时，不设定变动幅以上的设定幅时，会产生颤动。

注7）模拟输出或外部输入的任何一方，可用按压键操作做选择。请参照类比输

出的图表。

注8）选择0~10V 时，关于容许负荷电流，请参照类比输出的图表。

注9）假定流量从0到额定流量范围的最大值瞬间的变化时（步骤输入），为流量从

变化到类比输出变化的90％ 到达为止的时间。

注10）类比输出或外部输入的任何一方，可用按压键操作做选择。

注11）规格记载的流量，为标准状态的值。

注12）使用附单位切换功能的产品时， 可以选择。

氮气

新款3色显示式数位流量传感器(空气用)/大流量型 PF3A7□H系列

6-50

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

额定流量范围

的最小值

电压输出(1~5V) / 电流输出(4~20mA)

额定流量范围定

的最大值

A

B

0

出

输

电压输出(0~10V)

D

C

0

出

输

模拟输出

流量 / 模拟输出

注1）模拟输出的精度为±3.0%F.S.以下。

注2）A, C与强制零功能的设定连动变化。

注3） 选择0~10V时从连接机器流入模拟输出线的电流

请设定在20μ A以下。20μ A 以上的电流流入时，大

约在0.5V 以下的领域，有可能无法满足精度。

注4）额定流量范围的最小值，与强制零功能的设定值连动

变化。

型号 额定流量范围的

最小值注4）

额定流量范围的

最大值

PF3A703H 30 L/min 3000 L/min

PF3A706H 60 L/min 6000 L/min

PF3A712H 120 L/min 12000 L/min

0L/min A注2） B

电压输出（1~5V） 注1） 1V 1.04V 5V

电流输出注1） 4mA 4.16mA 20mA

0L/min C注2） D

电压输出 注1）注3） 0V 0.1V 10V

额定流量范围 设定流量范围 显示流量范围

型号 流量范围

0L/min 1000 L/min 3000 L/min 6000 L/min 12000 L/min

PF3A703H

PF3A706H

PF3A712H

30L/min

60L/min

120L/min

0L/min

0L/min

0L/min

0L/min

0L/min

0L/min

3000L/min

6000L/min

3150L/min

6300L/min

3150L/min

6300L/min

12000L /min

12600L/min

12600L/min

流量范围

流量 额定流量范围

的最小值

额定流量范围定

的最大值

流量

A

B

F

E

D 1

70 H .5

K L

N

IN OUT

2×管接续口径

选项／部品型号

ZS-37-A

M12插座附导线

型号 记号 A B D E F H K L N

PF3A703H Rc1,NPT1,G1 130 45 79.1 56 22.5 25 35 60 30

PF3A706H Rc11/2,NPT11/2,G11/2 170 60 94.1 71 30 68 45 80 40

PF3A712H Rc2,NPT2,G2 200 70 104.1 81 35 85 50 100 50

管连接口径

(38.6) (3000)

(45)

ø15

4 3 1 2

2: 白

3: 青

M12

4: 黑

1: 茶 Pin 编号 Pin 名称 线色

1 茶

2 白

3 蓝

4 OUT 黑

电缆线材规格表

导体 AWG23

绝缘体 约 1.1mm

茶・蓝・黑・白

外皮 ø4

公称断面积

色调

外径

成品外径

DC(+)

DC()

FUNC

(0~10V)

4xM4X0.7深7

4xM5X0.8深8

4xM6X1.8深9

注) PF3A系列使用的4线式M12插座附导线。

外形尺寸图 (毫米)

新款3色显示式数位流量传感器(空气用)/大流量型 PF3A7□H系列

6-51

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款数字式流量传感器

PF3A7□H-L

共同规格(显示一体型)

流量值与设备状态可透过通信

数据

显示一体型

IP65

诊断内容

型号

电源电压

PF3A703H-L PF3A712H-L

电

气

部

份

开

关

输

出

作为开关输出元件

使用的场台

作为IO-Link设备

使用的场台

输出规格

输出模式

最大外加电压

内部电压降

延迟时间

反应时间

显示

数字式过滤器

认证

模

拟

输

出

显

示

部

份

型号表示方法

03

06

12

导线

输出规格

记号

记号 输出 FUNC*2 适合监控显示器

IO-Link:开关输出(N/P)

PF3A7 03 H 10 L Q

30 ~ 3000 L/min

60 ~ 6000 L/min

120 ~ 12000 L/min

额定流量范围

Q

无记号 M12插座附导线(3m)

M12母插座-M12公插座附导线(3m)

03 06 12

10 1

14 1 1/2

20 2

配管口径(Rc)

额定流量范围 记号 口径

L3

L4

L

IO-Link:开关输出(N/P)

IO-Link:开关输出(N/P)

模拟电压输出*1

外加输入*2

模拟电流输出*1

外加输入*2

PFG300系列

PFG310系列

注1) 1 ~ 5或0 ~ 10V可选

注2) 累计值,峰值,谷值可重新设定

注)有关功能,外型尺寸，可查阅PF3A7□系列或请与SMC联系,也可通过本公司官网下载, https://www.smcworld.com

系列(适合流体: 压缩空气,氮气)

RoHS

PF3A706H-L

24VDC±10%

18 ~ 30VDC±10%

NPN / PNP 可选

15V以下(负载电流80mA时)

3.3ms以下0 ~60 s/0.01 s 为单位可变

1s, 2s, 5s 可选

CE认证(EMC 指令,RoHS 指令)

30V(NPN输出时)

迟滞模式，上下限比较模式，累计输出模式，

累计脉冲输出模式，错误输出，开关输出OFF可选

显示方式 LCD 画面数: 2画面 (主画面与副画面)

显示色 (主画面): 红色、绿色　　显示色 (副画面): 橙色

显示码数 (主画面): 9码 (7段7码)　显示码数 (副画面): 11段2码

连接到数字式流量传感器的设定值

过载电气误差,额定/累计流量

误差流量/温度传感器不良,内

部产品功能失效

IO-Link型

IO-Link版本

通信速度

设定文件

最小循环时间

过程数据长

数据通信请求

数据存储功能

V1.1

COM2(38.4kbps)

IODD文件*1

3.3ms

供应商ID 131(0x0083)

设备ID*2

PF3A703H

PF3A703H

PF3A703H

PF3A706H

PF3A706H

PF3A706H

PF3A712H

PF3A712H

PF3A712H

- -L -

-

-

-

-

-

-

-

-

400(0x0190)

- -L3 401(0x0191)

- -L4 402(0x0192)

- -L 403(0x0193)

- -L3 404(0x0194)

- -L4 405(0x0195)

- -L 406(0x0196)

- -L3 407(0x0197)

- -L4 408(0x0198)

共同规格(IO-Link 模式时)

事件功能

设备

对认

对认

对认

输入数据: 4 byte 输出数据: 0 byte

注1)设定文件可通过本公司官网下载, https://www.smcworld.com

注2) 设备ID在各型号(输出规格)中有所下同

额定流量范围(量程)

6-52

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

型号表示方法

IO-Link型

IO-Link版本

通信速度

设定文件

最小循环时间

过程数据长

数据通信请求

数据存储功能

V1.1

COM2(38.4kbps)

IODD文件 *1

3.3ms

供应商ID 131(0x0083)

设备ID*

2

PF3A701H - -L - : 394(0x018A)

PF3A701H - -L3 - : 395(0x018B)

PF3A701H - -L4 - : 396(0x018C)

PF3A702H - -L - : 397(0x018D)

PF3A702H - -L3 - : 398(0x018E)

PF3A702H - -L4 - : 399(0x018F)

共同规格(IO-Link模式时)

事件功能

设备

对认

对认

对认

输入数据 : 4 byte 输出数据 : 0 byte

注1) 设定文件可通过本公司官网下载, https://www.smcworld.com

注2) 设备ID在各型号(输出规格)中有所下同

L3

输出规格

额定流量范围

记号 输出 FUNC∗1

L4

PF3A7 01 H

*1 模拟输出或外部输入的任何一方，都可按压操作键做选择。出货时，设定成模拟输出。

*2 1~5V或0~10V的任何一方，都可按压操作键做选择。出货时，设定成1~5V。

*3 累计值、峰值、谷值可重置。

01 10~ 1000 L/min

02 20 ~ 2000 L/min

IO-Link/ 开关输出(N/P)

模拟电压输出 ∗2 ⇔ 外部输入∗3

模拟电流输出 ∗2 ⇔ 外部输入∗3

L3 IO-Link/ 开关输出(N/P)

L IO-Link/ 开关输出(N/P)

M12

4针内插头

M12

4针外插头

M12

4针内插头

M12

4针外插头

(直行) (直行)

ø15

38.5 3000 42.5

ø15

No. 1

No. 4

No. 2

No. 3 No. 1

No. 4

No. 2

ø4

配线图

M12 (内)

L+

N.C. 或其他

L−

C/Q

M12 (外)

1

2

3

4

1

2

3

4

可选项

型号: ZS-49-A

M12-M12插头导线

模块式空气用数字式流量传感器

PF3A7□H-L 系列

3色显示式 RoHS

[选项]

No. 3

共同规格

型号

电源电压

PF3A701H-L PF3A702H-L

电

气

规

格

开

关

输

出

作为开关输出元件

使用的场台

作为IO-Link设备

使用的场台

输出规格

输出模式

最大外加电压

内部电压降(残留电压)

延迟时间

反应时间

显示部

数字式过滤器

规格

模

拟

输

出

显

示

部

份

24VDC±10%

21.6 ~ 30 VDC

NPN 开集极回路/ PNP 开集极回路

15V以下(负载电流80mA时)

3.3ms以下0 ~ 60s / 0.01s为单位可变

1s, 2s, 5s 可选

CE, RoHS

30V(NPN输出时)

迟滞模式，上下限比较模式，累计输出模式，

累计脉冲输出模式，错误输出，开关输出OFF任选

连接到设定值的数字式过滤器

显示方式LCD，画面数 : 2画面 (主画面与副画面)

显示色 (主画面) : 红色，绿色

显示色 (副画面) : 橙色

显示码数 (主画面): 9码 (7段7码，11段2码)

6-53

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

型号表示方法

1000 L/min

(PF3A701H)

2000 L/min

(PF3A702H)

AC30-D AC40-D 流量范围

1000 L/min

2000 L/min

系列

PF3A701H(-L)

PF3A702H(-L)

空气过滤组合安装示意图

对应 AC30B-D + PF3A701H-CS

配管连接件

E300-03-D

带托架隔板

Y300T-D

模块式空气过滤器

AF30-03-D

模块式减压器

AR30-03E-D

模块式数字式

流量传感器

对应 AW30-D + PF3A701H-CS

配管连接件

E300-03-D

带托架隔板

Y300T-D

显示部90° 回转

模块式过滤减压器

AW30-03E-D

模块式数字式

流量传感器

外形尺寸图 (毫米)

D

E

F

30.6

1.5

A

45

B

100

80

最高转角度: 90° 显示回转部

份直径

显示部份转动

PF3A701H/702H

A B D E F

PF3A701H 68.3 43 64.4 55.4 28.9

PF3A702H 72.3 51 73 71 35.5

型号 A B C D E

AC30-D 68.3 43 64.4 55.4 28.9

AC40-D 72.3 51 73 71 35.5

D

C

E

A B

IN OUT

安装例

可选项

M12

4针内插头

M12

4针外插头

M12

4针内插头

M12

4针外插头

(直行) (直行)

ø15

38.5 3000 42.5

ø15

No. 1

No. 4

No. 2

No. 3 No. 1

No. 4 No. 3

No. 2

ø4

M12 (内)

L+

N.C. 或其他

L−

C/Q

配线图

M12 (外)

ZS-49-A

M12-M12插头导线

型号:

1

2

3

4

1

2

3

4

3色显示式 RoHS 模块式空气用数字式流量传感器

PF3A701H / 702H 系列

适合空气过滤

组合系列

输出规格

记号 输出 FUNC∗1

CS NPN 模拟电压输出∗2 ⇔ 外部输入∗3

模拟电流输出∗2 ⇔ 外部输入∗3

模拟电压输出∗2 ⇔ 外部输入∗3

模拟电流输出∗2 ⇔ 外部输入∗3

DS NPN

额定流量范围

01 10~1000 L/min

02 20~2000 L/min

ES PNP

FS PNP

CS

*1 模拟输出或外部输入的任何一方，都可按压操作键做选择。出货时，设定成模拟输出。

*2 1~5V或0~10V的任何一方，都可按压操作键做选择。出货时，设定成1~5V。

*3 累计值、峰值、谷值可重置。

PF3A7 01 H

6-54

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

共同规格

型式 PF3A701H PF3A702H

流体 适用流体注1）

适用流体温度 0～50℃

流量规格

检出方式 热式

额定流量范围 10～1000 L/min 20～2000L/min

设定流量范围注2） 瞬间流量 10～1050 L/min 20～2100L/min

累计流量 0～999,999,999,990L

设定最小单位 瞬间流量 1L/min 2L/min

累计流量 10L

累计脉冲的换算值

（脉冲幅=50msec） 可选择10L/pulse或100L/pulse

累计保持功能注3）

压力规格

额定压力范围 0.1～1.0MPa

耐压力 1.5MPa

压力特性注4） ± 5%F.S.(0~1.0MPa、0.5MPa基准)

电气规格

电源电压

消耗电流 150mA以下

保护 逆连接保护

精度

显示精度

模拟输出精度

往复精度

温度特性 ± 5.0%F.S.(周围温度0～50℃、25℃基准）

传感器输出

输出形式 NPN开集极回路

PNP开集极回路

输出模式 可选择瞬间输出（设定点模式、设定区间模式）、累计输出、累计脉冲输出

开关动作 可选择正转输出、反转输出

最大负荷电流 80mA

最大输入电压（只限NPN） DC28V

内部下降电压（残留电压） NPN输出型：1V以下（负荷电流80mA 时）

PNP输出型：2V以下（负荷电流80mA 时）

应答时间注5） 可选择1s、2s、5s

应差注6） 从0开始可变

保护 过电流保护

模拟输出注7）

输出形式 电压输出：1～5 V（0～10V 也可选择注8））、电流输出：4～20mA

阻抗 电压输出 输出阻抗约1kΩ

电流输出 最大负荷阻抗约600Ω

应答时间注9） 与开关输出的应答时间连动

外部输入注10）

输入形式 无电压输入：0.4V 以下

输入模式 可选择累计值重置、峰值・谷值重置

输入时间 30ms 以上

显示

显示单位基准注11） 可选择标准状态、基准状态

单位注12） 瞬间流量 L/min, CF M（ft 3/min ）

累计流量 L, ft 3

显示可能范围注13） 瞬间流量 0～1050L/min

（10 L/min 未满以0表示）

0～2100L/min

（20 L/min 未满以0表示）

累计流量 0~999,999,999,990L

显示最小单位 瞬间流量 1L/min 2L/min

累计流量 10L

显示部

显示方式 LCD　　画面数：2画面（主画面与副画面）

显示色（主画面）：红色、绿色　　显示色（副画面）：橙色

显示码数（主画面）：4码7段 显示码数（副画面）：6码7段

动作显示灯 OUT指示灯：输出ON时亮红色灯

耐环境

保护等级 IP65

耐电压 AC1000V 1 分钟 充电部与外壳之间

绝缘阻抗 50M Ω（DC500V 高阻计量测） 充电部与外壳之间

使用温度范围 动作时：0～50℃、保存时：-10~60 ℃（ 不冷凝及结冰）

使用湿度范围 动作时及保存时：35～85％RH（不冷凝）

规格 CE、RoHS

接流体部主材质 SUS304、铝合金、PPS、HNBR感测器：Pt、Au、Ni、Fe、铝玻璃 (RoHs适用除外材料） 、Al2 O3］

插座附导线长度 3m

质量 阀体 350g 400g

插座附导线 ＋90g

注1）空气品质等级为JIS B 8392-1:2012［4:6:-］、ISO 8573-1:2010［4:6:-］。

注2）设定流量范围与强制零功能的设定连动变化。

注3）使用累计保持功能时，从使用条件计算寿命，请在寿命的范围内使用。记

忆元件（电子零件）的更新次数为150 万次。24小时通电时,寿命如下所示。

　・5分间隔：5分 万次＝750 万分钟＝14.3 年

　・2分间隔：2分 万次＝300 万分钟＝5.7年

累计外部重置返复输入时，寿命会比计算求出的年月短，请注意。

注4）产品OUT侧配管孔部请不要以未配管状态对大气开放。大气开放使用时，

精度会有变动的情形。

注5）假定流量从0到额定流量范围的最大值瞬间的变化时（步骤输入），设定值在

额定流量范围的90％设定时,为流量变化到开关输出ON（OFF）为止的时

间。

注6）流量在设定值附近变动时，不设定变动幅以上的设定幅时，会产生颤动。

注7）模拟输出或外部输入的任何一方，可用按压键操作做选择。

出的图表。

注8）假定流量从0到额定流量范围的最大值瞬间的变化时（步骤输入），为流量从

变化到类比输出变化的90％ 到达为止的时间。

注9） 模拟输出或外部输入的任何一方，可用按压键操作做选择。

注10）规格记载的流量，为标准状态的值。

注11）使用附单位切换功能的产品时， 可以选择。

可选择2分间隔、5分间隔

压缩空气、氮气

DC24V±10%

±3.0%F.S.

±3.0%F.S.

±1.0%F.S.

3色显示式 模块式空气用数字式流量传感器 PF3A701H / 702H系列

6-55

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

共同规格

1L/pulse

适用流体

流体温度范围

检出方式

额定流量范围

设定流量范围

设定最小单位

累积脉冲流量换算值(脉冲宽50ms)

额定压力范围

耐压力

压力特性 注1)

电源电压

消耗电流

保护

显示精度

高精度模拟输出

重复精度

温度特性

输出形式

开关动作

最大负荷电流

最大电压(NPN)

内部下降电压(残留电压)

响应时间 注2)

保护

输出形式

阻抗

响应时间

外部输入规格

输入模式

显示单位基准 注5)

显示模式

单位 注6)

显示范围

显示最小单位

显示器

动作显示灯

保护结构

耐电压

绝缘性能

使用温度范围

使用湿度范围

配管规格

配管方向

主体带导线

面板安装托架

托架

瞬时流量

累积流量

瞬时流量

累积流量

型式

型号

流体

压力规格

精度

模拟输出

电源规格

流量规格

瞬时流量

累积流量

瞬时流量

累积流量

瞬时流量

累积流量

电压输出

电流输出

规格

接触流体部分材质

模拟输出

注3)

注4)

显示

耐环境

重量

配件

配管

外部输入

2～200L/min

2～210L/min

0～999,999,999L

1L

0～0.75MPa

1.0MPa

±5％满刻度(0～0.75MPa、0.35MPa时)

L,ft

3

可选

-10～210L/min

(-1～1L/min显示屏［0］)

1L

方式:LED 颜色：红色、绿色 位数：3位7段

ON输出时：OUT1:绿灯，OUT2:红灯

CE、UL(CSA)、RoHS

快接接头ø8

直配管、弯头配管

FKM、SUS304、PPS、PBT、

黄铜(无电解化学镀镍)、HNBR、Si、Au、GE4F

ZS-33-M

ZS-33-J

ZS-33-MS ZS-42-C ZS-42-D

ZS-33-JS

PFMB7201-C8□-△ PFMB7201S-C8□-△ PFMB7501-04-△ PFMB7102-04-△ PFMB7202-06-△

10L/pulse

空气、N2(空气质量等级JISB8392-1 1.1.2～1.6.2，ISO8573-1)

-25～525L/min

(-4～4显示屏［0］)

0～999,999,990L

10L

0～0.8MPa

1.2MPa

±5％满刻度(0～0.8MPa、0.6MPa时)

10L

方式:LCD 颜色：红色、绿色 位数：4位7段

ON输出时：OUT1/OUT2:橙灯

CE、RoHS

Rc1/2 Rc3/4

ADC、PPS、SUS304、Au、

HNBR、Si、GE4F

―

0～50°C

热式

标准型 带流量调节器 标准型

5～500L/mim

5～525L/mim

1L/min

DC12～24V±10％

55mA以下

逆接保护

±3％满刻度

±3％满刻度

±1％满刻度(响应时间0.05s时±2%满刻度.)

±5％满刻度 (0～50°C、25°C基准)

NPN开路集电极，PNP开路集电极

正转输出，反转输出可选

80mA

DC28V

NPN：1V以下(负载电流80mA) PNP：2V以下(负载电流80mA)

0.05s、0.1s、0.5s、1s、2s可选

短路保护

电压输出：1～5V、电流输出：4～20mA

1kΩ输出阻抗

24V电压时最大阻抗300Ω，12V电压时最大阻抗600Ω

输出切换的响应时间(当步骤输入，范围0到额定最大流量和瞬时值改变，模拟输出变化量达90%的时间)

输入电压：0.4V以下(有触点或无触点)、输入时间：30ms以上

累积复位选择：峰值和谷值复位

标准状态、基准状态选择

瞬时流量显示、累积流量显示选择

L/min,cfm可选

0～999,999,999L

1L/min

IP40

带电部件与外壳直接 AC1000V 1分钟

50MΩ以上(DC500V带电部与外壳之间)

动作时：0～50°C、保存时：-10～60°C(未冻结)

动作时，保存时：35～85％RH(未冻结)

-50～1050L/min

(-9～9显示屏［0］)

-100～2100L/min

(-19～19显示屏［0］)

135g 155g

10～1000L/mim

10～1050L/mim

20～2000L/mim

20～2100L/mim

快接接头ø8型直配管85g，背面配管100g

注1) OUT端口管道不能直接接大气，否则会改变使用精度。

注2)当步骤输入，范围0到额定最大流量和瞬时值改变，模

拟输出变化量达90%的时间，这时间段开关量输出 ON，

OFF 直到。

注3)只有模拟输出的产品。

注4)外部产品输入使用场合。

□-代表配管方向

无: 直配管

L : 弯头配管

△-代表输出规格

A: OUT1 NPN ，OUT2 NPN

B: OUT1 PNP ，OUT2 PNP

C: OUT1 NPN ，OUT2 模拟1~5V

D: OUT1 NPN ，OUT2 模拟4~20mA

其他规格请联系SMC

·流量范围扩大。

·节省空间，结构紧凑。

·2色显示数字流量传感器

·流量调节器一体化(任选项)

·响应速度可选择：

50msec(0.05sec)/ 0.1sec/

0.5sec/1.0sec/ 2.0sec

[只适用7201型]

新款2色显示数字式流量传感器(空气用)

PFMB7系列 RoHS ®

6-56

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

PFMB7201-C8 PFMB7201S-C8

PFMB7201-C8L PFMB7201S-C8L

(带流量调节器)

(带流量调节器)

18

48

58

88

1 IN

DC（－） DC（＋）

OUT1 OUT2

2× ø8 快接接头

10.2

3

（34.2）

12 43 1

18

68

51.5（最大58.5）

2×3.4 IN OUT

1 IN

DC（－）

OUT1

DC（＋）

OUT2

2× ø8 快接接头

18

48

58

76

96

51.5（最大58.5）

13

（34.2）

3

10.2

43 1

18

2×3.4

IN OUT

28 20

8 3×2.5 深5

2×2.5 深5

28

8

18

48

68

1 IN

OUT1

DC（－）

OUT2

DC（＋）

2× ø8 快接接头

1 IN

2× ø8 快接接头

OUT1

DC（－）

OUT2

DC（＋）

18

48

88

18

68

10.2

（

3

34.2）

1 43 12

2×3.4 OUT IN

18

10.2

1 43

3

13

（34.2）

2×3.4

IN OUT

28

8 2×2.5 深5

28

8

2×2.5 深5

22

14.8 9.4

导线连接头保护套

PFMB7501/7102/7202

记号

型式 A B D E F H K L N

PFMB7501/7102 70 30 43.7 37.2 15 14 26 18 13.6

PFMB7202 90 35 49.2 42.7 17.5 24 31 28 16.8

记号

型式

托架尺寸

S T U V W

PFMB7501/7102 24 22 32 40 50

PFMB7202 30 30 42 48 58

2 配管口径

D 1.5

E

F

5

1.5

A

B

S T

U

V

W

4

4.5

IN OUT

H 42

（10.2）

K L

N

4

ø2.7 深4

新款2色显示数字式流量传感器PFMB7系列

外形尺寸图 (毫米)

6-57

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

选项/部品型号

型号 备注

ZS-40-A M8插座附电线 长度: 3m

ZS-42-A 托架 PFMC7501/7102安装用螺丝(附M3x5, 2支)

ZS-42-B 托架 PFMC7502安装用螺丝(附M3x5, 2支)

额定流量范围

的最小值

额定流量范围

的最大值

A

B

C

0

流量

输

出

模拟输出

流量／模拟输出 型式 额定流量范围的

最小值

额定流量范围的

最大值

PFMC7501 5L/min 500L/min

PFMC7102 10L/min 1000L/min

PFMC7202 20L/min 2000L/min

A B C

电压输出 1V 1.04V 5V

电流输出 4mA 4.16mA 20mA

新款3色显示数字式流量传感器

PFMC系列

RoHS ®

共同规格

选配

A

输出规格

记号 OUT1 OUT2

A NPN NPN

B PNP PNP

C NPN 模拟输出（1～5V）

D NPN 模拟输出（4～20mA）

校正证明书

无记号 无

A 有

PFMC 7 501 04

额定流量范围

501 5～500L/min

102 10 ～1000L/min

202 20 ～2000L/min

配管口径

记号 口径 额定流量范围

501 102 202

04 1/2 ● ● ―

06 3/4 ― ― ●

型号表示方法

逆时钟回转

90°

顺时钟回转

225°

显示部回转

依设置条件，显示部可每45o

回转。操作性、辨识性提升。

逆时钟回转

顺时钟回转

90°

225°

型号 PFMC7501 PFMC7102 PFMC7202

流体 适用流体 乾燥空气、N2

流体温度范围 0 ~ 50℃

流量规格

检测方式 热式

额定流量范围 5 ~ 500L/min 10 ~ 1000L/min 20 ~ 2000L/min

设定流量

范围

瞬间流量 5 ~ 525L/min 10 ~ 1050L/min 20 ~ 2100L/min

累计流量 0 ~ 999,999,990L

设定最小

单位

瞬间流量 1L/min

累计流量 10L

累计脉冲的换算值

(脉冲幅=50m sec.) 1L/脉冲 10L/脉冲

累计保持功能注1) 可选择2分间隔, 5分间隔

压力规格

额定压力范围 0 ~ 0.8MPa

耐压力 1.2MPa

压力损失 参照压力损失图

压力特性注2)

电气规格

电源电压

消耗电流 55mA以下

保护 逆接续保护

精度

显示精度

类比输出精度

往复精度

温度特性

开关输出

输出型式 NPN开集极回路

PNP开集极回路

输出模式 可选择设定点模式、设定区间模式、累计输出模式、累计脉冲输出模式

开关动作 可选择正转输出、反转输出

最大负载电流 80mA

最大外加电压(只有NPN) DC28V

内部下降电压

(残留电压)

反应时间注3) 可选择0.05秒、0.1秒、0.5秒、1秒、2秒

应差注4) 从0开始可变

保护 短路保护

模拟输出注5)

输出型式 电压输出：1~5V、 电流输出：4~20mA

阻抗

电压输出 输出阻抗约1kΩ

电流输出

最大负载阻抗：电源电压24V时：600Ω

电源电压12V时：300Ω

最小负载阻抗：50Ω

反应时间注6) 与开关输出的反应时间连动

外部输入注7) 外部输入规格 输入电压：0.4V以下(有接点或无接点)、 输入时间：30msec.以上

输入模式 可选择累计外部重置、峰值・谷值

显示

显示单位基淮注8) 可选择标淮状态、基淮状态

单位注9) 瞬间流量 L/min、cfm（ft3/min）

累计流量 L、ft3

显示可能

范围

瞬间流量 25 ~ 525L/min

(4 ~ 4以[0]显示)

-50 ~ 1050L/min

(19 ~ 19以[0]显示)

100 ~ 2100L/min

累计流量 0~999,999,999L

显示最小

单位

瞬间流量 1L/min

累计流量 10L

显示部

显示方式：LCD画面数：2画面显示(主画面与子画面)

显示色 主画面：红色・绿色 子画面：白色

显示码数 主画面：4码7段 子画面：6码11段

动作显示灯 开关输出ON时亮灯(OUT1/OUT2 : 橙色)

耐环境

保护构造 IP65

耐电压 AC250V1分钟充电部与外壳之间

绝缘阻抗 2MΩ以上(DC50V高阻计量测)充电部与外壳之间

使用温度范围 动作时：0~50℃、保存时：10 ~ 60℃（不冷凝及不结冰）

使用湿度范围 动作时・保存时：35 ~ 85％RH（不冷凝及不结冰）

规格 CE、RoHS

配管规格 Rc1/2 Rc3/4

接流体部材质 SUS304、PPS、铝合金、HNBR、Si、Au、GE4F

质量

配管规格 Rc螺牙 160g 240g

导线 ＋80g

托架 ＋25g ＋30g

±5%F.S.(0 ~ 50˚C, 25˚C基准)

±5%F.S.(0 ~ 0.8MPa, 0.6MPa基准)

±1%F.S.(反应时间选择0.05s时为±2%F.S.)

±3%F.S.

±3%F.S.

DC12 ~ 24V±10%

连波(p-p)10%以下

NPN输出型 : 1V以下(负载电流80mA时)

PNP输出型 : 1.5V以下(负载电流80mA时)

(-9 ~ 9以[0]显示)

6-58

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

记号

型式 配管口徑 A B D E F H K L N

PFMC7501/7102 Rc1/2 70 30 60.6 41.2 15 14 26 18 13.6

PFMC7202 Rc3/4 90 35 66.1 46.7 17.5 24 31 28 16.8

记号

型式

托架尺寸

S T U V W

PFMC7501/7102 24 22 32 40 50

PFMC7202 30 30 42 48 58

PFMC7501/7102/7202

F

E

5 D 1.4

1.5 2 配管口径

(35.5) 42

H

IN OUT

K L 2 M3 0.5 深5

N

50

A

B

V

W

S

U

T 4

4.5

IN侧 OUT侧

直管长

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

精度 [%F.S.]

直管长 [CM]

IN侧直管长与精度（参考值）

·产品IN侧的配管，请设置8cm以上的直管部。

不设置直管部的场合，精度可能有 程度变动的情形。

※直管部指没有弯曲配管与配管断面积急遽变化的部分。

·PFMC7501/7102使用气压管配管时，产品之前的气压管请使用内径9mm以上的产品。

使用上述以外的气压管时，精度可能有 程度变动的情形。

压缩空气的场合

乾燥机

IDF/IDU AF AR AMD/AFD PFMC

推荐空气压回路例 空气过滤器 调压阀 微油雾分离器 流量传感器

依累计显示，确认气体钢瓶

(N2等)的使用流量或残馀量

主管路、分歧管路的

流量管理

应用例

用累计脉冲，

可远距管理

注) 本产品，不是防爆规格。

涂装空气的流量管理

外形尺寸图 (毫米)

新款3色显示数字式流量传感器 PFMC系列

6-59

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款水用数字式流量传感器 RoHS

PF3W7-Z 系列

PF3W7 04 03 AT MZ

➊ ➋ ➌ ➍

共同规格(显示一体型)

1) 3mPa·s 3cP

2) 0.5s 3%F.S.

3)

4) OFF ( 2 5 ) 5 ( ) 100 (24

5 100 500 9.5 )

5) 90% ( 7s )

6) 90% ( 7s )

7) AC250V

PF3W704 PF3W720 PF3W740 PF3W711

( 3mPa·s 3cP ) 1)

0.5~4L/min 5~40L/min

0.35~5.50L/min

( 0.35L/min 0.00)

3.5~55.0L/min

( 3.5L/min 0.0)

0.35~5.50L/min 3.5~55.0L/min

0.01L/min 0.1L/min

( 50ms) 0.05L/pulse

2~16L/min

1.7~22.0L/min

( 1.7L/min 0.0)

1.7~22.0L/min

0.1L/pulse 0.5L/pulse

10~100L/min

7~140L/min

( 7L/min 0)

7~140L/min

1L/min

1L/pulse

0~90 ( )

L/min L

3%F.S. 3%F.S.

2%F.S. 2)

5%F.S.(25 ) 3) 0~1MPa 3) 1.5MPa

( ) 45kPa

4) 99999999.9L

0.1L 0.5L

999999999L

1L

NPN PNP

80mA

DC28V

NPN 1V ( 80mA ) PNP 1.5V ( 80mA )

0.5s/1s/2s 2) 5)

0.5s/1s/2s( )

1~5V 1k

6)

4~20mA DC12V 300 DC24V 600

0.4V ( ) 30ms

2 ( 4 7 2 / 6 11 ) 5 /

1 2

DC12~24V 10%

50mA

IP65

0~50 ( )

35~85% R.H.( ) 7) AC1000V 1

50M (DC500V )

CE (EMC · RoHS ) UL(CSA)

PPS, SUS304, FKM, SCS13

3/8 3/8, 1/2 1/2, 3/4 3/4, 1

153g 171g 228g 720g

166g 184g 248g 748g

241g 259g 429g

254g 272g 449g

/

/

/

/

85g

(Rc)

➊ ( )

04 0.5~4 L/min

20 2~16 L/min

40 5~40 L/min

11 10~100 L/min

➌

04 20 40 11

03 3/8

04 1/2

06 3/4

10 1/1

➋

04 20 40 11

S

1) 100L/min

2)

➍ /

OUT1 OUT2

A NPN NPN

B PNP PNP

C NPN 1~5V

D NPN 4~20mA

E PNP 1~5V

F PNP 4~20mA

G NPN 1)

H PNP 1)

AT NPN (NPN) 2) NPN

BT PNP (PNP) 2) PNP

CT NPN ( 1~5V) 2) 1~5V

DT NPN ( 4~20mA) 2) 4~20mA

ET PNP ( 1~5V) 2) 1~5V

FT PNP ( 4~20mA) 2) 4~20mA

1)

2) OUT2 /

1) 2

2) PF3W( )

1)

ZS-40-K 1 PF3W704/720/504/520 (3 8)4

ZS-40-L 1 PF3W740/540 (3 8)4

ZS-40-M 1 PF3W711/511 (4 10)4

M8 ZS-40-A 1 3m

1)

0~90

2)

0~100 1)

/ -10~110

1

2

3%F.S.

7s 2)

5%F.S.

(Rc)

3 · 2

&

0~90

IN OUT

OUT IN

OUT

带插头的导线

45°/

型号表示方法

例)温控器循环液的流量管理

客户端装置

带插头

的导线

-10

1oC

110 可显示范围 : ~ oC

(温度传感器单体)

最小设定单位 :

摸拟输出 :

电流输出/电压输出

减少配管工时

节省空间

为适应安装条件, 显示部

可按45o

/转旋转。

操作性、可视性加强。

逆时针旋转可达90o

顺时针旋转可达225o

旋转180o

旋转90o

0o (不旋转)

6-60

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

2流体混合使用对应

1集装式

温控器进行维护时，需要使用压缩空气和水混合进行清洗，使用本产品可以快速对应温控器的维护。

最大10位集装

组合型 快速组合对应型

分离集装式

供给单元（水供给）和

回水单元（水排出）组合一体

快速组合模组可以

安装在供给区域

冷却部

冷却部

冷却部

供给单元

（水供给）

回水单元

（水排出）

温控器

空气

冷却部

冷却部

冷却部

供给单元

（水供给）

空气

水排出

水供给

2流体切换阀

（BV1,2）

冷却单元

排水

（水+空气）

排水

（水+空气）

温控器

空气供给

堵头 堵头 堵头堵头

空气供给 排水(水+空气)

BV2

BV1

BV2

BV2

BV2

BV1

BV1

BV1

PF3W

PF3W

PF3W

BV1

BV1

BV2

BV2

冷

却

部

供给单元（水供给），回水单元（水排出）

单独分开，方便客户自由选择布局。

冷却部

冷却部

冷却部

水排出

水供给

供给单元

（水供给）

温控器

回水单元

（水排出）

回水单元

（水排出）

无需配管

回水单元

（水排出）

供给单元

（水供给）

水排出

水供给

3色显示水用

数字式流量传感器

截止阀

节省空间:最大消减 85%

额定流量：

※2流体混合使用对应时

0.5~4L/min

共同规格

型号

重复精度

无润滑脂规格

PPS, SUS303, SUS304,

接液部材质 SUS316, FKM, SCS13

PF3W504S-03-1T-X391

± 5% F.S.

温度感应器规格

使用流体温度

模拟输出精度

反应时间

环境温度特性 5% F.S.

7s

0 ~ 100o

C

3% F.S.

注1) 以上特注品型号为3位集装设计，若要其他配置查询，请与SMC公司联络。

注2) 有关PF3W详细参数资料，请参阅中文样本书或与SMC公司联络。

水用集装式流量传感器 RoHS

PF3W540-X391系列

6-61

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

接线

插头部

针脚序号

针脚序号 针脚名称

回水

单元

供给

单元

输入 输出

输出

汇流板分布

位置号 位置号

单元 供给单元

供给单元进水位设置

位置号 备注

小流量

(4L)

接管口径 总数量 符号

流量

调节阀

组态

1~3 Rc 3/8 三个 SS1-3

总数量

三个

供给单元

供给单元回水位设置

备注

小流量

(4L)

流量

感应器

组态

单元

位置号

1~3

额定流量

0.5-4

接管口径

Rc 3/8

型号

PF3W504-03-1T

模拟

输出

流量

流体温度 / 模拟输出

流体温度

操作压力(Mpa)

保证压力(Mpa)

模拟

输出

外形尺寸图 (毫米)

操作压力与保证压力关系

43.4 119 2.4

6.5 6.5

46 46

6.5 6.5

23 40

80225 199

10

U side

3

2

1

D side

U side

D side

Rc 1/2

OUT

IN

Rc 1/2

输入3

Rc 3/8

输入2

Rc 3/8

输入1

Rc 3/8

输入

输入3

Rc 3/8

输入2

Rc 3/8

输入1

Rc 3/8

Rc 1/2

OUT

IN

Rc 1/2

(186) (35.5) 86.5

42

111.9

60 3.5

(130.8)

86.5

233.5

60

1

2

3

3

DC(+)

OUT 2

OUT 1

DC(-)

3 1

4 2

棕: DC(+)

白: OUT2

蓝: DC(-)

黑: OUT1

流量 / 模拟输出

5v 5.4v

0.6v

1v 1.5v

1v

0 0.5 4

[L/min]

5v

-10o

C 0o

C -100o

C 110o

C

1.6

1.4

1.2

1

0.8

0.8

0.4

0.2

0

压力[MPa]

0 20 405060 8090100

流体温度[o

C]

水用集装式流量传感器 PF3W540-X391系列

6-62

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款水用数字式流量传感器

PF3W7-L 系列

新款水用数字式流量传感器

PF3W5-Z系列

➊ ( )

04 0.5~4 L/min

20 2~16 L/min

40 5~40 L/min

11 10~100 L/min

➋

04 20 40 11

S

1) 100L/min

2)

➍ /

OUT1 OUT2

/ /

L IO-Link/ (N/P)

L2 IO-Link/ (N/P) (N/P)

LT IO-Link/ (N/P)

L2T IO-Link/ (N/P) (N/P)

/

) L L2 L2T

➊ ➋

➌ ➍

PF3W 04 03 LT -MZ

PF3W 12 LT -M

0.5~4L/min 2~16L/min

5~40L/min 10~100L/min

50~250L/min

32.8 100 42.2

3

4 2

1

2

4 1

3

M8

M8 M12

ZS-40-M12M8-A M12

M12-M8

M8 /M12-M8

PF3W( )

➀

➁

➂

➃

➀

➁

➂

➃

可选项

型号:

7

7 21

共同规格(显示一体型)

PF3W704-L PF3W720-L PF3W740-L PF3W711-L PF3W721-L

1) 999,999,999.9L 9,999,999,999L

0.1L 1L

30V(NPN )

1.5V ( 80mA )

2) 3.5ms

0~60s/0.01

OFF

DC12~24V (p-p)10%

IO-Link DC18~30V (p-p)10%

3) 0.5s/1.0s/2.0s/5.0s/10.0s/15.0s/20.0s/30.0s

AC250V 1

CE (EMC · RoHS )

1) OFF

5 ( ) 370 (24 5 (370 ) 1850 35 )

2)

3) 90%

( 7s )

1) https://www.smc.com.cn

2) ID ( )

(IO-Link )

IO-Link

IO-Link V1.1

COM2(38.4kbps)

IODD 1)

3.5ms

6byte 0byte

ID 131(0x0083)

ID 2)

PF3W704 - -L - Z 352(0x0160)

PF3W720 - -L - Z 353(0x0161)

PF3W740 - -L - Z 354(0x0162)

PF3W711 - -L - Z 355(0x0163)

PF3W721 - -L - 356(0x0164)

PF3W704 - -L T- Z 357(0x0165)

PF3W720 - -L T- Z 358(0x0166)

PF3W740 - -L T- Z 359(0x0167)

PF3W711 - -L T- Z 360(0x0168)

PF3W721 - -L T- 361(0x0169)

➌

04 20 40 11 21

03 3/8

04 1/2

06 3/4

10 1

12 1-1/4

14 1-1/2

(Rc)

➊ ( )

04 0.5~4 L/min

20 2~16 L/min

40 5~40 L/min

11 10~100 L/min

➋

04 20 40 11

S

1) 100L/min

2)

➌

04 20 40 11

03 3/8

04 1/2

06 3/4

10 1/1

➍ /

OUT1 OUT2

1 1~5V

2 4~20mA

1T 1~5V 1~5V

(PF3W3 ) 1~5V

( -1 -1T )

04 03 -Z

➊ ➋ ➌ ➍

PF3W5 1T

1)

0~90

2)

1) P.13

3mPa·s 3cP

2) P.11

3) 90%

( 7s )

4) AC250V

( 3mPa·s 3cP ) 1)

2

2)

( )

3)

4~20mA DC12V 300 DC24V 600

( )

4)

0~90 ( )

3%F.S.

2%F.S.

5%F.S.(25 )

0~1MPa 2)

1.5MPa

45kPa

1s

1~5V 1k

DC12~24V 10%

30mA

IP65

0~50 ( )

35~85%R.H.( )

AC1000V 1

50M (DC500V )

CE (EMC · RoHS ) UL(CSA)

PPS, SUS304, FKM, SCS13

/

/

/

/

PF3W504

0.5~4L/min

3/8

138g

151g

226g

239g

PF3W520

2~16L/min

3/8, 1/2

156g

169g

244g

257g

PF3W540

5~40L/min

1/2, 3/4

213g

233g

414g

434g

PF3W511

10~100L/min

3/4, 1

705g

728g

85g

0~100 1)

3%F.S.

7s 2)

5%F.S.

共同规格(分离型传感器部)

(Rc)

(Rc)

RoHS

RoHS

6-63

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

IN OUT

3

G

B

0

Z 2×

D

E

Y 1.4

F J

U

A

V

W

4×WX

S T

42

H

35.5

AA

K L

4×P

N

PF3W704(-L)/720(-L)/740(-L)/711(-L)/721(-L)

2×

G

G

PF3W721-L

2×

G

AA

PF3W711(-L)

(mm)

3 1

4 2

1 DC( )

2 OUT2

3 DC( )

4 OUT1

(Rc) A AA B D E F G H J K L N P S T U V W WX Y Z

PF3W704(-L) 3/8 70 50 30 60 40.6 15.2 20.9 14 35 26 18 13.6 ø2.7 14 24 22 32 40 50 4.5 5 1.5

PF3W720(-L) 3/8, 1/2 78 54 30 60 40.6 15.2 20.9 18 39 30 18 13.6 ø2.7 12 28 22 32 40 50 4.5 5 1.5 23.9

PF3W740(-L) 1/2, 3/4 98 71 38 68 48.6 19.2 23.9 28 49 35 28 16.8 ø2.7 12 34 30 42 48 58 4.5 5 1.5 29.9

PF3W711(-L) 3/4, 1 124 92 46 77 57.6 23.0 41 41 63 48 28 18.0 ø3.5 14 44 36 48 58 70 5.5 7 2.0

PF3W721-L 1 1/4, 1 1/2 104 74 56 91 71.6 28.5 54 31 52 39.5 25 27.5 ø3.5 14

PF3W504/520/540/511 Y

F

E

DD

G Z 2×

A

J

30

B

S

U

T

V

W

4×WX

IN OUT

42

35.5

H

AA

4×P

K L

N

N P S T U V W WX Y Z

13.6 ø2.7 14 24 22 32 40 50 4.5 5 1.5

13.6 ø2.7 12 28 22 32 40 50 4.5 5 1.5

16.8 ø2.7 12 34 30 42 48 58 4.5 5 1.5

18.0 ø3.5 14 44 36 48 58 70 5.5 7 2.0

(mm)

(Rc) A AA B DD E F G H J K L

PF3W504 3/8 70 50 30 45.6 40.6 15.2 20.9 14 35 26 18

PF3W520 3/8, 1/2 78 54 30 45.6 40.6 15.2 20.9 18 39 30 18 23.9

PF3W540 1/2, 3/4 98 71 38 53.6 48.6 19.2 23.9 28 49 35 28 29.9

PF3W511 3/4, 1 124 92 46 62.6 57.6 23.0 41 41 63 48 28

PF3W504

PF3W520

PF3W540

PF3W511

AA

A

11

A

AA 11

PF3W704/720/740- - T

PF3W704/720/740-L T

/

PF3W504/520/540- - T

/

(mm)

A AA

PF3W704/504- - T 81 50

PF3W720/520- - T 89 54

PF3W740/540- - T 109 71

A

AA 11

A

AA 11

(mm)

A AA

PF3W711/511- - T 135 92

PF3W721- - T 115 74

PF3W711/721- - T

PF3W711/721-L T

/

PF3W511- - T

/

Q

B

AA F

K L

N

A

S T

D

A

D

S T

Q

B

AA F

K L

N

4×P

4×P

PF3W704S(-L)/720S(-L)/740S(-L)

/

PF3W504S/520S/540S

/

(mm)

A AA B D F K L N P Q Q S T

PF3W704S(-L)/504S 104 50 63.6 (MAX68.6) 70.2 34 58.5 18 13.6 ø2.7 10 ø19 6 56.5 22

PF3W720S(-L)/520S 112 54 63.6 (MAX68.6) 74.2 34 62.5 18 13.6 ø2.7 10 ø19 6 60.5 22

PF3W740S(-L)/540S 142 71 75.25 (MAX81) 94.5 44 79.0 28 16.8 ø2.7 10 ø28 7 78.0 30

A

S

D

AA 11

K

S

D

A

AA 11

K

PF3W704S/720S/740S- - T

/ ·

PF3W504S/520S/540S- - T

/ ·

(mm)

型号 A AA D K S

PF3W704S/504S- - T 115 50 81.2 69.5 67.5

PF3W720S/520S- - T 123 54 85.2 73.5 71.5

PF3W740S/540S- - T 153 71 105.5 90.0 89.0

外形尺寸图 (毫米)

新款水用数字式流量传感器PF3W7-L / PF3W5-Z系列

6-64

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款水用数字式流量显示器

PF3W3 系列

PF3W 30 A

(1 )

e-con

1

M3×8L

M3×8L

OUT2

OUT1 OUT2

A NPN NPN

B PNP PNP

C NPN 1~5V

D NPN 4~20mA

E PNP 1~5V

F PNP 4~20mA

G NPN

H PNP

J 1~5V 1~5V

K 4~20mA 4~20mA

型号:ZS-40-W

附 · (2m)

M

可选项/零部件型号

型号:ZS-28-CA-4

型号:ZS-26-B

型号:ZS-26-C

1)

0~90

2) OUT2

“OUT2”

OUT1

OUT2

DC

OUT1

OUT2

DC −

DC

1 5V

1 5V

DC −

0~100 1)

/ 10~110

1

3%F.S.

7s 2)

5%F.S.

共同规格

减少配线工时的插头连接

可将主侧(复制源)显示器的设定值

复制到从侧(复制目标)显示器上。

●减少设定工时　●降低设定值的输入错误

设定值复制功能

M8插头

e-con插头

无需专用工具、剥线

电源·输出连接导线

主侧 复制源 从侧 1台 从侧 2台

设定值可

最多向10台

同时进行复制

从侧 10台

面板开口尺寸

适用面板厚度 ：

0.5~8mm(无防水密封圈)

0.5~6mm(有防水密封圈)

正面保护盖＋面板安装连接件

NC/IN

40.1 （7.5）

2.5

□36.8

6 40

40

电源·输出连接用插头（5P）

传感器连接用插头（4P）

正面保护盖

防水密封圈 面板

面板安装连接件

47

□42.4

9.4 （2）

46.4

53

37.5 ＋0.1

− 0.2

37.5 ＋0.1

− 0.2

48以上

55以上

4×R1以下

复制用带插头的导线 型号：ZS-40-Y

1) OFF ( 2 5 )

5 ( ) 100 (24 5 100 500 9.5 )

2) 90% ( 7s )

3) 90% ( 7s )

4)

PF3W30

0.35~4.50L/min

( 0.35L/min 0.00)

1.7~18.0L/min

( 1.7L/min 0.0)

3.5~45.0L/min

( 3.5L/min 0.0)

7~112L/min

( 7L/min 0)

0.35~4.50L/min 1.7~18.0L/min 3.5~45.0L/min 7~112L/min

0.01L/min 0.1L/min 1L/min

0.05L/pulse 0.1L/pulse 0.5L/pulse 1L/pulse

L/min L

0.5%F.S. 0.5%F.S.

0.5%F.S.

0.5%F.S.(25 )

1) 99999999.9L 999999999L

0.1L 0.5L 1L

NPN PNP

80mA

DC28V

NPN 1V ( 80mA ) PNP 1.5V ( 80mA ) 2) 1s/2s

3) 1s/2s( )

1~5V 1k

4~20mA DC12V 300 DC24V 600

0.4V ( ) 30ms

2 ( 4 7 2 / 6 11 ) 5 /

1 2

DC12~24V 10%

50mA

5 4 (e-con)

IP40( IP65)

0~50 ( )

35~85%R.H.( )

AC1000V 1

50M (DC500V )

CE (EMC · RoHS ) UL(CSA)

· 50g

· 100g

型号:ZS-28-CA-4

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

6-65

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

接管口径

3/8, 1/2

流量传感器与流量调节阀的组合单元

FC2W系列

无油设计

± 5%

流量控制精度

满刻度

10 秒或以下

反应时间

流量控制范围

脉冲 [Hz]

脉冲输出讯号对应流量特性

流量

[L/min]

0.4 ~ 4.2 L/min (FC2W504系列)

1.6 ~ 16.8 L/min (FC2W520系列)

720/703

4.0

0.5

FC2W504

16.0

2.0

FC2W520

0 104/91

共同规格

使用流体

检测方式

使用压力范围

保证压力

使用流体温度

温度特性

泄漏量

输入讯号

输出讯号

显示方式

电源电压

消耗电流

接液部材质

重量

水

卡门旋滑式

0.2 ~ 0.4MPa (流体温度 : 0 ~ 50 ˚C)

0.6MPa

0 ~ 50 ˚C (未冻结 )

±5% F.S. (0 ~ 50 ˚C, 25 ˚C 基准)

0.4L/min 或以下 (FC2W504 ), 1L/min 或以下 (FC2W520 )

模拟电压输入 : 1 ~ 5VDC , 阻抗输入 : 1kΩ

负载电流 : 10mA , 最大外加电压 : 30V

电源接通时 (PWR: 绿灯著 )

误讯号时 (ERR: 红灯著或闪)

24VDC ±10%

0.5A

PPS, PP, POM, FKM, SUS303, SUS304, SCS13 (无油)

530g

在多条管道上分多路

使用，会因为流量变

化导致不稳定，从而

使调整流量变得困难。

输入讯号

输入讯号

输入讯号

控制回路

分路上的流量

可统一。

控制回路

控制回路

位置控制 流量控制

(全闭)

1.2 1.3 5.0 5.2 输入讯号电压 [V]

输入讯号对应流量特性

流量

[L/min]

4.0

4.2

0.4

FC2W504

16.0

16.8

1.6

FC2W520

0 1.0

0.5 ~ 4.0 L/min (FC2W504系列)

2.0 ~ 16.0 L/min (FC2W520系列)

流量范围

注1)

注2)

注3)

紧急时的流量停止，请使用外部切断阀。

推荐2通阀

系列 推荐2通阀 备考

FC2W504 VXZ232D□ N.C./SUS/

口径Rc3/8

FC2W520 VXZ242G□ N.C./SUS/

口径Rc1/2

流量指令值(输入信号)，为设定值90%相当的流

量的到达为止的时间。

异常检知时的LED显示，如下表所示。

注) 本产品IN侧的配管，请设置配管径8倍以上的直管部。

4×2.7深14

4×2.6深6

PWR ERR

116.4 8

80

138.4

121.9

50

120

24.8

26 18

58.8 35.2

13.6 16

插座

对边24

34

配管口径2×Rc3/8

55.8

RUN

IN OUT

FC2W504-03-3-X110

4×2.7深14

4×2.6深6

PWR RUN ERR

116.4 8

80

120

24.8

142.4

129.9

54

16

35.2

30 18

62.8

13.6

34

插座

对边27

配管口径2×Rc1/2

IN 55.8

OUT

FC2W520-04-3-X110

RoHS

外形尺寸图 (毫米)

FC2W504-03-3-X110

FC2W520-04-3-X110

水用流量传感器

500ms 500ms

2000ms

250ms 250ms

异常检知时的LED显示

状态 亮灯方法 处置方法

连续亮灯

过电流异常

闪烁: 闪烁周期500ms

供给流量不足

闪烁: 闪烁周期250ms×2次各2s

EEPROM异常 读写正常，自动复归

无自动复归，

再输入电源

供给流量复归，

自动的解除错误(灯灭)

6-66

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

用于检测、观察液体流量的继电器， 共同规格

一般用于工业机械及其他多种设备

进口 出口

指示灯

直接出线式 线长大约 接线盒式 500 指示灯

使用流体

使用压力范围

环境和流体温度

动作形式

导线引出方式

绝缘

电压保证

触点形式

接触流体的材料

水及无腐蚀性液体

0.1 ~ 0.6MPa

-5 ~ 60°C(未冻结)

膜片式

导管式，导管接线座式

AC1500V在1分钟时间内

微型开关负载电流(A)

负载

电压

非电感负载 电感负载

电阻负载 灯负载 电感负载 电机负载

常闭 常开 常闭 常开 常闭 常开 常闭 常开

AC125V

AC250V

DC8V

DC14V

DC30V

DC125V

DC250V

5

5

7

5

5

0.4

0.3

5

5

5

5

5

0.4

0.3

1.5

1.0

3

3

3

0.1

0.05

0.7

0.5

3

3

3

0.1

0.05

4

4

5

4

4

0.4

0.3

4

4

4

4

4

0.4

0.3

2.5

1.5

3

3

3

0.1

0.05

1.3

0.8

3

3

3

0.1

0.05

44.8

76.6

115.6

69.4 86.8 125.4

80

25.4

42 2- 3

/8, 1

/2, 3

/4

25.4

内部接线图

符号

C

A

B

符号

C

A

B

触点

触点

共通

常开

常闭

共通

常开

常闭

导线颜色

导线颜色

黑

白

红

黑

白

红

IFW5 0- -00/10/20

IFW5 0- -00~04 IFW5 0- -00~04~24

IFW5 0- -01~04/11~14/21~24

C(COM)

B(NC)

a(NO)

C(COM)

B(NC)

A(NO)

型号注1) 最大流量

(L/min)

设 定流 量范围

(L/min)

迟滞值

(L/min)

接管口径

Rc(PT)

20 1~10 1或以下 3/8

20 1~10 1或以下 1/2

20 1~10 1或以下 3/4

25 10~20 1.5或以下 1/2

25 10~20 1.5或以下 3/4

IFW510-03-□△

IFW510-04-□△

IFW510-06-□△

IFW520-04-□△

IFW520-06-□△

IFW550-06-□△ 60 20~50 3或以下 3/4

注1): □-代表接电方式 △-代表指示灯型式 订货举例

0=直接出线式(接点:1ab) 0=无指示灯 接管口径:PT(Rc)1/2,设定流量:1~10L/min,

导管式带红色指示灯(220V)

型号:IFW510-04-03

1=接线盒式(接点:1a) 1=带指示灯(110V红色)

2=接线盒式(接点:1b) 2=带指示灯(110V绿色)

3=带指示灯(220V红色)

4=带指示灯(220V绿色)

注2) :

:

另有DC24V可供选择，请与SMC联络。

注3) CE认证, 举例IFW5□0-□□-00/10/20-Q

34 42

80

38

2- 3

/8, 1

/2, 3

/4

1

/2

RoHS

[选项]

外形尺寸图 (毫米)

膜片式流量传感器(水用)

IFW5系列

100MΩ (DC500V时)

无接线盒 : 1ab，带接线盒 : 1a或1b

阀体 : CAC408，杆 : C3604B，膜片 : NBR

6-67

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

口径 A B

31 34 22 137 101

98

98

3/4 28

1 37 62 89 28 188

1 29 39 56 28 155

型号 C D E F 型号 口径 A B C D E F

共同规格

微型开关负载电流

用于检测、确定液体流量的继电器，一般用

于空气调节、供水设备方面的水处理用途。 流体 铜合金

SUS304

最高使用压力

绝缘

耐电压

触点形式

水及无腐蚀性液体

不腐蚀SUS304的液体

1.0MPa

100MΩ(在DC500V时)

AC1500V在1分钟时间内

1ab

液体及环境温度范围

液体温度

70°C或以下

80°C

90°C

100°C

*适合环境温度

70°C(70°C)或以下

58°C(60°C)或以下

47°C(50°C)或以下

35°C(40°C)或以下

*( )：括号内是3C-IF32□的温度

符号

C

A

B

触点

共通

常开

常闭

导线颜色

黑

白

红

C(COM)

B(NC)

A(NO)

内部接线图

标准型: 300/301/303 防滴、防雨型: 310/311/313

口径 A B

31 34 22 137 101

98

98

3/4 28

1 37 62 89 28 188

1 29 39 56 28 155

IF300

IF301

IF303

型号 C D E F

IF310

IF311

IF313

连接口径 连接口径

接线进口

2 x ø10

接线进口

ø10

防沫、防喷流型: 320/321/323

31 34 22 141.3 105.4

104

104

3/4 28

1 37 62 89 28 194

1 29 39 56 28 161

IF320

IF321

IF323

G1/2 螺纹深17 正六边形

连接口径

供接线用 对面宽度36

正六边形

对面宽度36

正六边形

对面宽度36

A

A

B

A

B

C

B

C

C

D D

D

A:短桨叶

B:中桨叶

C:长桨叶

N.C.

15

15

0.5

0.25

15

15

0.5

0.25

3

2.5

0.5

0.25

15

15

0.05

0.03

15

15

0.05

0.03

5

3

0.05

0.03

2.5

1.5

0.05

0.03

1.5

1.25

0.5

0.25

N.O. N.C. N.O. N.C. N.O. N.C. N.O.

125 VAC

250 VAC

250VDC

电压

非电感负载(A)

电负载 灯负载 电感负载 电机负载

电感负载(A)

型号注1) 密封方式注2) 设定流量范围L/min注3) 接管口径Rc(PT)

标准(不防水) 14~60

14~60

防沫, 防喷流(IP44) 14~60

20~1500

36~2600

20~1500

36~2600

20~1500

IF300-06-□△

IF310-06-□△

IF320-06-□△

IF301-10-□△

IF303-10-□△

IF311-10-□△

IF313-10-□△

IF321-10-□△

IF323-10-□△ 36~2600

标准(不防水)

防滴，防雨(IP42)

防沫,防喷流(IP44)

3/4

1

注1)□-代表接触流体材料 △-代表密封材料

0=黄铜,磷青铜

1=不锈钢304

0=NBR

1=FPM

注2)防滴,防雨型根据JISC0920标准

注3)流量根据桨叶长度变化

防沫,防喷流型根据JISC0920标准

30 VAC 6 6 3 1.5 5 5 5 2.5

85 85

110

61.6

135.3

94

57

76

□30

80 80

50 50 5959 18

15 130

15

F

E

130

F

F

E

E

68 68

RoHS

[选项]

外形尺寸图 (毫米)

桨叶式流量传感器(水用)

IF3系列

防滴，防雨(IP42)

125VDC

6-68

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

一体式

分体式

*本体连接部份 : 黄铜 传感器单元

显示器

□代表 : 输出规格

OUT1

NPN NPN

NPN

NPN

PNP PNP

模拟 1~5V

模拟4~20mA

OUT2

A

B

C

D

记号

型号

LFE-1-D

LFE-2-D

LFE-3-D

LFE1

LFE2

LFE3

安装托架

RoHS

共同规格(显示一体型)

型号

适用流体

适应流体电导率

检测方式

接地

额定流量范围

显示流量范围

设定流量范围

舍 去流量

设定最小单位

累计脉冲的换算值(脉冲幅度=50ms)

使用流体温度

表示单位

返复精度

温度特性 周围温度特性

流体温度特性

最大负载电流

最大供给电压

内部下降电压

反应时间

反应时间

电压输出

电流输出

输出保护

输出模式

使用压力范围

累计流量范围

开关输出

类比输出

应差

显示方式

动作指示灯 输出1、输出2 : 橙

45mA以下(不含负载电流)

DC24V±10%

IP65

PPS、FKM、黄铜

3/8

约340g 约400g 约520g 约680g

1/2 3/4 1

电源电压

消耗电流

耐环境

保护构造

使用温度范围

使用湿度范围

接液部材质

配管口径(Rc)

质量(本体)

注1) 高温液体流动的场合, 使用可能压力范围将降低

注2)

3)

配管孔部及本体金属部的DC(-) / 蓝线接地

LFE1□3

0.5 ~ 20L/min

99999999.9L

NPN或PNP开集极输出

短路保护

输出电压 : 1~5V 输出阻抗 : 1KΩ

可变

2色显示(上4位数7段2色显示红/绿·下6位数11段白)

显示更新周期5次/秒

输出电压 : 4~20mA 最大负载阻抗 : 600Ω

可选择设定点模式·设定区间模式·累计输出模式·累计脉冲输出模式

NPN:1V以下(负载电流80mA)或PNP:1.5V以下(负载电流80mA时)

0.1L 1L

999999999L

0.4 ~ 24.0L/min

0.4 ~ 24.0L/min

0.4L/min 2.0L/min 4L/min

0.1L/min 0.5L/min 1L/min

0.1L/脉冲 0.1L/脉冲 1L/脉冲

2.5 ~ 100L/min

2.0 ~ 120.0L/min

2.0 ~ 120.0L/min

5 ~ 200L/min

4 ~ 240L/min

4 ~ 240L/min

±5%F.S.(25°C基准)

水·不腐蚀接液部材质的液体

±5%F.S.(25°C基准)

0~1MPa

动作时·保存时:35 ~ 85%R.H.(不冷凝)

负极接地

静电容量式

80mA

0.25s/0.5s/1s/2s/5s

0.25s/0.5s/1s/2s/5s

DC28V

0 ~ 85°C(不结冰及不冷凝)

瞬间流量L/min、累计流量L

显示值:±2%F.S. 模拟输出:±1.5%F.S.

5µS/cm以上

LFE1□4 LFE2□6 LFE3□8

注1)

注1)

注3)

□代表：输出规格请见最上表

0~50°C(不结冰及不冷凝)

3色显示电磁式数字流量传感器

LFE系列(过水用)

注 LFE1□3Z, LFE1□4Z, LFE2□6Z, LFE3□8Z: 加 ” Z ” 代表绝缘形式, 任其选择正极或负极接地方式对应

6-69

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

4×O

L

K

N

M

P Q

IN OUT

I

J 2×接管口径

C

8角对边H

D

E

F

G

1.4 ※

R

S

4× T

B

A

分离型检测器部 LFE1/2/3

注)附M12插头导线的出现方向只有单一方向, 无法旋转

※显示一体型式

无托架 (底面图)

托架板厚约 1.6 mm

※外形尺寸与显示一体型相同

显示一体型

LFE1/2/3

配管口径

3/8

A

90

104

105

120

73

73

78

90

40

40

50

55

23.5

23.5

29

32

56

56

67

73

83

83

94

100

89

89

100

106

24

28

35

41

6

6

6

6

1.6

1.6

1.6

1.6

96

96

115

115

87

87

106

106

48

48

62

62

39

39

53

53

4.6

4.6

4.6

4.6

12

12

9.5

3.5

52

52

56

68

28

28

38

43

ø2.5 深 5.5

ø2.5 深 5.5

ø2.5 深 5.5

ø2.5 深 6.5

2

2

2.6

2.6

11.5

11.5

14

20

B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U

3/4

1

1/2

LFE1□3□

LFE1□4□

LFE2□

LFE3□

型号

3:青

2:白

M12

1:茶

4:黑

附M12插头导线

(型号: LFE-1-A3)

DC(+)

OUT2

DC(-)

OUT1

1

2

3

4

Pin编号 Pin编号 线色

茶

白

蓝

黑

（45）

（30）

（31）

（25）

（31）

（24）

茶

白

青

黑

ø15

ø6

（3000）

外形尺寸图 (毫米)

型号

适用流体

适应流体电导率

检测方式

接地

额定流量范围注1)

使用流体温度

返复精度

温度特性 周围温度特性

流体温度特性

反应时间注2)

电压输出

电流输出

使用压力范围注1)

类比输出

45mA以下(不含负载电流)

DC24V±10%

IP65

PPS、FKM、黄铜

3/8

约340g 约400g 约520g 约680g

1/2 3/4 1

电源电压

消耗电流

耐环境

保护构造

使用温度范围

使用湿度范围

接液部材质

配管口径(Rc)

质量(本体)

注1)高温液体流动的场合,使用可能使压力范围降低

注2)配管孔部及本体金属部的DC(-)/蓝线接地

LFE1△3 LFE1△4

0.5 ~ 20L/min

输出电压 : 1~5V 输出阻抗 : 1KΩ

输出电压 : 4~20mA 最大负载阻抗 : 600Ω

2.5 ~ 100L/min

0~82°C(未冻结)

5 ~ 200L/min

水·不腐蚀接液部材质的液体

±5%F.S.(25°C基准)

±5%F.S.(25°C基准)

0~1MPa

动作时·保存时 : 35 ~ 85%R.H.(未冻结)

负极接地

静电容量式

0.5s

0 ~ 50°C(未冻结)

类比输出:±1.5%F.S.

5µS/cm以上

LFE2△6 LFE3△8

共同规格(分体式:传感器单元) △代表输出规格 : J-模拟输出 1~5V

K-模拟输出 4~20mA

3色显示电磁式数字流量传感器 LFE系列(过用水)

6-70

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

型号注1)

设定流量范围

设定最小单位

累计脉冲的换算值

精度

返复精度

温度特性

最大负载电流

最大供给电压

内部下降电压

反应时间

反应时间

电压输出

电流输出

输出模式 流量

温度

累计流量范围

开关输出

类比输出

应差

显示方式

动作显示灯 输出1、输出2 : 橙

50mA以下

DC24V±10%

IP40(使用选配零件的面板安装接合器与防水密封垫片·只限显示前部为IP65)

电源电压

消耗电流

连接方式 电源输出5P插头、检测器连接4P插头(e-con)

耐环境

保护构造

使用温度范围

使用湿度范围

耐电压

绝缘阻抗

质量 有电源·输出连接导线

99999999.9L

NPN或PNP开集极输出

输出电压 : 1~5V 输出阻抗 : 1KΩ

可变

2色显示(上4位数7段2色显示红/绿·下6位数11段白) 显示更新周期5次/秒

输入输出力 复制模式用输入

可选择设定点模式·设定区间模式

可选择设定点模式·设定区间模式·累计输出模式·累计脉冲输出模式

NPN:1V以下(负载电流80mA)或PNP :1.5V以下(负载电流80mA时)

0.1L刻度 1L刻度

999999999L

0.4 ~ 24.0L/min

0.1L/min 0.5L/min 1L/min

0.1L/脉冲 0.5L/脉冲 1L/脉冲

2.0 ~ 120.0L/min

显示流量范围

4 ~ 240L/min

±0.5%满刻度(25°C基准)

动作时·保存时 : 35 ~ 85%R.H.(不冷凝)

AC1000V 1分钟 充电部与外壳之间

1分钟 充电部与外壳之间

100g

80mA

0.5s/1s/2s/5s

输出保护 短路保护

0.25s/0.5s/1s/2s/5s

DC28V

0 ~ 50°C(不结冰及不冷凝)

显示单位 瞬间流量L/min、累计流量L

±0.5%满刻度

显示值:±5%满刻度 摸拟输出:±0.5%满刻度

LFE0□-M

□代表 : 输出规格

OUT1

NPN NPN

NPN

NPN

PNP PNP

模拟1~5V

模拟4~20mA

OUT2

A

B

C

D

记号

配件(任选择)

型号

ZS-26-B

ZS-26-C

ZS-26-01

ZS-40-W

ZS-28-C-5

ZS-40-Y

面板安装接合器

前面保护盖+面板安装接合器

只有前面保护盖

电源·输出连接导线(2m)

传感器连接用插头(e-con)

复制用附导线插头

名称

前面保护盖

防水密封垫片 面板

面板安装接合器

47

□42.4

9.4 (2)

46.4

53

37.5 +0.1

−0.2

37.5 +0.1 −0.2

48 以上

55 或更多

4 x R1 or less

适用面板厚度

0.5 ~ 8 mm (无防水密封垫)

0.5 ~ 6 mm (有防水密封垫)

前面保护盖+面板安装接合器

共同规格 □代表：输出规格请见左表

RoHS

面板切刻尺寸图 (毫米)

外形尺寸图 (毫米)

注1)已带电源输出连接导线

0.4 ~ 24.0L/min

(0.4L/min 未满以0.00显示)

2.0 ~ 120.0L/min

(2.0L/min 未满以0.0显示)

4 ~ 240L/min

(4L/min 未满以0.0显示)

输出电压 : 4~20mA 最大负载阻抗 : DC12V为300Ω、DC24V为600Ω

3色显示数字流量监控器

LFE0系列

NC/IN

40.1 (7.5)

2.5

□36.8

6 40

40

电源·输出连接用插头(5P)

传感器连接用插头 (4P)

6-71

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

RoHS

□代表：输出规格

OUT1

NPN NPN

NPN

NPN

PNP PNP

模拟1~5V

模拟4~20mA

OUT2

A

B

C

D

用途例 记号

厌恶铜的环境，

对工作物洗净液的流量管理

*

本体连接部份 : 不锈钢 304

型号

LFE-2-D

LFE-1-D

LFE-3-D

LFE1

LFE2

LFE3

安装托架

型号

适用流体

适应流体电导率

检测方式

接地注3)

额定流量范围

显示流量范围

设定流量范围

舍去流量

设定最小单位

累计脉冲的换算值 (脉冲幅度=50ms)

使用流体温度注1)

表示单位

返复精度

温度特性 周围温度特性

流体温度特性

最大负载电流

最大供给电压

内部下降电压

反应时间

反应时间

电压输出

电流输出

输出保护

输出模式

使用压力范围注1)

累计流量范围

开关输出

类比输出

应差

显示方式

动作指示灯 输出1、输出2 : 橙

45mA以下(不含负载电流)

DC24V±10%

IP65(为安装M12插头时)

PPS、FKM、SUS304

3/8

约380g 约430g 约620g 约800g

1/2 3/4 1

电源电压

消耗电流

耐环境

保护构造

使用温度范围

使用湿度范围

接液部材质

配管口径(Rc)

质量(本体)

注1) 高温液体流动的场合, 使用可能压力范围将降低

注2) 反映时间慢, 表示显示或类比输出的安定性提升

注3) LFE1□3Z-X8, LFE1□4Z-X8, LFE2□6Z-X8, LFE3□8Z-X8 : 加“ Z ”代表绝缘形式, 任其选择正极或负极接地方式对应

LFE1□3-X8

0.5 ~ 20L/min

99999999.9L

NPN或PNP开集极输出

短路保护

输出电压 : 1 ~ 5V 输出阻抗 : 1KΩ

可变

输出电压 : 4 ~ 20mA 最大负载阻抗 : 600Ω

可选择设定点模式·设定区间模式·累计输出模式·累计脉冲输出模式

NPN : 1V以下(负载电流80mA)或PNP : 1.5V以下(负载电流80mA时)

0.1L 1L

999999999L

0.4 ~ 24.0L/min

0.4 ~ 24.0L/min

0.4L/min 2.0L/min 4L/min

0.1L/min 0.5L/min 1L/min

0.1L/脉冲 0.5L/脉冲 1L/脉冲

2.5 ~ 100L/min

2.0 ~ 120.0L/min

2.0 ~ 120.0L/min

5 ~ 200L/min

4 ~ 240L/min

4 ~ 240L/min

±5%F.S.(25°C基准)

0~1MPa

动作时·保存时 : 35 ~ 85%R.H.(不冷凝)

负极接地

静电容量式

80mA

0.25s/0.5s/1s/2s/5s

0.25s/0.5s/1s/2s/5s

DC28V

0 ~ 50°C(不结冰及不冷凝)

瞬间流量L/min、累计流量L

显示值 : ±2%F.S. 模拟输出 : ±1.5%F.S.

LFE1□4-X8 LFE2□6-X8 LFE3□8-X8

共同规格(显示一体型) □代表 : 输出规格请见最上表

水·不腐蚀接液部材质的液体

5µS/cm以上

0~85°C(不结冰及不冷凝)

±5%F.S.(25°C基准)

2色显示(上4位数7段2色显示红/绿·下6位数11段白)

显示更新周期5次/秒

3色显示电磁式数字流量传感器

LFE-X8系列(过用水)

6-72

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元