共同规格

使用流体

使用压力范围

环境及使用温度

润滑脂

本体

防震动保护盖 材质

重量

真空压力传感器

无润滑脂

铝合金

合成树脂

真空压力传感器: -5 ~ 60°C

压缩空气

0.1 ~ 0.5MPa

48.8[g] (没带塞头)

PSE541-M5

额定压力范围: 0~101kPa

-5 ~ 60°C(未冻结)

RoHS

供气口

可选顶部或侧边配管。

挡块

防止工件滑移

可选丁腈橡胶或

硅橡胶

真空压力传感器(任选项)

检测工件存在,可接此安装口。

塞头

防震动保护盖

吸附工件可防止震动声音。

16

14

12

10

8

6

4

2

0

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

吸取力 [N]

耗气量 [L/min (ANR)]

供气压力[MPa]

180

160

140

120

100

80

60

40

20

0

(供气压力: 0.5 [MPa])

吸取力对比现有品多4.4倍

构造原理图

XT661-X427

吸取力

XT661-X427

耗气量

现有品耗气量

现有品吸取力

吸取力与工件距离对比图

0 0.5 1 1.5 2 2.5 3

工件距离

0

4

2

6

8

10

12

14

0.1 (MPa)

0.5 (MPa)

0.4 (MPa)

0.3 (MPa)

0.2 (MPa)

安装口

工件

产生真空

压缩空气

供气口

偏转器

本体

6.5

11

16.5

10.5

ø40

45°

45°

32

塞头: 2 带塞头: 2

M5 x 0.8 螺纹深 5安装口 M5 x 0.8 螺纹深 5供气口A

4 x M4 x 0.7 深 8

M5 x 0.8 螺纹深 5供气口B

O型胶圈槽

沉孔直径 ø14.5

深 1.2

应用例

120°

120°

34

1

ø42.2

17.5

防震保护盖

吸取力 [N]

挡块

吸附线路板

吸附泡

包装物料

吸附薄型布料

带挡块 带防震保护盖

注1)建议安装工件距离参考数值: 带挡块: 1mm,带防震保护盖: 1.5mm

XT661 4C PN S X427

本体外径

4C ø40 mm

保护盖

无记号 没带

*V 带防震保护盖

*当选择没带挡块才可选用

挡块材质

压力传感器

无记号 没带

S 带压力传感器

型号.: PSE541-M5

没带挡块

PN 丁腈橡胶 (黑色)

PS 硅橡胶 (白色)

无记号

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

基本型

非接触式吸盘

XT661-X427系列

5-88

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

共同规格

吸板

SP系列

RoHS

SP1130 SP1230 SP1330 SP1430 SP1530 SP1630

SP2130

50 x 50 100 x 100 150 x 150 200 x 200 250 x 250 300 x 300

15

30

15

30

15

30

25

40

25

40

25

40

SP1□30 SP2□30

SP □30 1

2

A

80

130

180

230

280

330

C

20

20

20

20

25

25

D

50

100

150

200

250

300

E

65

115

82.5

107.5

132.5

157.5

N

5

9

16

25

36

49

G

70(55)

95(80)

120(105)

145(130)

170(155)

195(180)

F

95(65)

145(115)

97.5(82.5)

122.5(107.5)

147.5(132.5)

172.5(157.5)

B

110(80)

160(130)

210(180)

260(230)

310(280)

360(330)

SP 230 1

2

SP 330 1

2

SP 430 1

2

SP 530 1

2

SP 630 1

2

SP2230 SP2330 SP2430 SP2530 SP2630

型

号

长方形

正方形

尺寸mm

粒径ø

开口率%

材质

ø0.3(球粉烧结体)

15%以上

SUS304

研磨加工

铬酸盐处理(内部及侧面)

(铝铸件)

研磨加工(座面)

10~40°C

Rc1/8

表面处理

加工

材质

加工

环境温度

吸口

长方形 正方形

平面度µm,或更少

平行度µm,或更少

主

体

部

吸

着

部

注: ( ) 内为SP2□30尺寸，没有( )

的尺寸，则SP1□30与SP2□30

的尺寸相同。

型 号

* 最适合吸着、固定薄片、

玻璃片及柔软的工件等。

工件

真空调压阀

真空泵

C

A

D

4-5.5通孔

ø9.5沉孔深7(安装孔)

E

B

D

F

C

G

Rc 1

/8

(吸口)

N-滤芯固定螺母

8-5.5通孔

ø9.5沉孔深7(安装孔)

A

D

E E

B

D

F F

Rc 1

/8

(吸口)

N-滤芯固定螺母

G

A

D C

4-5.5通孔

ø9.5沉孔深7(安装孔)

B

D

E

F

Rc 1

/8

(吸口)

N-滤芯固定螺母

G

C

A

D

8-5.5通孔

ø9.5沉孔深7(安装孔)

B

D

E E

F F

G

Rc 1

/8

(吸口)

N-滤芯固定螺母

外形尺寸图 (毫米)

SP 1

1

1

2

3

4

5

6

30 ø0.3标准

□50 x 50mm

□100 x 100mm

□150 x 150mm

□200 x 200mm

□250 x 250mm

□300 x 300mm

2

1 30

外形

吸着部尺寸

烧结金属

滤芯粒径

长方形

正方形

型号表示方法

5-89

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

＊ 磁性开关规格及特性可参阅磁性开关系列。导线长度表

10

16

20

25

32

D-A93L D-M9BL D-M9NL

5, 10, 15,

20, 25, 30

5, 10, 15,

20, 25, 30,

40, 50

(mm) (mm)

外螺纹(只限垂直真空口内螺纹接管吸盘ZPT 直接安装吸盘(只限吸盘带锁环ZP系列)

10

16

20

25

32

10

16

20

25

32

2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50 2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

M4x0.7

M5x0.8

M6x1.0

M8x1.25

M10x1.25

ZCUKC

ZCUKQ

ZCDUKC

ZCDUKQ

ZCUKD

ZCUKR

ZCDUKD

ZCDUKR

系列)

连接

螺纹

气缸 吸盘

吸盘直径(mm) 型号 缸径

(mm)

气缸 吸盘

吸盘直径(mm) 型号 缸径

(mm)

例1) 直接安装吸盘型，吸盘直径ø2, 气缸缸径：ø10 ，适合吸盘型号：

ZP02～08U□-X11。

(ZPT02 ~ 50□□ - B4 ~ 10) (ZP02 ~ 50□□)

行程/磁性开关型号表

缸径 标准行程

磁性开关型号

有触点

2线 2线 3线NPN

无触点

安装盖上配管

活塞杆上配管

活塞杆上配管

外螺纹

外螺纹

直接安装吸盘

直接安装吸盘

(垂直真空口内螺纹接管)

(吸盘带锁环)

真空

真空

真空口配管形式 气缸形式 活塞杆端形状 适合吸盘形式

安装盖上配管

ZCUKC

ZCUKD

ZCUKQ

ZCUKR

ZPT

ZP

真空用气缸

ZCUK系列

RoHS

使用活塞速度

活塞杆不回转精度

真空口接管口径 安装杆型

安装盖型

气缸口接管口径

行程公差 (mm)

给油

缸径(mm)

最高使用压力 MPa

最低使用压力 MPa

真空口压力范围

环境和流体温度

缓冲

使用流体

动作方式

压缩空气

两端橡胶缓冲

不需要

软管

双作用

无磁性开关 : -10 ~ 70℃;

带磁性开关 : -10 ~ 60℃(未冻结)

50 ~ 500mm/s

M5x0.8

M5x0.8 Rc1/8

Rc1/8

±0.8° ±0.5°

ø4 M4x0.7 M5x0.8 M5x0.8 Rc1/8

+1.0

0

0.13 0.11

0.7

-0.1 ~ 0.6MPa

10 16 20 25 32

共同规格

型号表示方法 ZC

内置磁环

无记号 无内置磁环

D 内置磁环 真空口位置 / 活塞杆端

C 缸盖上/外螺纹

D 缸盖上/直接安装吸盘

Q 活塞杆上/外螺纹

R 活塞杆上/直接安装吸盘

适合真空吸盘

缸径 行程

D U K C 16 20 D

5-90

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

外形尺寸图 (毫米)

2-ø3.2通孔 软管(TU0425)

或软尼龙管(TS0425)

2-ø3.2

4-ø6

36+ 行程

70 + 2 x 行程

ø1.5通孔

适合吸盘ZCUKD10

(ZP02 ~ 08U-X11)

气缸通口

2-M5 x 0.8

直接安装吸盘/ZC□UKR10

7

9

ø3.4

21

24

ø4

8 7 5 5

6

11

12

12

15

(22) 11.5

16.5 16

真空配管在安装盖上

接管口径

20

B

26

32

32

C

40

50

2

d

3

4

缸径

(mm)

16

20

25

32 40 62 5

气缸口

M5 x 0.8

M5 x 0.8

M5 x 0.8

Rc 1 8

真空口

M5 x 0.8

Rc 1 8

Rc 1 8

Rc 1 8

行程范围

(mm)

5 ~ 30

5 ~ 50

5 ~ 50

5 ~ 50

6

D

8

10

7

E

9

10

8

F

8

10

13

FK

16

20

17

FL

20

22

28

FY

33

43.5

16.5注)

GA

19

23

21.5

31

GC

33.5

34

缸径

(mm)

16

20

25

32 12 11 12 24 29 51.5 34.5

19.5

SA

21

21

22

7.6 深 6.5

T

9.3 深 9

9.3 深 8

11 深 11.5

15.5

Y

19.5

24.5

30.5

75.5 (85.5)

Z

86 (96)

94 (104)

106 (116)

缸径

(mm)

16

20

25

32

2

QA

4.5

4.5

4.5

12

R

16

20

24

30 (40)

S

36 (46)

40 (50)

42 (52)

缸径

(mm)

16

20

25

32

26

H

29

33

42

14

J

16

20

24

L

5

6

8

10

4.5

P

5.5

5.5

6.6

4

Q

9

9

13.5

*( ): 括弧内是内置磁环型尺寸 注) ZCUKQ16-5D为14.5mm

M5 x 0.8

M6 x 1.0

M8 x 1.25

M10 x 1.25

缸径 外螺纹 直接安装吸盘

(mm)

16

20

25

32

11

12

15.5

12.5

14

18

19.5 22

A Aʼ MM

5

6.6

8

7

8

9

11.5 10.5

A Aʼ W

3.5

5

5

5

接管口径

20

B

26

32

32

C

40

50

2

d

3

4

缸径

(mm)

16

20

25

32 40 62 5

气缸口

M5 x 0.8

M5 x 0.8

M5 x 0.8

M5 x 0.8

M5 x 0.8

Rc 1 8

真空口

M5 x 0.8

Rc 1 8

行程范围

(mm)

5 ~ 30

5 ~ 50

5 ~ 50

5 ~ 50

6

D

8

10

7

E

9

10

8

Ø

8

10

13

ØK

16

20

17

ØL

20

22

28

ØY

33

43.5

16.5注)

GA

19

23

21.5

19

GC

21.5

22

缸径

(mm)

16

20

25

32 12 11 12 24 29 51.5 22.5

7.5

SA

9

9

10

7.6 深 6.5

T

9.3 深 8

9.3 深 9

11 深 11.5

15.5

Y

19.5

24.5

30.5

68.5 (78.5)

Z

79 (89)

87 (97)

99 (109)

缸径

(mm)

16

20

25

32

2

QA

4.5

4.5

4.5

12

R

16

20

24

30 (40)

S

36 (46)

40 (50)

42 (52)

缸径

(mm)

16

20

25

32

26

H

29

33

42

5

HA

5

5

5

14

J

16

20

24

L

5

6

8

10

4.5

P

5.5

5.5

6.6

4

Q

9

9

13.5

*( ): 括弧内是内置磁环型尺寸 注) ZCUKQ16-5D为14.5mm

M5 x 0.8

M6 x 1.0

M8 x 1.25

M10 x 1.25

缸径 外螺纹 直接安装吸盘

(mm)

16

20

25

32

11

12

15.5

12.5

14

18

19.5 22

A Aʼ MM

5

6.6

8

7

8

9

11.5 10.5

A Aʼ W

3.5

5

5

5

外螺纹/ZC□UKC10

2-ø3.2通孔

30+行程

2-ø3.2通孔

36+ 行程

77+2x行程

20+行程

ø1.5通孔

气缸通口

M4x0.7

9

7

16.5

2411

12

12

21

10 8 7

ø4

15

(22) 11.5

外螺纹/ZC□UKC16～32

2-øP通孔

气缸通口

GC+ 行程 密封垫

S+行程

Z+2x行程

真空通口

两面宽Lød通孔

SA+行程

GA

(FY)

FK

MM FL

øD

QA

E

R

Q

C

J

B

A

A F E H

Y

直接安装吸盘 / ZC□UKD16～32

密封垫 GC+ 行程

S+行程

Z+2x行程

2-øP

4-øT

2-øP通孔

ød通孔

气缸通口

两面宽L

FL

øD

GA

øR

E

QA Q

C

J

FK

B H F E

E

A

W

A'

(FY)

Y真空通口

M5 x 0.8

直接安装吸盘/ZC□UKD10

30+行程

36+行程

77+2x行程

20+行程

适合吸盘ZCUKD10

(ZP02~08U 3 -X11)

2-ø3.2通孔

ø1.5通孔

9

11

12

ø4

24

12

21

5 8 7

15

(22) 11.5

7

16.5

ø3.4

真空配管在活塞杆上

直接安装吸盘/ZC□UKR16～32

真空通口

接管座(仅

2-øP通孔

S+行程

Z+2x行程

2-øP通孔

4-øT沉孔

气缸通口

2-M5 x 0.8 [ø32: 2-Rc 1/8]

ød通孔

两面宽L

M5x0.8

ØL

(10)

øD

A'

W

C

J

FK

Y

B H F E

(FY)

密封垫

真空通口

接管座

六角对边宽8

2-øP通孔

2-øP通孔

S+行程

Z+2x行程

HA +

行程 4-øT沉孔

气缸通口

ød通孔

外螺纹/ZC□UKQ16～32

两面宽L

M5 x 0.8

GA GC

QA

R

C

FK

MM FL

(10) SA

øD

Y

J

B

A F E H A'

(FY)

E

Q

ø1.5通孔

外螺纹/ZC□UKQ10

密封垫 2-ø3.2通孔 2-ø3.2通孔 ø4/ø2.5软管(TU0425)

或软尼龙管(TS0425)

2-ø3.2

4-ø6深5 36 + 行程

70 + 2 x 行程

7+ 行程

M4 x 0.7

7

9

16.5 ø3.4

16

24

12

12

10

21

ø4 8 7 5

6

11

15

(22) 11.5

2-ø3.2通孔 气缸通口

2-M5x0.8

2-M5x0.8[ø32:2-Rc1/8]

2-M5x0.8

密封垫

4-ø6深5沉孔 4-ø6深5沉孔

2-M5x0.8[ø32:2-Rc1/8]

2-øP通孔 4-øT沉孔

通孔

沉孔

SA+行程

通孔

沉孔 通孔

深5沉孔

7+ 行程

2-M5 x 0.8 [ø32: 2-Rc 1/8]

ø16)

六角对边宽8

HA + SA行程

(仅ø16)

使用ZP系列吸盘

真空用气缸 ZCUK系列

5-91

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

采用真空压力使气缸作吸附

提升及释放工件 特点

共同规格

型号表示方法

操作图示

喷咀直径

供气口 00 07

无记号 ø6 快换接头

04 ø4 快换接头

M5 M5 x 0.8内螺纹

ZU 00 A 10M5 X107

*以上产品型号,无带真空吸盘及连接件，需作另购买。

*1 无带真空发生器

真空压力

*1 —

S −90 kPa

喷咀直径

00 无带真空发生器

07 0.7 mm

无记号

真空吸盘带连接件(可分开购买)

型号 吸盘型号 连接件型号

ZP3A-T2-A5

ZP3A-T3-A5

*

ZP3-T(04/06/08)UM -A5

ZP3-T(04/06/08)B -A5

ZP3-T(10/13/16)B -A5

ZP3-T(10/13/16)UM -A5

ZP3-(04/06/08)UM

ZP3-(10/13/16)UM

ZP3-(04/06/08)B

ZP3-(10/13/16)B

-代表吸盘材质,详看ZP3系列或与SMC联络

N

S

U

F

GN

GS

丁腈橡胶

导电性丁腈橡胶

硅橡胶

导电性硅橡胶

聚氨脂橡胶

氟化橡胶

气缸提升当工件确识吸附

· 操作简单化

· 改善周期时间

· 可改善吸附多张较薄工件(如2张薄纸)

· 可确认真空吸附或释放动作

· 当吸盘吸附工件后,气缸会提升

· 减省气动元件: 5个元件 2个元件

回路简化设计

当吸盘吸附工件后,气缸会提升

带真空压力检出孔

真空发生器可选用

喷咀直径

使用流体

标准供给压力[MPa]

可产生真空压力[KPa]

吸入流量[L/min(ANR)]

空气消耗量[L/min(ANR)]

气缸出力[N]

行程 [mm]

弹簧力 [N]

重量 [g]

压缩空气

当0行程

当全行程

无带真空发生器 ø0.7

—

—

—

—

—

10

0.6

2.2

42.6 52.9

0.45

28

5

11

S: −90

RoHS

订制品规格

真空操作气缸

ZU□□A□-X107 系列

供气口

·真空吸盘吸附工件

·工件立即吸着

·当吸附工件,活塞杆提升 · 当停止供气工件随即放下,

而活塞杆降低

横向移动

* 以上图示已带真空发生器操作 * 吸盘需另购

供气口 供气口 供气暂停

真空发生器

真空操作气缸

活塞杆

吸盘

工件

吸附工件

提升工件

释放工件

工件提升不需要移动

气缸升降

·给压缩空气于供气口产生真空压力。

·真空压力操作气缸向下移动。

5-92

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

应用例

真空操作气缸

(带真空发生器)

Z轴气缸

横向移动

吸附 / 提升 搬送 释放

*吸盘需另购

真空操作气缸 横向移动

(无带真空发生器)

*吸盘需另购

型号 L1 L2

ZU07 A-10M5-X107 110.9 60.4

ZU07 A04-10M5-X107 113.6 63.1

真空操作气缸

ZU A -10M5-X107

5.3

50.5(

当吸着时: 40.5 / 行程: 10mm)

真空压力检出孔

供气口: ø4 供气口: ø6

供气口

真空发生器

L1(

当吸着时: L1-10 / 行程: 10mm)

堵头

六角对边19

对边宽7

拆除堵头图示

六角对边14

无带真空发生器

ZU00AM5-10M5-X107

M5X0.8X3 L2

14

37.5

A

ø10.4

排气口

六角对边12

M-3P

M16X1

24.5

5

5 5

ø16

ø8

4

连接件插入表面

M5X0.8X3

A

10

7.7

12

9.7

M3X0.5X3

真空操作气缸 ZU□□A□-X107 系列

外形尺寸图 (毫米)

5-93

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

平行密封型闸阀(对应300mm晶圆) RoHS

XGTP系列

XGTP31□-50336

晶圆尺寸

操作压力

mm

mm

Pa(abs)

高 x 宽

6.5X10-7

kPa

MPa (G)

Pa·m3/s

Pa·m3/s

OC

Pa·m3/s

: 0.1MPa (abs)

：

：

FKM

：FKM

Kalrez ®

S

0.2

kg

嵌入式(无本体) 10

14

14

：Kalrez®

阀型式

磁簧开关及插座

1 2 3

阀

型式

嵌入式

无本体） 标准本体） 半遮蔽本体）

XGTP 3 1 2 50336 1 C

― ― ―

A D-A93 ―

：0.5m

：20 ～60

：20 ～60

：20 ～60

C D-A93 （AMP）1）

F D-A93 D

2）

1） （

（

)

)

AMP制T3105000。

2） Hirose CDE9SF05。

OPEN/CLOSE

N

平行密封型闸阀

对应晶圆尺寸

300mm晶圆对应

1 FKM

2 Kalrez® 4079

※Kalrez®

50×336mm

14kg ）

～

300

1/5

22%

1)

2)

3) 90o

C

4)

300

50×336

0.45～0.6

6.5X10-10

6.5X10-11

6.5X10-9

6.5X10-8

20~120/~150( )

1

～10-6

4

0.6~1

20~90

AM350

A6063

A5052

A6061

SUS304

Rc1/8

1.0×10-6Pa(abs)

型号表示方法

轴数与密封型式

1轴波纹管

开口窗尺寸

端点锁定

闸门部密封圈材质

盒式 盒式

开口窗尺寸

轴数

使用环境压力

作动差压

大气压

烤焙时

但磁簧开关除外

不活性气体

内部泄漏

内部泄漏

FKM, Kalrez, 4079 ( ) ® 选配

自由

垂直

开闭位置附锁定机构

以下

逆压时内部泄漏

逆压力 以下

使用温度

使用流体

作动时间

闸门部

驱动部

密封圈材质

伸缩囊

闸门

本体

上盖

其他

主要真空部材质

主要真空部材质

安装方向

操作孔连接口径

端点锁定口径

气缸容积L

盒式(标准本体)

盒式(半遮蔽本体)

重量

O形环

O形环

O形环

O形环

5-94

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

平行密封型闸阀(对应300mm晶圆) XGTP 系列

60

59

405

36 45

卡匣式(半遮蔽本体）/ XGTP313

336

50

59

60

卡匣式(标准本体） XGTP312

50

336

440

371

112 50

254

阀密封面

（XGTP312, 313共通）

/

62

97 274

59

348

50

336开口尺寸 开口尺寸

254

嵌入式(无本体）/ XGTP311

数字

压力开关

ISE20C(H)

工艺气体用减压阀

AP1000、AP1100、

AP1500

N2气体、空气供给管路

洁净

气体过滤器

SF□

平稳

通气阀

XVD

高真空

电磁阀

XSA

负载锁定腔室

负载锁定腔室

工艺腔室 工艺腔室 工艺腔室

后处理腔室

装载机&

卸载机

装载机&

卸载机

装载机&

卸载机

传送腔室

后处理腔室

工艺腔室 工艺腔室 工艺腔室

传送腔室

工艺腔室

工艺腔室

数字式压力开关

ZSE20C(F)

水用过滤器

FQ1

带单向阀快插接头

KKA

带单向阀快

插接头

KKA

冷却水管路

温调管路

排气管路

排气管路

干燥泵

透平分子泵

高真空平稳排气阀

XLD

高真空弹性

密封L型阀

XLF

高真空

L型阀

XL□

数字

压力开关

ISE20C(H)

直动2/3通

电磁阀

VDW/VX2

洁净

减压阀

SR□

数字

流量开关

PF3W

高真空手动

L型阀

XLH

高真空双作用

L型阀

XL□

高真空L型阀

XL□

精密型温调器

高功能变频器型

HRZD

温调器

高功能变频器型

HRZ

透平分子泵 干燥泵

带波纹管的气缸

订制

订制

气控式阀驱动用

平行密封型缝阀/XGTP

门阀/XGD

非接触气爪

XT661-X260

扩散滤芯

4位置双3通阀

SJ SY

相关元件

订制

真空用

自由安装气缸

ZCUK

外形尺寸图 (毫米)

5-95

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

高真空阀

XLA/C-100/160-(1)-X152 系列

提升波纹管的耐用性 (法兰尺寸 100 160)

: 200

XLA- -X152

XL -100/160-X152

XL -100/160-X152

XL -100/160

XL -100/160

B

A

A

H øG

（KF法兰）

ロ

ハ

イ

C

øFd

øFn

E C E

E D

XLA-100 • 160-X152

A B C D E Fn Fd G H

XLA-100-X152

XLA-160-X152

・

XLA-100-X152 XLA-160-X152 XLC-100-1-X152 XLC-160-1-X152

～ ～

～

型号

使用温度

泄漏量

法兰的种类

表面处理

注1

内部

外部

高温型时

真空

标准材质(FKM)时1.3 x 10-10

常温时．透过气体除外

标准材质(FKM)时1.3 x 10-11

常温时．透过气体除外

0.4~0.6

8.7 14.5

本体 :

:

: FKM(标准密封材)

外部 : 硬质耐酸铝 内部 : 原本材质

0.4~0.7

Rc1/8 Rc1/4 Rc1/8 Rc1/4

注

磁簧开关 : 2

簧开关1

5~60ec)。

加热器 : 100．

120℃

Ass’y为耐热构造。

指示器 :

:阀闭)

Ass’y

(

:阀开)P-1

外部密封( )

(材质 : SUS316Ti)

阀体密封( )

本体(材质 : A6063)

磁簧开关 : 2

簧开关1

5~60ec)。

加热器 : 100．

120℃

Ass’y为耐热构造。

指示器 :

Ass’y

(

外部密封( )

(材质 : SUS316Ti)

(材质 : SUS304)

阀体(材质 : SUS304)

阀体密封( )

本体(材质 : A6063)

指示器

加热器

阀体(材质 : SUS304)

(材质 : SUS304)

气控型

加热器

（K法兰）

型号 注1)

外形尺寸图 (毫米)

注1) E尺寸为附加热器时。（导线长度≒1m）

注2) 上图㋑、㋺、㋩所示为加热器的安装位置。

另外，加热器的安装位置，依加热器的种类而不同。

RoHS

主要材质

5-96

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

高真空阀 XLA/C-100/160-(1)-X152 系列

XLC-100 • 160-1-X152 气控型

ロ

イ

ハ

øFd

øFn

D

E C

E C E

B

A

A

J H

K øG

A B C D E Fn Fd G H J K

XLC-100-1-X152 108 154 55 11 134 130 102 139 58 9

XLC-160-1-X152 138 339 200 65 11 190 180 153 124 62

注1) E尺寸为附加热器时。（导线长度≒1m）

注2) 上图㋑、㋺、㋩所示为加热器的安装位置。

另外，加热器的安装位置，依加热器的种类而不同。

317.5

注1)

（KF法兰）

（K法兰）

波纹管耐久性提升

双作用型 XLC 100 M9N A X152

常闭型 XLA 100 M9N A X152

1 2 3 4 5 6 7

1

法兰尺寸

温度规格 ／ 加热器的有无

・密封材质变更处与泄漏量

本体表面处理／密封材质及密封处的变更

・密封材质

・本体表面处理

Barrel Perfluoro®是松村石油(株)的注册商标。

法兰侧

法兰面里

100

160

无记号 ～ ―

高温型

H0

～

―

H4

H5

磁性开关数／安装位置

―

A

B

C

法兰的种类

A

N1

P1 ®

Q1 ®

R1 ® R2

R3

S1

T1

U1 ®

・

A

B 

C 

1

2

4

6

7

记号 种类

无记号

记号 温度范围 加热器的有无

用附加热器

用附加热器

无记号

记号 数量

附2个

附1个

附1个

无磁性开关

检出位置

阀开闭

阀开

阀闭

无记号

无记号

记号

外部 : 硬质耐酸铝、内部 : 原本材质

外部 : 硬质耐酸铝、内部 : 草酸耐酸铝

表面处理

无记号

记号 密封材质 配合

尺寸

注1) 磁性开关的高温型不可安装。高温型请使用耐热磁簧开关D-F7NJ。

请与SMC公司联络。

注1) 带指示器只有 XLA 系列可提供。

注2) 导线长度0.5m(标准)。3m时以L、1m时以M、5m时以Z在末尾追加。

例）-M9NL

指示器及操作通口方向

法兰侧

K

L

M

3

记号

无记号

指示器

无指示器

无指示器

法兰面 左

法兰面 里

法兰面 右

法兰侧

F

G

J

A

带指示器 法兰面 左

法兰面 里

法兰面 右

磁簧开关的种类

―

M9N（M）（L）（Z）

M9P（M）（L）（Z）

M9B（M）（L）（Z）

M9// ―

5

记号 磁簧开关型式

无记号

备考

无磁性开关(无内藏磁石)

无磁性开关(无内藏磁石)

无接点磁性开关

注1) 常温时, 透过气体除外

注2) 密封处参照构造图的零件No.。表格中所有圆圈数字是表示构造图的零件No.。

记号 注2) 注1)

变更处

无

泄漏量

内部 外部

无记号(标准)以外的产品时，请标出本体表面处理、密封材质、变更处

的顺序。

例）XLA-100-M9NA-AN1A-X152

,

三菱电线工业(株)制

Kalrez®是DuPont Dow Elastomers(株)的注册商标。

Chemraz®是Green, Tweed & Co.的注册商标。

ULTIC ARMOR®是日本バルカー工业(株)的注册商标。

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法

5-97

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

带大气释放阀真的真空阀

XLJ系列

大气

大气

：KF40

泵

( )

OFF

XLJ Series

ON

XLJ Series

泵OFF/

大气

真空

大气压

大气

泵

( )

真空

大气压

■ 大气

■ ( )

XLJ 25 1 G1

・

25 KF25

40 KF40

XLJ-25 XLJ-40

1 AC100V

2 AC200V

3 AC110V

4 AC220V

5 DC24V

6 DC12V

7 AC240V

J AC230V

型号 XLJ-25

・

O

大气压～1×10 -2Pa

1.3× 10-8Pa・m3/s 注1）

1.3× 10-6Pa・m3/s 注1）

5～40℃

12L/s注2）

AC100V, 200V, 110V, 230V, 220V, 240V

DC12V, 24V

KF25

质量

ON (真空泵)

OFF (真空泵)

0.95kg

XLJ-40

45L/s 注2）

KF40

1.5kg

2sec 、 3）

大气

CE

1） 20OC 0.1MPa

2） L型的 。

3） 气 75L/min 。

：KF25

XLJ-40 300 63［AC型］

53［DC型］

128

66

泵

［

［

XLJ-25

54

80

85

111

48

300 54 AC型］

44 DC型］

泵

(48) (6) 168 65 ø55

65 ø55

ø38

ø40

776

ø26

50

ø26 ø38 ø40

50 10 130

外形尺寸图 (毫米)

5-98

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

N.C.

1(IN) 2(OUT)

DC AC

G 直接出线 ● ―

GS（

直接出线

附突波电压保护回路） ● ●

D DIN端子型

（附突波电压保护回路） ● ●

DL ● ●

XSA 1 1 1 P 5 G 2

阀尺寸 内孔径 接头尺寸

接头的种类

V 面密封接头

S 卡套接头

内螺纹型

P 内螺纹

电压

3 AC110V

4 AC220V

5 DC24V

6 DC12V

连接块

无记号 无

A 附连接块

※ 本体在平坦部固定时，为了垫高本体时

使用。只需连接块时，请参照下表。

导线出线方式

表　连接块型号

型式 型号

XSA1 XSA1R-8-1

XSA2 XSA2R-8-1 XSA3

注）

T

端子型

(附突波电压

保护回路)

DIN端子型・附指示灯

(附突波电压

保护回路)

● ●

TL

端子型・附指示灯

(附突波电压

保护回路)

● ●

C 导线管型

（附突波电压保护回路） ● ●

共同规格

注1）“作动压力差”为孔1（高压侧）与孔2（低压侧）的差。

例）0.3MPa的场合，孔2为真空（1Torr以下）时，孔1加压至0.2MPa（G）。

注2）“逆方向可能压力”为孔1为大气压时，从孔2可加压的压力。

注3）泄漏量为周围温度20℃，差压0.1MPa的值，气体透过除外。

注4）AC全部为附全波整流器。

＊有关尺寸问题，请与SMC业务员查询。

注5）消耗电力、视在电力为周围温度20℃，输入额定电压时的值。

（误差幅：±10％）

注6）周围温度20℃，额定电压输入时的值。但依周围的环境会有变化，

因此为参考值。

注7）直接出线的值。

型式 XSA1-1 XSA1-2 XSA2-22 XSA2-32 XSA2-43 XSA3-3 XSA3-43

作动形式 常时闭

使用流体 压缩空气、惰性气体

内孔径 mmø 2 3 4.5 6 4.5 6

耐压 MPa(G) 1.5

最低使用压力 Pa（abs）／OUT侧 1 × 10-6

最高使用压力 MPa（G）／IN侧 1.0

最高作动压力差 MPa注1) 0.8 0.3 1.0 0.3 0.1 0.8 0.3

逆方向可能压力 MPa（G)注2) 0.5 0.25 0.4 0.2 0.05 0.2 0.15

泄漏量 Pa・m3/ s注3) 内部

内螺纹

连接尺寸

1.3 × 10-9

面密封接头(吋)

卡套接头(吋)

外部 1.3 × 10-11

配管连接方式 面密封接头／卡套接头／内螺纹型

1/4 3/8

-

1/4

1/8 1/4

3/8

3/8

周围温度及使用流体温度o

C 5～60

额定电压注4)

消耗电力 W注5) DC 4.5 7 10.5

视在电力 VA注5) AC 7 9.5 12

线圈温度上升o

C注6) DC 50 55 65

AC 60 70 70

容许电压变动 额定电压的 10%以下

容许泄漏电压 DC 额定电压的2%以下

AC 额定电压的5%以下

线圈绝缘的种类 B种

质量 kg注7)

面密封接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.62

卡套接头

Rc 1/4 内螺纹型

0.28 0.41 0.42 0.53 0.55

0.33 0.53 - 0.74 0.74

2

1 2

1 3

2

AC110 / 220 DC12 / 24V

面密封接头 卡套接头

XSA 1 1 2 S 5 G 2

型号表示方法

符号

高真空阀

XSA 系列

RoHS

[选项]

接头型

内螺纹型

内螺纹型

接头型

1 1 ø2

2 ø3

1 1/8

2 2 ø3

3 ø4.5

2 1/4

3 3 ø4.5

4 ø6

3 3/8

阀尺寸 内孔径 接头尺寸

1 尺寸1 1 ø2

2 ø3

2 1/4

2 尺寸2 2 ø3

3 ø4.5

4 ø6

2 1/4

3 3/8

3 尺寸3 3 ø4.5

4 ø6

2 1/4

3 3/8

尺寸1

尺寸2

尺寸3

内螺纹型

5-99

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

高真空阀 XSA系列

1 2

D

P

接管口径

C

H

A

E

300 G F

Bs

(B)

(卡套接头)

B

(面密封接头)

(L)

连接块

15

2 x M5

螺纹深 M

型号 A B Bs C D E F L M P

[吋]

直接出线 : G DIN 插座型 : D 端子型 : T

G H G H J G H J

XSA1- 2S 22 55 24 63 30 8.5 20 3 8

1/4

27 53.5 64.5 45.5 52.5 99.5 47.5 68.5 XSA1- 2V 50 —

XSA2- 2S

25

63 31.5

73.5 35

11.5

22

5 10

29.5

32

63

67.5

72

67

69.5

55

64

59.5

55

57.5

102 57 71 XSA2- 2V 56 —

XSA2-43S 64.5 31 3/8 XSA2-43V 67 —

78 61.5 XSA3-32S 63 31.5

40 24.5

1/4

104.5 73.5 XSA3-32V 56 —

XSA3-43S 64.5 31 3/8 XSA3-43V 67 — 82.5 66

[mm]15

连接块

2 x 5.5

没带连接块 带连接块

G

25

32

G1/2

H

J

F

C

端子型 : T

DIN 插座型 : D

J

31.5

G F

C

(44) H

G1/2

电缆 O.D. :

ø6 ~ ø12 六角对边 22

1 2

面密封接头,卡套接头 直接出线 : G

内螺纹型 直接出线 : G

外形尺寸图 (毫米)

P

接管口径

D

C

H

E

A

Q

300 G F

B

R

1 2

2 x M5 螺纹深 M

型号 ABC D E F M Q R G H G H J G H J

30 30 66 30 11 20 8 1/8 ø19 20 27 56.5 64.5 48.5 52.5 99.5

67 60.5 55

69.5 69.5 57.5

50.5 68.5

36 36 79 35 14 22 10 1/4 ø24 20 29.5 68.5 102 62.5 71

XSA1- 1P

XSA2- 2P

XSA3- 3P 40 40 88 40 16.5 24.5 3/8 ø29 22 32 77.5 104.5 71.5 73.5

直接出线 : G DIN 插座型 : D 端子型 : T

[mm]

P

[吋]

G

25

32

G1/2

H

J

F

C

端子型 : T

DIN 插座型 : D

J

31.5

G F

C

(44) H

G1/2

电缆 O.D. :

ø6 ~ ø12 六角对边 22

5-100

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

压力及流量检测元件

型号 类型 页码

ZSE10(F)/ISE10 薄型数字式压力传感器 6-1

ZSE20(F)/ISE20 新款 3 色 3 显示高精度数字式压力传感器 6-2

ZSE20A(F)/ISE20(A) 新款 3 色 3 显示高精度数字式压力传感器 2 输出 + 模拟输出（电压 / 电流） 6-3

ZSE20B(F)-L/ISE20B-L 新款 3 色 3 显示高精度数字式压力传感器 IO-Link 对应 (1 输出 ) 6-4

ZSE20C(F)/ISE20C(H) 新款 3 色 3 显示高精度数字式压力传感器 2 输出 + 模拟输出（电压 / 电流） 6-5

ISE75H 高压用 2 色显示数字式压力传感器 6-6

ISE70/71 3 画面高精度数字式压力传感器 6-7

ISE70G/75G/76G/77G 3 画面高精度数字式常用流体压力传感器 6-9

ZSE80F 双色显示高精度压力传感器（真空用） 6-11

IS10 小型压力传感器 / 舌簧型 6-12

IS3000 气动式压力传感器 6-13

ISG 机械式压力传感器 6-14

PS1000 微型电子式压力传感器 6-15

ISA3 3 色显示 数字式位置传感器 6-16

ISA3-L 新款数字式位置传感器（IO-Link 对应） 6-19

PSE530 一般气体压力传感器 6-23

PSE540 小型精密压力传感器 6-24

PSE550 微压差传感器 6-25

PSE570 常用流体用压力传感器 6-26

PSE200A 新款多通道压力传感器控制器 6-27

PSE300 压力传感器的控制器（2 色显示） 6-30

PSE300A 新款压力传感器的控制器（3 色 3 显示） 6-31

PSE300AC 新款 3 色 3 显示压力传感器控制器 6-33

PFG300 3 画面数位流量监控器 6-34

PFM 2 色显示数字式流量传感器 6-37

PF2M7 2 色显示数字式流量传感器 6-39

PFM7-X300 2 色显示数位流量传感器（洁净型） 6-41

PFMV5 微型流量传感器 6-43

PFMV505-1-X502 新款微型流量传感器 6-45

ZSE30AF-X576~X580 2 色显示式高精度数字式压力传感器（低压应用） 6-45

PFMV3 PFMV5 专用显示器 6-46

PF2A 数字式流量传感器（空气用） 6-47

PF3A7H 新款 3 色显示式数位流量传感器（空气用）/ 大流量型 6-49

PF3A7H-L 新款数字式流量传感器 6-52

PF3A7H-L 模块式空气用数字式流量传感器 6-53

PF3A701H/702H 模块式空气用数字式流量传感器 6-54

PFMB7 新款 2 色显示数字式流量传感器（空气用） 6-56

PFMC 新款 3 色显示数字式流量传感器 6-58

PF3W7-Z 新款水用数字式流量传感器 6-60

PF3W540-X391 水用集装式流量传感器 6-61

PF3W7-L/PF3W5-Z 新款水用数字式流量传感器 6-63

PF3W3 新款水用数字式流量显示器 6-65

FC2W 流量传感器与流量调节阀的组合单元 6-66

IFW5 膜片式流量传感器（水用） 6-67

IF3 桨叶式流量传感器（水用） 6-68

LFE 3 色显示电磁式数字流量传感器 6-69

LFE0 3 色显示数字流量监控器 6-71

LFE-X8 3 色显示电磁式数字流量传感器 6-72

薄型数字式压力传感器 RoHS

ZSE10(F)/ISE10 系列

®

ZS-39-5G

品种

只选本体时可和下面部件配合使用

可选项

面板安装适配器

面板安装适配器+前保护盖

DIN导轨安装

ZS-39-B

ZS-39-D

ZS-39-R*

* 型号不包括DIN导轨在内，客户自行采购。

可选项/部件型号

共同规格

外形尺寸图 (毫米)

面板安装尺寸

ZSE10(F)/ISE10 M5 ZSE10(F)/ISE10 01

带导轨

ZSE10(F)/ISE10 M5 R

· 薄型，厚度仅9.8mm

· 3步可完成设定，简易使用

· 双色显示开关输出

· 压力表的设定可同时复制到

最多10个压力表

· 对应CE, RoHS

带插头导线(5芯、2m)

型号表示方法

面板安装+前保护盖

* 不适用于配管规格是01。

* 不适用于配管规格是01。

DIN导轨安装

13

51.8

1.2

4.2

3.5

6.4

(7.7)

9.8

25

M5 0.8 2 3.3 (12)

(30)

9.8

25 对边宽 10

11

51.8

2 3.3

1.2

4.2

8 3.5

12.5

6.4

R1/8 13

4.3 (35)

51.8

53.5

3.5

4.2

1.2 6.414.8 0–0.4

57.2 0

–0.4

4 x R2以下 14.8 x n

个 + 3 x (n

个– 1)

57.2 0

–0.4 28.8以上(背面配管的场合)

侧面配管的场合，会由管接头

和管子而不同

4 x R3以下

M5 x 0.8

9.5

25

9.8

5

型号 ZSE10(真空压) ZSE10F(混合压)

额定压力范围

显示/设定压力范围

耐压力

显示/最小单位设定

对应流体

电源电压

电流消耗

开关量输出

重复精度

迟滞

显示

显示精度

指示灯

环境要求

温度特性

导线

标准

0.0~-101.0 kPa

10.0~-105.0 kPa

500 kPa

0.1 kPa

-100.0~100.0 kPa

-105.0~105.0 kPa

500 kPa

0.1 kPa

压缩空气, 非腐蚀性气体,不可燃性气体

12~24 VDC±10%,波峰波谷10%以下(带供电电源电极保护)

40 mA以下

NPN或PNP集电极开路， 2输出信号(可选)

80 mA

28 V (NPN)输出时

2 V或以下(带负载电流80 mA)

有

可调 (可从零开始调整)

IP40

1000 VAC 1 分钟 充电部-引线与壳体间

50 MΩ以上(500 VDC) 引线与壳体间

10~150 Hz,振幅 1.5mm 或 20m/s2 X, Y, Z 各方向2小时(不通电)

符合CE, UL, CSA, RoHS

ISE10(正压)

-0.100~1.000 MPa

-0.105~1.050 MPa

1.5 MPa

0.001 MPa

最大负载电流

最大使用电压

残留电压

响应时间

短路保护

电压

输出

迟滞型

上下限比较模式

防护等级

使用温度范围

使用湿度范围

耐压

绝缘

耐振动

耐冲击

输出电压(额定压力范围)

输出电阻

重载耐油线缆

模拟

输出

*线性度

1~5 V ±2.5% 满刻度 0.6~5 V ±2.5% 满刻度

±0.2%满刻度 ±1个单位

2.5 ms 或以下 (带防振荡功能 : 20, 100, 500, 1000, 2000 ms)

±1% ±F.S.以下

约 1 kΩ

3 1/2 位, 7段LED 单色表示(红)

±2%满刻度±1 个单位 (周围温度25°C ±3°C时)

有输出时指示灯 OUT1 : 绿 OUT2 : 红

100m/s2

in X, Y, Z 各方向 3 回(不通电)

动作时: -5~50°C, 保存时: -10~60°C (无冻结，无结露)

动作时·保存时: 35~85% RH (无结露)

±2% 满刻度 (25°C 使用温度范围 -5~50°C)

5 芯, 导电面积: 0.15 mm2

(AWG26) 绝缘体外径: 1.0 mm

真空压·混合压用

正压用 ISE10 M5

ZSE10 M5 C

额定压力范围

额定压力范围

选项1

电线缆(长2m)

G

配管规格

M5

输出规格

*另有PNP开关输出供选择，请联系SMC公司。

* 特注

A G

C G

配管通口 01*

R1/8

配管

ZSE10

ZSE10F

0.0~ -101.0 kPa

-100.0~100 kPa A

C

NPN开路集电极2输出

NPN开路集电极输出+模拟电压输出

ISE10 -0.100~1.000 MPa

M5内螺纹 /

侧面配管

R1/8侧面配管

6-1

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

·数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少，电流为25mA或以下。

额定压力范围

正压用

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

ISE20 -0.100 ~

1.000 MPa

0.0 ~

-101.0 kPa

-100.0 ~

100.0 kPa

ZSE20

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

ZSE20F

真空用

混合压

真空用

ISE20 N M5 L

输出规格

接管规格

NPN集电极开路(1输出)

PNP集电极开路(1输出)

N

M5 M5内螺纹

01 R1/8

P

面板厚度0.5~7

面板厚度0.5~7

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

M5型

带接头导线

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

托架B(横装: ZS-46-A2)

01型

A

01 R1/8 对边宽度10

接管规格 接管口径

共同规格

型号 ZSE20 (真空用) ZSE20F (混合用)

-100.0 ~ 100.0 kPa

0.1 kPa

500 kPa

0.001 MPa

1.5 MPa

-105.0 ~ 105.0 kPa

0.0 ~ -101.0 kPa

10.0 ~ -105.0 kPa

-0.100 ~ 1.000 MPa

-0.105 ~ 1.050 MPa

压缩空气，非腐蚀性气体，不燃烧性气体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下(带电源电极保护)

25 mA 或以下

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)

±2%满刻度以下(在25˚C操作温度)

1V 或以下(在80mA负载电流时)

1.5 ms 或以下(带防震荡功能：20,100,500,1000,2000或5000 ms)

NPN或PNP集电极开路1个输出

有短路保护功能

3显示(主显示，副显示x2)

有输出时灯亮 输出1橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

重载防油电线，3条 ø3.4, 2m

导电截面积：0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80 mA

28 V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下 ±1数位

ISE20 (正压用)

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

压力配置准确度开关输出显示耐环境电子配置供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP40

使用温度范围 使用：0˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE、UL/CSA、RoHS标准

型号 引线

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

ZSE20(F)/ISE20系列

可选项1

RoHS ®

6-2

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

IP40

RoHS ®

·数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少,电流为35mA* 或以下。

*省电模式时约40%下降

面板厚度0.5~7

面板厚度0.5~7

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

可选项

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

带接头导线

M5型

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

托架B(横装: ZS-46-A2)

01型

A

01 R1/8 对边宽度10

接管规格 接管口径

共同规格

型号 ZSE20A (真空用) ZSE20AF (混合用)

-100.0 ~ 100.0 kPa

0.1 kPa

500 kPa

0.001 MPa

1.5 MPa

-105.0 ~ 105.0 kPa

0.0 ~ -101.0 kPa

10.0 ~ -105.0 kPa

-0.100 ~ 1.000 MPa

-0.105 ~ 1.050 MPa

压缩空气，非腐蚀性气体，不燃烧性气体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下

35 mA以下

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)

±2%满刻度以下(在25˚C操作温度)

1V 或以下(在80mA负载电流时)

1.5 ms 或以下(带防震荡功能：20,100,500,1000,2000或5000 ms)

NPN或PNP集电极开路2个输出

有短路保护功能

3显示(主显示，副显示x2)

有输出时灯亮 输出1 输出2 橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

电线，5芯 ø3.5, 2m

导电截面积：0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80 mA

28 V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下 ±1数位

ISE20A (正压用)

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

压力配置准确度传感器输出显示耐环境电子配置供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP40

使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE、UL/CSA, RoHS标准

引线

型号

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

ZSE20A R M5

M5

01

J

输出规格

接管规格

M5内螺纹

R1/8

R1/8配管连接器

配管孔

记号

A

大气开放孔 深度7以下

内容

最大负荷阻抗 电源电压12V时:300

电源电压24V时:600最小负荷阻抗

模拟输出电压输出

输出形式

输出形式

输出模式

输出时间

输出形式

输出阻抗

电流输出

负荷阻抗

自动补正 输入

电压输出:1-5V

电压输出:4-20mA 电压输出:2.4-20mA 电压输出:3.2-20mA

电压输出:0.6-5V 电压输出:0.8-5V

约1k

50

无电压输入：0.4以下

可选择自动补正、自动补正零

5ms以上

15.2

7.2

接管口径

01:R1/8

ZS-46-N1

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

R

S

T

V

NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出

NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出

记号 内容

ISE20A

ZSE20A

ZSE20AF

0~-101kPa

-100~100kPa

-0.1~1MPa

额定压力范围

30

30

25

M5 x 08

34.5 4.8

6.3

20.2

50.8

47.8

R4.5

R4.521 34.5

4 x ø2.6

20±0.1

1.5

5

5.2

19

30

25

30

34.6

25

34.5

11 20.2

50.8

R4.5

R4.521

33.5 47.8

33.5

42.4 1.6

22

20

20

30

30

20 47 45 5.2

7.2 7.2 5.2 13.6 9.1

5.2

20

2

45

5.2

9.6 14.7

ZSE20A(F)/ISE20A系列

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

2输出+模拟输出(电压/电流)

6-3

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

·数字式显示，实时压力及设定值可

同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快，由旧有产品2.5ms

提升到1.5ms。

·耗电量少，电流为35mA *或以下。 *省电模式时约40%下降

ZSE20B L

额定压力范围

W

输出规格

记号 内容

L IO-Link / 开关输出1

(开关输出为 : NPN or PNP 切换式)

ZSE20B 0 --100kPa

ZSE20BF --100 100kPa

ISE20B 0 1MPa

M5

M5

01

内螺纹

配管连接器

配管孔

记号 内容

ZS-46-N1

接管规格

可选项

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

型号

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

面板厚度0.5~7

面板厚度0.5~7

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

托架B(横装: ZS-46-A2)

装置元件

型号

-100.0 ~ 100.0 kPa

0.1 kPa

500 kPa

-105.0 ~ 105.0 kPa

0.0 ~ -100.0 kPa

10.0 ~ -105.0 kPa

0.000 ~ 1.000 MPa

-0.105 ~ 1.050 MPa

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度 25±3˚C)

±2%满刻度以下(在 25˚C操作温度)

3显示(主显示，副显示 x2)

有输出时灯亮 输出 1 输出2 橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位 11段，其馀7段显示

电线，5芯 ø3.5, 2m

导电截面积： 0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径： 1.0mm

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下 ±1数位

使用流体 压缩空气、非腐蚀性气体、不燃烧性气体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

压力配置准确度显示耐环境

显示精度

重覆精度

温度特性

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP65

使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存 ：35~85% RH (未冻结)

耐电压 引线与壳体间 AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE、RoHS标准

引线

ISE20B-L(正压)

1.5MPa

ZSE20B-L(真空压 ) ZSE20BF-L (混合压)

电源规格

电源电压

做为开关输出

机器使用时 DC12~24V±10%、且电源涟波10%以下

做为IO-Link

装置使用时 DC18~30V 含涟波(p-p) 10%

消耗电流 35mA以下

保护 逆接保护

开关输出

（SIO模式

时）

输出形式 NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择

输出模式 设定点、 设定区间、 错误输出、 输出OFF

开关动作 正转输出、 反转输出

最大负荷电流 80mA

最大施加电压 30V(NPN输出时)

内部降下电压(残留电压） 1.5V以下（负荷电流80mA时）

延迟时间 1.5ms以下、 0~60s/0.01s步骤可变

应差 设定点模式 从0可变注2)

设定区间模式

短络保护 装备

通讯规格

(IO-Link

模式时)

IO-Link 型

IO-Link 版本 V1.1

通讯速度 COM2(38.4kbps)

设定档案 IODD档案

最小周期时间 2.3ms

流程数据长 Input Data：2byte、 Output Data：0byte

应要求数据通讯 对应

数据储存功能 对应

事件功能 对应

供应商ID

M5型

带接头导线

01型

A

01 R1/8 对边宽度10

接管规格 接管口径

A

4×ø2.6

大气开放孔 深度7以下

15.2

7.2

接管口径

01:R1/8

1.5 25 5

共同规格

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

IP65

RoHS

0.001MPa

注1)

131(0×0083)

ZSE20B(F)-L/ISE20B-L系列

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

IO-Link对应(1输出)

6-4

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

·数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少，电流为35mA*或以下。

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

共同规格

型号 ZSE20C(真空用) ZSE20CF(混合用)

-100.0 ~ 100.0kPa

0.1 kPa

500 kPa

0.001 MPa

2 MPa 4 MPa

-105.0 ~ 105.0kPa

0.0 ~ -101.0kPa

10.0 ~ -105.0kPa

-0.100 ~ 1.000MPa

-0.105 ~ 1.050MPa

-0.100 ~ 2.000MPa

-0.105 ~ 2.100MPa

SUS630、SUS304空气，非腐蚀性，不燃烧性流体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下

35 mA以下

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)

±3%满刻度以下(在25˚C操作温度)

1V 或以下(在80mA负载电流时)

1.5 ms 或以下(带防震荡功能：20,100,500,1000,2000或5000 ms)

NPN或PNP集电极开路2个输出

有短路保护功能

最大负荷阻抗 电源电压12V时：300Ω

电源电压24V时：600Ω

最小负荷阻抗 50Ω

3显示(主显示，副显示x2)

有输出时灯亮 输出1输出2橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

电线，5芯 ø3.5, 2m

导电截面积：0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80mA

28V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下 ±1数位

ISE20C(正压用) ISE20CH(正压用)

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

输出形式

输出形式

输出模式

输出时间

输出形式

输出阻抗

电子

配置

供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP65

使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 250V在1分钟内

绝缘阻抗 2MΩ或以上(DC50V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE、UL/CSA, RoHS标准

引线

负荷阻抗

自动

补正

输入

电压输出：1-5V

电压输出：4-20mA 电压输出：2.4-20mA 电压输出：3.2-20mA

电压输出：0.6-5V 电压输出：0.8-5V

约1kΩ

无电压输入：0.4以下

可选择自动补正、自动补正零

5ms以上

30

30

25 8.5

02:48.4

M5x0.8

螺牙深5

接管口径

1.5

20

20

11

4 x ø26

深度7以下

大气开放孔

17

5

插座附导线

02:R1/4 2.5

4.2

开关的大气开放子有水·灰尘等入侵的可能性时，请用另外贩卖的气压管至底部

为止插入，配管请至相反侧不受水·灰尘影响安全的场所为止配管。

气压管请使用本公司TU0425(材质:聚氨酯 外径ø4 内径ø2.5)。

30

20

2.5

20

45

2

30

19

9.614.7 5.2

5.2

30

25

34.6

1.5

34.5

34.5

4.8 20.2

面板厚度尺寸0.5~7

面板厚度尺寸0.5~7

6.3

50.8

47.8

21

33.5

34.5

42.4

34.5 33.5

10.8 20.2

21

47.8

50.8

背面配管: R1/4

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

ZSE20C R

额定压力范围

R

S

T

V

02 W

输出规格

可选项

NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出

NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出

记号 内容

ISE20C

ISE20CH

ZSE20C

ZSE20CF

0~-101kPa

-100~100kPa

-0.1~1MPa

-0.1~2MPa

面板

安装

连接器

面板安装

连接器

A1 托架A B

D

记号

无记号

内容 记号 内容

前面

保护盖

没有托架

ZS-46-A1 ZS-46-B

ZS-46-D

43.6(配管规格:02)

43.6(配管规格:02)

IP65

RoHS ®

ZSE20C(F)/ISE20C(H)系列

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

2输出+模拟输出(电压/电流)

*省电模式时约40%下降 压力配置准确度传感器输出模拟输出 电压输出电流输出显示耐环境

6-5

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

高压用2色显示数字式压力传感器

ISE75H系列

共同规格

27

75H 15MPa

02 Rc¼

ISE

型号

额定压力范围

设定压力范围

显示/设定压力分辨率

流体

电源电压

消耗电流

开关输出

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

响应时间

短路保护

重复精度

迟滞

显示

显示精度

指示灯

功能

保护构造

流体温度范围

使用温度范围

使用湿度范围

耐电压

绝缘阻抗

耐振动

耐冲击

温度特性

标准

接触流体材料

导线

迟滞型

上下限比较型

(以 25˚C 时为基准)

2个设定

NPN开路集电极

2输出（引脚号：2，4）

最高设定压力

配管规格

输出规格 可选项1

27

固定设定

NPN开路集电极

1输出（引脚号：4）+

PNP开路集电极

1输出（引脚号：2）

43

S

L

配件

接线图

ZS-31-A

ZS-31-B 导线长度: 5 m (直线型)

ZS-31-C 导线长度: 5 m (直角型)

OUT1

U P

SET

DOWN

型号 注

一套托架包括托架B

及托架组件，但不包

括固定螺钉

托架B

托架组件

12 to

24 VDC

+

–

(黑)

DC (–)

负载

负载

DC (+)

(棕)

(白)

OUT2 (NPN)

(黑)

OUT1 (NPN)

输出-27 输出-43主回路

12 to

24 VDC

+

–

(蓝)

DC (–)

负载

负载

DC (+)

(棕)

(白)

OUT1 (PNP)

(黑)

OUT1 (NPN)

主回路

24

接管口

02: Rc1/4

34

70

20 14.5

OUT1

MPa

U P

SET

DOWN

PRESSURE SWITCH

(31) 15.7

(38.7)

9 39

接头针排列

2 颜色

1

3 4

1

2

3

4

棕

白

蓝

黑

DC (+)

OUT1 (PNP)

DC (–)

OUT1 (NPN)

输出 -43

（颜色：灰色） （颜色：灰色）

1

2

3

4

棕

白

蓝

黑

DC (+)

DC (–)

OUT2

(NPN or PNP)

OUT1

(NPN or PNP)

输出 -27

直线型

直角型

M12接头

带导线

(5)m

流体不腐蚀不锈钢 SUS304 及 SUS630

DC12 ~ 24V，波动 (p-p) 10% 或以下 (带电源逆接保护)

55mA 或以下 (无负载)

80mA

30V (NPN 输出时)

1V 或以下 (在 80mA 负载电流)

2.5ms (带振荡防止机能：20ms, 160ms, 640ms, 1000ms, 2000ms可选择)

有短路保护功能

±0.5%满刻度以下

可调设 (设定可以由零开始)

3位数字，7段显示，2色 (红／绿) 显示，可连接开关输出，取样率： 5次／秒

±2% 满刻度 ±1 个单位或以下 (在 25˚C ±3˚C)

有输出时指示灯亮着 OUT1: 绿 OUT2: 红 (-27)

防振荡功能、单位选择功能、清零功能、按键锁功能

IP67

动作及保存：35 ~ 85%RH (无结露)

10 ~ 500Hz，1.5mm 或 98m/s² 中的小者，在 X, Y, Z 三方向各 2 个小时

980m/s², X, Y, Z 方向各 3 次 (在不供电的情况下)

符合 CE 标准及 UL/CSA (RoHS) 标准

导线(5m)带 M12 4 针接头

导线与壳体间 AC250V 在 1 分钟内

50M�或以上 (DC50V 高阻表) 导线与壳体间

压力感应部份：不锈钢 SUS630

接头：不锈钢 SUS304

±3% 满刻度以下

-5 ~ 80˚C (无结露)

动作：-5 ~ 50˚C，保存：-10 ~ 60˚C

ISE75H

0 ~ 15MPa

0.5 ~ 15MPa

0.1MPa

型号表示方法

75H 02

注) 直角型接头向下,不要转动接头,

接头是不能转动的

外形尺寸图 (毫米)

L

输出 : -27 : 2个设定 NPN开路集电极2输出(引脚号 : 2, 4)

输出 : -43 : 固定设定 NPN开路集电极1输出(引脚号 : 4)+

PNP开路集电极1输出(引脚号 : 4)

RoHS ®

6-6

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

用

气

空

1.0MPa /1.6MPa

ISE70 ISE71

采用可旋转显示

安装后可336˚旋转

设定项目的可视化

既有型

OUT1

U P

SET

DOWN

MPa

OUT1

U P

SET

DOWN

MPa

依副画面(标签)可知道设定何种值。

交差闪烁显示

1台可对应NPN、 PNP。

可削减库存品项。

NPN／PNP切替功能

选择

NPN PNP

ISE70 02 L2

配管规格

记号

02 Rc1/4

压力范围

记号

ISE70 0~1MPa

ISE71 0~1.6MPa

选配1

记号 内容

S M12插座附导线(直型、 5m)

L M12插座附导线(L型、 5m)

输出规格

可选项型号

记号 内容

L2 IO-Link / 开关输出1+开关输出2

(开关输出为、 NPN or PNP切换式)

内容

内容

名称 型号

M12插座附导线

直型，

导线长度5m

ZS-31-B

M12插座附导线

L型，

导线长度5m ZS-31-C

共同规格

型号 ISE70 ISE71

适用流体 压缩空气·非腐食性气体·不燃性气体

压力规格

额定压力范围 0~1.000MPa 0~1.600MPa

显示／设定压力范围 -0.105~1.050MPa -0.105~1.680MPa

显示／设定最小单位 0.001MPa 0.001MPa

耐压力 1.5MPa 2.4MPa

电源规格

电源电压

做为开关输出机器使用时 DC12~24V±10%、且电源涟波10%以下

做为IO-Link装置使用时 DC18~30V 含涟波（p-p）10%

消耗电流 35mA以下

保护 逆接保护

精度

显示精度 ± 2%F.S. ±1dig（it 周围温度25 ± 3℃时）

往复精度 ±0.5%F.S.

温度特性 ±2%F.S（. 25℃基准）

开关输出

（SIO模式

时）

输出形式 NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择

输出模式 设定点、 设定区间、 错误输出、 输出OFF

开关动作 正转输出、 反转输出

最大负荷电流 80mA

最大施加电压 30V（NPN输出时）

内部降下电压（残留电压） 1.5V以下（负荷电流80mA时）

延迟时间 注1） 1.5ms以下、 0~60s/0.01s步骤可变

应差 设定点模式 从0可变注2)

设定区间模式

短络保护 装备

显示

单位 MPa、 kPa、 kgf/cm、2 bar、 psi

显示方式 LCD

画面数 3画面（主画面、副画面×2）

显示色 主画面：红／绿、副画面：橙

显示码 主画面：4码 7段、 副画面：4码（上位1码11段、其他7段）

动作显示灯 开关输出ON 亮灯 OUT1、 OUT2：橙

数位式过滤器 0~30s/0.01s步骤可变

耐环境

保护等级 IP67

耐电压 AC1000V 1分钟　充电部一括与筐体间

绝缘抵抗

使用温度范围 动作时 : 0~50℃、保存时 : -10~60℃（不冷凝及结冰）

使用湿度范围 动作时及保存时 : 35~85％RH（不冷凝）

规格 CE、 RoHS

配管规格

管连接口径 Rc1/4

接流体部材质 感测器受压部：矽

配管孔部：C3604（无电解镀镍）、 O形环：HNBR

质量 本体 管连接口径 Rc1/4 153g

插座附导线 139g

通讯规格

（IO-Link

模式时）

IO-Link 型 装置元件

IO-Link 版本 V1.1

通讯速度

设定档案 IODD档案

最小周期时间 2.3ms

流程数据长 Input Data：2byte、 Output Data：0byte

应要求数据通讯 对应

数据储存功能 对应

事件功能 对应

供应商ID 131（0×0083）

注1）无数位过滤器(0ms)时的值。

注2）输入压在设定值附近变动时，若不设定变动幅以上的应差时会发生颤动。

测定值可视化

一边进行设定

ISE70/71

设定区间模式

正转输出 设定值(临界值)

正转输出Lo侧 设定值(临界值)

反转输出

正转输出Hi侧 设定值(临界值)

应差 设定应差值

正转输出Lo侧 设定值(临界值) 正转输出Hi侧 设定值(临界值)

各种模式例

设定点模式

同一画面内

经常显示

型号表示方法

COM2(38.4kbps)

设定值(临界值)

3画面高精度数字式压力传感器

ISE70/71系列 IP67

RoHS

New

50MΩ以上(以DC500VDC高阻计量测）充电部与外壳之间

L

6-7

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

采用斜面显示

正面 上部

确保各种安装位置也能清楚看见

下部

IO-Link 对应

PLC

IO-Link主侧 IO-Link对应装置元件 压力感测器

现场总线 PC

从上位设定

机器

。 临界值

。 动作模式等

读取机器数据

。 开关ON/OFF信号与类比值

。 机器情报

厂商名、产品型号、序号等

。 机器的正常／异常状态

。 电缆线的断线

设定档案（IODD档※）

·厂商名 ·产品型号 ·设定值

※何谓IODD档

IO Device Description档的简称、为了设

定装置或连接主侧所需要的档案。进行

设定,在PC上保存、使用。

IO-Link为国际标准规格IEC61131-9,所规

定的感测器/驱动器与I/O端子间的开放式

通讯介面技术。

稼働状况·机器状态的可视化,利用通讯可远距监视·远距操作

内部回路与配线例

NPN开集极回路2输出设定时 PNP开集极回路2输出设定时 做为IO-Link装置使用时

做为传感器输出机器使用时

2 X M4螺牙深5

负荷 负荷

主侧

*

回路图中的数字所示为插座Pin配列。

配管孔

48

10

（ ）

（26）

24

34

2422

24

70.4

40.1

6

80.4

02:Rc1/4

外形尺寸图 (毫米)

DC12~24V

茶 DC(+)

黑 OUT1

白 OUT2

青 DC(一)

主

回

路－负荷 负荷

DC12~24V

茶 DC(+) 茶L+

黑 OUT1 黑C/Q

白 OUT2 白 OUT2

青 DC(一) 青L(一)

主

回

路

主

回

路

L+

LC/Q

DI

3画面高精度数字式压力传感器 ISE70/71系列

➃

➁

➂

➀

➃

➁

➂

➀

➃

➁

➂

➀

6-8

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

用

体

流 1.0MPa

5.0MPa /10

ISE70G ISE75G

ISE76G ISE77G

2.0

安装后可336˚旋转

OUT1

U P

SET

DOWN

MPa

OUT1

U P

SET

DOWN

MPa

1 NPN、 PNP。

NPN／PNP

NPN PNP

ISE70 02 L2

配管规格

02 Rc1/4

ISE70G 0~1MPa

ISE75G 0~2MPa

ISE76G 0~5MPa

ISE77G 0~10MPa

S M12 、 5m

L M12 型、 5m

输出规格

L2 IO-Link／开关输出1＋开关输出2

（开关输出为、 NPN or PNP切换式)

测定值可视化

ISE7/7G

Lo侧 Hi侧

Lo侧 Hi侧

各种模式例

名称 型号

M12

5m

ZS-31-B

M12

L

5m

ZS-31-C

ZS-50-A

ZS-50-B

可应用ISE(H)

3画面高精度数字式常用流体压力传感器

ISE70G/75G/76G/77G系列

共同规格

IP67

RoHS

型号 ISE70G

0~1.000MPa

－0.105~1.050MPa

0.001MPa

3.0MPa

ISE75G

0~2.000MPa

－0.105~2.100MPa

0.001MPa

5.0MPa

ISE76G

0~5.00MPa

－0.25~5.25MPa

0.01MPa

12.5MPa

ISE77G

0~10.00MPa

－0.50~10.50MPa

0.01MPa

30MPa

做为开关输出

机器使用时

做为IO-Link

装置使用时

±3%F.S. ±5%F.S.

1）

±0.5%F.S.

80mA

30V（NPN输出时)

MPa、 kPa、 kgf/cm2

、 bar、 psi

LCD

IP67

动作时 : -5~50℃、 保存时 : -10 ~ 60℃（不冷凝及结冰）

UL/CSA (E216656), CE, RoHS

Rc1/4

184g

139g

装置元件

V1.1

COM2(38.4kbps)

2.3ms

对应

对应

对应

: Al2O3, : C3604, O : FKM+ 1MPa

: FKM 2, 5, 10MPa

注1) 无数位过滤器(0ms)时的值。

注2) 输入压在设定值附近变动时，若不设定变动幅以上的应差时会发生颤动。

压力范围

选配1

MPa

MPa

L

适用流体

压力规格

额定压力范围

显示／设定压力范围

显示／设定最小单位

耐压力

电源规格

电源电压

消耗电流

保护

精度

显示精度

往复精度

温度特性

开关输出

（SIO模式

时）

输出形式

输出模式

开关动作

最大负荷电流

最大施加电压

内部降下电压(残留电压）

延迟时间

应差 设定点模式

设定区间模式

短络保护

显示

单位

显示方式

画面数

显示色

显示码

动作显示灯

数位式过滤器

耐环境

保护等级

耐电压

绝缘抵抗

使用温度范围

使用湿度范围

规格

配管规格

管连接口径

接流体部材质

质量 本体 管连接口径Rc1/4

插座附导线

通讯规格

（IO-Link

模式时）

IO-Link 型

IO-Link 版本

通讯速度

设定档案

最小周期时间

流程数据长

应要求数据通讯

数据储存功能

事件功能

供应商ID

DC12~24V±10%、且电源涟波10%以下

DC18~30V 含涟波(p-p)10%

NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择

设定点、 设定区间、 错误输出、 输出OFF

正转输出、 反转输出

35mA以下

逆接保护

± 2%F.S. ±1dig（it 周围温度25 ± 3℃时）

AC500V 1分钟　充电部一括与筐体间

50MΩ以上(以DC500 VDC高阻计量测）充电部与外壳之间

动作时及保存时 : 35 ~ 85%RH(不冷凝）

131（0×0083）

Input Data：2byte、 Output Data：0byte

IODD档案

3画面（主画面、副画面×2）

主画面：红／绿、副画面：橙

主画面：4码 7段、 副画面：4码（上位1码11段、其他7段）

开关输出ON 亮灯 OUT1、 OUT2 : 橙

0~30s/0.01s步骤可变

2ms以下、 0 ~ 60s/0.01s步骤可变

从0可变注2)

装备

1.5V以下（负荷电流80mA时）

压力感应部份

四角型密封圈

接头 型密封圈 油脂

6-9

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

采用斜面显示

正面 上部

确保各种安装位置也能清楚看见

下部

3画面高精度数字式常用流体压力传感器 ISE70G/75G/76G/77G 系列

IO-Link 对应

PLC

IO-Link主侧

现场总线 PC

从上位设定

机器

。 临界值

。 动作模式等

读取机器数据

。 开关ON/OFF信号与类比值

。 机器情报

厂商名、产品型号、序号等

。 机器的正常／异常状态

。 电缆线的断线

设定档案（IODD档※）

·厂商名 ·产品型号 ·设定值

※何谓IODD档

IO Device Description档的简称、为了设

定装置或连接主侧所需要的档案。进行

设定,在PC上保存、使用。

IO-Link为国际标准规格IEC61131-9,所规

定的感测器/驱动器与I/O端子间的开放式

通讯介面技术。

稼働状况·机器状态的可视化,利用通讯可远距监视·远距操作

内部回路与配线例

NPN开集极回路2输出设定时 PNP开集极回路2输出设定时 做为IO-Link装置使用时

做为传感器输出机器使用时

2 X M4螺牙深5

负荷 负荷

主侧

*

回路图中的数字所示为插座Pin配列。

配管孔

48

10

（ ）

（26）

24

34

2422

24

70.4

40.1

6

80.4

02:Rc1/4

外形尺寸图 (毫米)

DC12~24V

茶 DC(+)

黑 OUT1

白 OUT2

青 DC(一)

主

回

路－负荷 负荷

DC12~24V

茶 DC(+) 茶L+

黑 OUT1 黑C/Q

白 OUT2 白 OUT2

青 DC(一) 青L(一)

主

回

路

主

回

路

L+

LC/Q

DI

IO-Link对应装置元件 压力感测器

➃

➁

➂

➀

➃

➁

➂

➀

➃

➁

➂

➀

6-10

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

双色显示高精度压力传感器(真空用)

ZSE80F 系列

共同规格

型号

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

模拟输出电压

显示精度

ZSE80F-※-※-※※※-X555

-100 ~ 300kPa

-110 ~ 330kPa

1kPa

1~5V ±3% F.S. 线性度 : 1.5% F.S.

±3% F.S. ±1位 (环境温度 25 ±3 o

C)

特点:

额定压力范围

-100 kPa to 300kPa

应用：

真空破坏检测

(100kPa或以上)

检测水压波动

(200kPa范围) 10

ø3.5

30

30

14.7

8.8 排气口 ø2.6

17

20

20

2×M3×0.5 螺纹深 4

M5×0.8 螺纹深 5

60.5

2 41

25.2

接管口

02 : R1/4

20 2×M3×0.5 螺纹深 4

20

64.8

接管口

A2L: URJ1/4

58.8

接管口

B2L: TSJ1/4

49.5

接管口

C01: Rc1/829.510.3

8.8

17

排气口 ø2.6

M5×0.8 螺纹深 5

ø3.5

10 30

30

46.2

接管口

C01: Rc1/8

X555

接管口

A2: URJ1/4

27.7

8.45

X555

接管口

B2: TSJ1/4

21.7

8.45

X555

X555 X555 X555

26.2

2 50.1

02 : R1/4

8.45

X555

X555

接管口

ZSE80F-※-※-X555 ZSE80F-※L-※-X555

C01

Rc1/8

A2

URJ1/4

B2

TSJ1/4

C01L

Rc1/8

A2L

URJ1/4

B2L

TSJ1/4

接管规格 接管规格

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

配管类型

输出规格

选项一

选项二

选项三

- - -

02 R1/4

C01 Rc1/8

A2 URJ1/4

B2 TSJ1/4

02L R1/4

C01L Rc1/8

A2L URJ1/4

B2L TSJ1/4

直配管

下方向配管

R

T

NPN集电极开路2个输出+

模拟输出/自动转换开关

PNP集电极开路2个输出+

模拟输出/自动转换开关

无记号

P

带单位转换功能

初始值为psi

无记号

A

B

C

D

无

托架安装(A)

托架安装(B)

面板安装

面板安装+前面保护盖

记号 操作手册 校准証书

无记号 ● -

● ●

- -

- ●

K

Y

T

附送标准使用手册

ZSE80F - X555

RoHS

6-11

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

小型压力传感器/舌簧型

IS10系列

RoHS

>

共同规格

型号 IS10-01S

最高使用压力

设定压力范围

迟滞

触点

导线引出方式

使用流体

环境及流体温度

刻度误差

重复精度

保护构造

接管口径

重量

0.1 ~ 0.4MPa

0.7MPa

1a

0.08MPa以下

直接出线式 (线长 : 0.5m)

压缩空气、惰性气体

IP40

R1/8

62g

IS10-01S-6

0.1 ~ 0.6MPa

型号表示方法

连接口径

密封剂

可选项

带

01 R1/8

S

L

6

Z

IS10 01 S

无记号

导线长3m

导线长5m

设定压力范围

0.1~0.6MPa

导线长0.5m

开关特性

24V或以下

50mA

48V

AC2VA, DC2W

40mA

100V

20mA

开关内部回路

舌

簧

开

关

最大AC, DC100V 触点最大容量

使用电压 AC、DC

最大使用电流

设定压力范围

开压力 关压力

0.1 0.2 0.3 0.4

0

0.5

设定压力 (MPa)

使用压力 (MPa)

0.4

0.3

0.2

0.1

迟滞

15

0.2

0.4

0.1

0.3

MPa 52

23 1/8

外形尺寸图 (毫米)

-5˚C ~ 60˚C (未冻结)

±0.05MPa或以下

±0.05MPa或以下

6-12

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

气动式压力传感器

IS3000系列

RoHS

符号

IS3100垫圈密封型 IS3000-02(Rc1/4螺纹型)

IS3110垫圈密封型 IS3010-002(Rc1/4螺纹型)

形式

型号

IS3000-02

IS3100

IS3010-02

IS3110

配管方式

Rc1/4螺纹

垫圈密封型

Rc1/4螺纹

垫圈密封型

开关形式

标准型

微小负载型

开关最小适合负载

160毫安DC5V

1毫安DC5V

接地规格

回路

额定电压(V)

AC125

AC250

DC30

DC125

5

3

4

0.4

1.5

1

0.7

0.5

2.5

1.5

1.3

0.8

3

0.05

2

0.05

3

2

3

0.4

0.1

-

0.1

-

负载

型号 IS3 10

阻性负载 电灯负载 感性负载

非感性负载(A) 感性负载(A) 非感性负载(A)

电机负载 阻性负载

IS3 00 0

1 0

1

常闭 常开 常闭

注)绝缘-100MΩ以上(DC500V量度时) 耐电压-AC1500V50/60Hz1分钟长

常开 常闭 常开 常闭 常开 常闭 常开

型号表示方法

配管方法

开关形式

接管口径

指示灯记号

0

1

Rc1/4 螺纹型

垫圈密封型

0

1

标准型

微小负载型

无记号

02

带垫圈

Rc1/4

无记号

L1

L2

L5

无灯

带氖灯 AC110V

带氖灯/AC220V

(微小负载型无此项)

带发光二极管/DC24V

IS3 0 0 0 02

零件表

名称

调定杆

调定弹簧

杠杆

活塞

开关

底部端盖

O形圈

序号

1

2

3

4

5

6

7

材料

轧钢

轧钢

轧钢

聚缩醛

-

铝压铸

NBR

IS3000-02/IS3010-02 Rc1/4 螺纹型

构造图 / 零件表

SMC

对边

19

5 16 19

22

58

2 x ø5.5

70

5

IS3100, 3110用

垫圈密封安装面

15 18

48

7ø5 ø12.2

G1/2

接电孔

指示灯

IS3100/3100 垫圈密封型

压力调定旋钮

压力源

压力源

堵头塞住

1 2

5

4

6

3

7

共同规格

使用流体

最高使用压力

压力设定范围

环境及流体温度

触点构造

迟滞

重复精度

压缩空气 / 惰性气体

0.8MPa

0.1 ~ 0.7MPa

1ab

0.05MPa或以下

±0.05MPa

-5 ~ 60°C(未冻结)

外形尺寸图 (毫米)

6-13

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

RoHS

[选项]

ISG210-030

ISG210-031

ISG211-030

ISG211-031

ISG220-030

ISG220-031

ISG221-030

ISG221-031

ISG230-030

ISG230-031

ISG231-030

ISG231-031

ISG290-030

ISG291-030

ISG110-030

ISG110-031

ISG111-030

ISG111-031

ISG120-030

ISG120-031

ISG121-030

ISG121-031

ISG130-030

ISG130-031

ISG131-030

ISG131-031

ISG190-030

ISG191-030

共同规格

型号 设定压力范围

MPa

0.02~0.3 ± 0.006

± 0.014

± 0.02

± 2kPa

0.05~0.7

0.1~1.0

-10~-100kPa

迟滞调定范围

MPa

0.015~0.2

0.02~0.35

0.02~0.45

0.02~0.35

0.02~0.45

0.03~0.4

0.03~0.6

0.03~0.4

0.03~0.6

7~53kPa

接触流体

材料

黄铜，磷青铜

黄铜，磷青铜

不锈钢316

不锈钢316

黄铜，磷青铜

黄铜，磷青铜

不锈钢316

不锈钢316

黄铜，磷青铜

黄铜，磷青铜

不锈钢316

不锈钢316

黄铜，磷青铜

不锈钢316

无

有

无

有

无

有

无

有

无

有

无

有

无

无

迟滞指示

刻度

导线连接

方法

(标准型)

直接出线

(防滴型)

电缆套

ø11~ø13

重复精度

标准型 防滴型 MPa

触点–1a1b (标准)、2ab (可选项) 连接口径–R3/8 环境及使用流体温度：5~80˚C (不结露)

注) CE认证：前面减去3C-，后缀-Q，举例ISG110-030-W-Q

型号表示方法

ISG 1 1 0 03 0

ISG19□、29□上

没有迟滞刻度板

防水类别

设定压力范围

连接口径

调整用迟滞刻度板

材质

追记号

无记号

无

有

触

点

(标准)

黄铜、

磷青铜

标准型

(相当IP40)

防滴型

(相当IP44)

1

1 SUS316 W

1a1b 0

2

1

03 R3/8

2

0

1

3

9

0.02~0.3MPa

0.05~0.7MPa

0.1~1MPa

-10~-100kPa

2ab

适合流体

无腐蚀性液体，压缩空气，惰性气体

*环境温度小于80˚C。

蒸气，海水，不腐蚀不锈钢

SUS316的流体 (不超过150˚C)*

接触流体材料

感应流体压力部分

黄铜

SUS316

波纹管

磷青铜

SUS316

使用流体

外形尺寸图 (毫米)

触点构造

电气规格

额定电压

(V)

AC110

AC220

AC440

DC24V

DC48V

DC110

DC220

12

10

6

3

1.5

0.5

0.25

2

1

1

2.5

1.2

0.25

0.1

12

10

3

3

1.5

0.5

0.25

3

1.5

1

2.5

1.25

0.2

0.1

非感性负载(A)

阻性负载

绝缘—100MΩ 以上(DC500V量度时)

耐电压—AC2000V1分钟长

灯负载 感性负载 电机负载

感性负载(A)

1a1b型开关 (标准)

触点 触点

接通

断路

接通

断路

达到调定压力时

2ab型开关

1 2

3 4

1 3

1 2

4 6

4 5

1

2 4

3

N.C

C

2

1

N.C

C

5

4

N.O

3

N.O

6 49 49

A

110 B

93 9

23 19

99

126

9

77

29 7

2

9 18 76

A

110 B

126

99

23 19

77

9 29 7

2

3/8

3 x ø6.5

迟滞调定旋钮

压力调定旋钮

3 x ø6.5

迟滞调定旋钮

压力调定旋钮

49 49

A

B 11076 9 81

23 19

126

99 77 77

2

9 29 7

A

B

93 110

9

23 19

126

99

9 29 7

2

对面宽度C

对面宽度C 对面宽度C

对面宽度C

电压输入

适合应用管径 ø11~13

电压输入

适合应用管径 ø11~13

3 x ø6.5

压力调定旋钮

迟滞调定旋钮

3 x ø6.5

压力调定旋钮

迟滞调定旋钮

MPa MPa

MPa MPa

3/8

型号

(mm)

ISG110-030 (-W)

ISG1 0 ~ 1 0-030(-W)

ISG1 1 ~ 1 1-030(-W)

A

172

169

177

B

54

51

59

C

19

19

23

型号

(mm)

ISG110 ~ 130-031(-W)

ISG111 ~ 131-031(-W)

A

172

177

B

54

59

C

19

23

型号

(mm)

ISG210 ~ 230-031(-W)

ISG211 ~ 231-031(-W)

A

173

178

B

55

60

C

19

23

型号

(mm)

ISG2 0 ~2 0-030(-W)

ISG2 1 ~ 2 1-030(-W)

A

173

178

B

55

60

C

19

23

3/8 3/8

ISG210~291-030(无迟滞指示刻度)

ISG110~191-030(无迟滞指示刻度) ISG110~131-031(带迟滞指示刻度)

ISG210~231-031(带迟滞指示刻度)

标准型

防滴型

符号

机械式压力传感器

ISG系列

6-14

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

微型电子式压力传感器

PS1000 系列

RoHS

[选项]

共同规格

型号

应用

输出方式

使用流体

最大使用压力

设定压力范围

温度特性

重复精度

迟滞

供应电源

消耗电流

漏电流

内部电压降

指示灯

使用温度范围

绝缘

耐电压

接管口径

导线引出方式

世界最小、最轻的电子式压力传感器

PS1000-R06L PS1100-R06L PS1200-R06L

正压用 真空用

供应压力≥设定压力 : 开 供应压力≤设定压力 : 开

压缩空气

1MPa

-0.1~0.45MPa -0.1~0.4MPa -100~0kPa

5~40mA

用途例

适合快换接头

KQ2H/L/T/S/Y06-M5

其它KQ2/KS系列

KJ系列

A

16

13

16

mm

检定气缸使用压力

气源

电磁阀

真空气源

真空用压力传感器

真空供给阀 真空释放阀

真空吸盘吸着确认

吸盘

气缸

气源压力的确认

F.R.L.空气过滤组合元件

压力传感器

压力传感器

输出回路 连接例

开关

主回路

开关

主回路

负载

负载

茶 茶 茶 (+ ) 输入

蓝 蓝

DC12~24V DC12~24V

蓝 ( - ) COM

茶 ( + ) 输入

蓝 ( - ) COM

NPN 应用 PNP 应用

压力设定旋钮

LED显示部分

- +

30

25.5

13

3000

PS1000-R06L

MADE IN JAPAN G

AIRCHECKER

压力 MPa

设定压力

设定压力

以上：开

设定压力

以下：开

t

PS1000 ON

OFF

PS1100 ON

OFF

0.4

0.2

0

–0.1

开关形式

ø6用快换接头插管

30

A10

500kPa

电线与壳体之间AC1000V 50/60HZ(1分钟)

电线与壳体之间2MΩ(DC500V)

ø6mm快换接头插管

直接出线式，防由乙烯基橡皮绝缘软电线，2线 ø2.55, 0.18mm2 电线长3m

±3%F.S.或以下

±1%F.S.或以下

4%F.S.或以下 10%F.S.或以下

DC12~24V(波动±10%以下)

1mA以下

5V以下

ON时红色指示灯亮

0~60°C(未冻结)

注) CE认证: 后缀-Q，举例PS1000-R06L-Q

· 体积小 : 30L x 13W x 10H(mm)

<标准型 : 不包括导线部份>

· 2线式 : NPN, PNP共用

· 安装方便 : 安装在快换接头上

· 开关结构 : 硅片扩散型半导体压力传感器

外形尺寸图 (毫米)

6-15

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

ON OFF

…

可以直接察觉到检测面和

工件之间的缝隙大小!

主界面

距离计量未

达到临界值，

表示零件未

到位。 临界值

缝隙大

传感器输出界面

缝隙小

检测面

检测喷嘴

工件

空气

工件

距离计量

到位 工件 未到位 工件

距离计量达

到临界值，

表示零件到位。

根据工件间的缝隙大小，

距离计量会增减，实际的

距离，虽然无法直接看到，

但是通过子界面，可以直

观地感受到。

子界面

以目视方式确认是否到位！

型号 ISA3-F ISA3-G ISA3-H

适用流体 干燥空气（5μm过滤器精度）

额定距离范围 0.01～0.03mm 0.02～0.15mm 0.05～0.30mm

显示范围、可设定范围（距离的近似表示）※1 0～60※4 10～300※4 30～500※4

最小表示单位（大致距离）※1 1

额定压力范围 100～200kPa

可显示范围（压力值）※2 −20～220kPa

耐压试验压 600kPa

检测喷嘴 ø1.5※3

消耗流量 5L/min以下 12L/min以下 22L/min以下

电源电压 DC24V±10％，交流脉动(p-p10%以内）（带逆接保护）

消耗电流 25mA以下

传感器输出 1输出(NPN或PNP）

最大负载电流 10mA

最大承受电压 26.4V

残留电压 1V以下（10mA时）

短路保护 装备

重复精度 0.005mm 0.010mm 0.020mm

温度特性（25℃基准） 0.010mm 0.015mm 0.030mm

磁滞特性 从0开始可以调节

（工厂出库状态 ：3）

从0开始可以调节

（工厂出库状态 ：20）

显示方式

2画面显示LCD

主界面 ：3位7段、2色显示（橙、绿）

子界面 ：6位7段、1色显示（白）

环境适应性

保护构造 IP67相当

使用温度范围 动作时：0～50℃、保存时 ：-20～70℃（无结露、无冻结）

使用湿度范围 动作时、保存时 ：35～85％RH（无结露）

耐电压 AC1000V以上　50／60Hz 1分钟、所有充电部和框体之间

绝缘电阻 2MΩ以上（DC500V兆欧表）、所有充电部和框体之间

配管规格

配管规格C的场合 供给通口 Rc1/8

检测通口 ø4快换管接头 ø6快换管接头

配管规格F的场合 供给通口 G1/8(根据ISO1179-1）

检测通口 G1/8(根据ISO1179-1）

电缆 带M12-4针接头电缆4芯 ø4 5m

导体外径 ：0.72mm 绝缘体外径 ：1.14mm

质量 113g（不含电缆、快换接头）

规格 符合CE RoHS

1 2 1 2 … n

n位的场合

（请安装在第1、n位上）

2位的场合

（请安装在第1、2位上）

托架安装位置示例

ISA3 G C N M 2

位数

可选项1（电缆）

输出规格

额定距离范围

※1 ：选择额定距离范围F 的场合。

※2 ：选择额定距离范围G、H的场合。

※3 ：根据ISO1179-1

配管规格

※4 ：可选项没有安装在产品

上，一起包装出库。

可选项2（托架）

可选项2（托架）

ISA3 G C N M 2 B L1

控制单元

※7 ：配管规格为C的场合，减压阀的

供气通口为Rc1/4，配管规格为F

的场合，减压阀的供气通口为

G1/4（根据ISO16030）。

带控制单元

无控制单元

L1

带控制单元

减压阀※7

AR20-□02G-1-A

＋

电磁阀

（2通）

VX210ZZ2AX276

供气通口仅限于左侧配管

无记号

B

带托架※4※6

B

带托架※8

无记号

直线式※4

L

直角式※4

供气侧 检测侧

C Rc1/8

ø4快换接头※1

ø6快换接头※2

F G1/8※3

G1/8※3

F 0.01～0.03mm

G 0.02～0.15mm

H 0.05～0.30mm

N NPN输出

P PNP输出

1 1位

2 2位

3 3位

4 4位

5 5位

6 6位

（ ） 压力单位

无记号 带单位切换功能注1）

M SI单位固定注2）

注1）按照新的计量法，在日本国

内不准使用带单位切换功

能的产品。

注2）单位 kPa, MPa

※8 ：控制单元所用托架未组

装，一起包装出库。

0.02 0.15 mm

0.05 0.30 mm

F型 0.01 0.03 mm

额定检测距离 (显示／设定范围：0~60)

(显示／设定范围：10~300)

额定检测距离 (显示／设定范围：30~500)

G

额定检测距离

型

H型

1 2 1 2 … n

型号表示方法

无(DIN导轨安装)※5

※5 : 请另行配备DIN导轨。

※6 : 托架数量，1位配1套，2位以上配2套。

3色显示 数字式位置传感器

ISA3系列

共同规格

RoHS

6-16

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

显示值和距离之间的关系

Y200T-A E210-U01

AR20 02G-1-B

F

Rc1/4

G1/4

ISO16030

ISA-17

VX210 Z Z2A X276

Z Al 1/8 ø4

Z2A DC24V

X276

DIN

ISA-5-

ZS-31-B

ZS-31-C

5m

5m

ISA-5-1

ISA-5-2

ISA-5-3

ISA-5-4

ISA-5-5

ISA-5-6

L

73.0

135.5

173.0

210.5

248.0

285.5

35 5.5

1.25 8 4.5

L

7.535

1

2

3

4

5

6

ISA-16-

ISA-15

ISA-12-

ISA-16-2

ISA-16-3

ISA-16-4

ISA-16-5

ISA-16-6

2

3

4

5

6

ISA-12-A

ISA-12-C

Rc1/8

G1/8

ISA-12-

ISA-15 ISA-14

3×8

3

显示值和距离之间的关系如下所示

3m

5m

1m

显示值

实际距离［mm］

0 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06

60

50

40

30

20

10

0

5m

3m

1m

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

500

450

400

350

300

250

200

150

100

50

0

显示值

实际距离［mm］

3m

5m 1m

0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3

300

250

200

150

100

50

0

显示值

实际距离［mm］

ø3以上

2以上

ø1.5

喷嘴形状

喷嘴推荐采用图1的形状。

由于会影响传感器特性，请不要采用图2所示的倒角。

图1 ：推荐的喷嘴形状

ISA3-F ISA3-G

ISA3-H

检测喷嘴 ：ø1.5

使用配管 ：

F型

ø4×ø2.5 管子1m、3m、5m

G、H型

ø6×ø4管子1m、3m、5m

供给压力 ：200kPa

试

验

条

件

组成零部件

组成零部件(控制单元)

导轨

减压阀 托架(带控制单元用)

带托架隔板 模块式连接件

配管规格

无记号

记号

记号

记号 电压 导线出线方式

带DIN型插座、显示灯

(带过电压保护电路)

规格

·带节流阀

·IN、OUT通口未加工螺纹 主体材质 口径 节流孔径

※根据

节流针阀

带自攻螺钉 (3 x 8) 2个 电磁阀(2通)

主体材质、口径、节流孔径

规格

电压、导线出线方式

连接螺钉

螺钉2个、垫片2个、

螺帽2个为1套

增位密封圈

带密封堵头

托架 带接头电缆

直线式

直角式

带自攻螺钉

个

垫片※

※

※

位数

位数

型号

型号

配管 型号

增位密封圈

带密封堵头

※4位和6位的场合，包含垫片。

连接螺钉(每套2个)

3色显示 数字式位置传感器ISA3系列

6-17

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

3 1

4

2

配管规格 C（ø4快换接头） C（ø6快换接头） F（G螺纹）

H 13 13.6 19

位数 1 2 3 4 5 6

L1 38 76 114 152 190 228

L2 62.5 125 162.5 200 237.5 275

L3 73 135.5 173 210.5 248 285.5

针号 内容

1 DC（+）

2 N.C.

3 DC（-）

4 OUT1

ISA3-□□□-□□□B-L1（带控制单元）

ISA3-□□ ISA3-□□（DIN导轨安装）

ø15

5000 38.5

ø15

30.8

5000 23.5

针号 电缆颜色 内容

1 棕 DC（+）

2 白 N.C.

3 蓝 DC（-）

4 黑 OUT1

3

4 1

2

接头针号

ZS-31-B（带接头电缆）

ZS-31-C（带接头电缆） 3×3.4

28

36

18.6 5.5

24

6.5

51.5

6 9.6 4

1.6

6

2×3.4

28

16

5.5 6

12

4

19.2

22

6.5

16

(1.6)

53.4

30

3.5

33

24 24

15.5

67

29 5.55.5 5.5

12

ISA-14（用于无控制单元的托架） Y200T-A（带托架隔板）

ISA-17（用于带控制单元的托架）

配管规格 C（ø4快换接头） C（ø6快换接头） F（G螺纹）

H 13 13.6 19

位数 1 2 3 4 5 6

L1 55.6 93.6 131.6 169.6 207.6 245.6

L2 136.4 174.4 212.4 250.4 288.4 326.4

30 58.5

3.5

67.4

33

24 2429

5.5

41.6 46.2

12

L1

L2

38

13

检测通口

ISA3-□C:快换管接头

ISA3-□F:G1/8※2

66 11 H

57

1.6

30

52.5 40.4

16

3.1

供给通口

ISA3-□C:Rc1/4

ISA3-□F:G1/4※1

※:安装方法仅限于托架安装。

※1 ：根据ISO16030

※2 ：根据ISO1179-1

5000

5000 38.5 30.8

※:根据ISO1179-1

(25.6 30.8)

18

供给通口

ISA3-□C:Rc1/8

ISA3-□F:G1/8※

6677 H

L1

38

1.8

L3

5.25 L2

检测通口

ISA3-□C:快换管接头

ISA3-□F:G1/8※

18

47

(3.7

※:根据 )

ISO1179-1

38

1.8 L1

供给通口

ISA3-□C:Rc1/8

ISA3-□F:G1/8※

25.6

18

6677 H17

5.511

36

24

6.5

5000

5000 38.5 30.8

检测通口

ISA3-□C:快换管接头

ISA3-□F:G1/8※

47

18 2

3 1

4

2

针号 内容

1 DC（+）

2 N.C.

3 DC（-）

4 OUT1

配管规格 C（ø4快换接头） C（ø6快换接头） F（G螺纹）

H 13 13.6 19

位数 123 4 5 6

L1 38 76 114 152 190 228

外形尺寸图 (毫米)

（托架安装）

3色显示 数字式位置传感器ISA3系列

6-18

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

F 型

0.01 0.03mm

: 0~60)

0.02 0.15mm

: 0~300)

G 型

0.05 0.30mm

: 0~500)

H 型

IO-Link

OUT1

OUT2

4 4 2

3

NPN/PNP

1 NPN、PNP

NPN PNP

※1：

※2：F 3 57 G 20 280 H型，

20 480

※3： 8 0显示。

※4： 29 0显示。

※5：

※6：OUT2

※7：OUT2

※8：

※9：

※10：

※11： 。https://www.smcworld.com

※12：

(5µm

OUT1

OUT2※6

0.01～0.03mm 0.02～0.15mm 0.05～0.30mm 1

1

0～60※2 0～300※2 ※3 0～500※2 ※4

1

100.0～200.0kPa

－20.0～220.0kPa

0.005mm 0.010mm 0.020mm

(25 ) 0.010mm 0.015mm 0.030mm

0 : 3) 0 : 20)

OUT2※7

0.0～200.0kPa

－20.0～220.0kPa

0.1kPa

25 ±0.5％F.S. ±1digit

±2％F.S.

0 ※8

600kPa

ø1.5※9

5L/min 12L/min 22L/min

24V±10%、 10%

IO-Link DC18～30V (p-p)10%

10mA

30.0V

1V 10mA

: 0～50o

C : -20～70o

C

・ ：35～85%RH

AC1000V 50／60Hz 1

2MΩ DC500V

C Rc1/8

ø4 ø6

F G1/8 ISO1179-1)

G1/8 ISO1179-1)

附M12-4 4 ø4 5m

: 0.72mm : 1.14mm

附M12-4 4 ø4 : 1.14mm

2～3 8 ø6 5m、4～6连 : 14 ø6 5m

: 0.50mm : 1.00mm (2～6

113g

CE (EMC ·RoHS

(

V1.1

COM2(38.4kbps)

IODD ※11

4.2ms

Input Data：8byte、Output Data：0byte

对应

对应

对应

ID 131(0x0083)

ISA3-FL ISA3-GL ISA3-HL

25mA

NPN PNP

IP67 ※10

: 9 9 4 3 11 7

: 4 7 2

2 3 : 4 2)

2

ISA3

※1 ： F

※2 ： G、H

※3 ： ISO1179-1

C Rc1/8 ø6 ※2

F G1/8※3

G1/8※3

F 0.01～0.03mm

G 0.02～0.15mm

H 0.05～0.30mm

1 1位

2 2位

3 3位

4 4位

5 5位

6 6位

无记号 注1

M SI

注1）

注2）单位 kPa

※8 :

1 2 1 2 …

L

OUT1

OUT2 2

IO-Link / 1+ 2

NPN or PNP

注2

1、2

n 1、n

n

B

8

L 1

T

集中导线

S

L

无记号

集中导线 4 5

4 5

N

0

1

2

3

4

DC24V

圆型压力表

角型压力表

圆型压力表

角型压力表

无记号

2

减压阀

无压力表

0.4MPa

0.2MPa

MPa单记

控制单元 2

L

R

※5 DIN

※6 ，1位 1 ，2

2

无记号 无 DIN 装 ※5

B

※6

ø4 ※1

共同规格

1 1 1 M12

型号表示方法

额定距离范围

配管规格

输出规格

压力单位

无减压阀

附减压阀

新款数字式位置传感器(IO-Link对应)

ISA3-L系列

RoHS

6-19

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

组成零部件(控制单元)

新款数字式位置传感器(IO-Link对应)ISA3-L系列

减压阀 电磁阀(2通)

Z

B ø

D

Z2A

X276

VX210 Z Z2A X276

AR20 02 1 B

―

E -X2105

G -X2105

螺纹种类 流动方向

无记号

R

流动方向:左→右

流动方向:右→左

无记号

F

Rc

G

选配(压力表的形状) 压力表的最大显示压力

无记号 无记号

无记号

无记号

无压力表

附角型埋入式压力表

(附指示器)

附圆型压力表

(附指示器、MPa单记)注1)

注1) 压力表的安装螺牙为1/8。压力表同包装出货，未组装。

最大显示压力 : 0.4MPa、MPa单记

最大显示压力 : 0.2MPa、MPa单记

最大显示压力 : 0.4MPa

最大显示压力 : 0.2MPa

记号

电压

本体材质

接受订单生产品

内孔径

本体材质-口径-内孔径

电压-导线出线

规格

口径

无螺纹加工

记号 导线出线

记号 规格

附节流阀

节流用针阀

DIN型端子台・附指示灯

(附突波电压保护回路)

构成图

ISA-12-

ø2.6

ISA-14

ZS-31-B

ISA-15

ZS-31-C

ISA-16-

ISA-21-

ISA-20

2

E210-U01

ZS-31-C

ZS-31-B

ISA-15

ISA-12-

ISA-16-

Y200T-A

ø2.6

ISA-17

ISA-20

ISA-21-

2

2 2 1

2 ISA-16-2

3 ISA-16-3

4 ISA-16-4

5 ISA-16-5

6 ISA-16-6

ISA-12- 1

Rc1/8 ISA-12-A

G1/8 ISA-12-C

6 5 4 3 2 1

30.8

ø15

L

260 ±10

222 ±10

184

146 55 5000 43.5 0 33

108

19

23.5

ISA-21-□(集中导线)

2 139

3

4 215

5 253

6 291

单位 : mm

连数 型号

Y200T-A

ISA-18

ø2.6

ISA-15

ISA-16-

ISA-17

ZS-31-B

ZS-31-C

E210-U01

2

ISA-12-

6-20

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.

8.

9.气源处理组合单元

1.气动控制元件

2.

3.气动执行元件

4.电动执行元件

5.真空元件

6.压力及流量检测元件

7.除静电元件

8.气动辅助元件

9.其它元件

ISA3-□□L-□□□B-L □

ISA3-□□L-□□□B(

77

66

H

17

6.5

5.5

11

36

24

1.8 L1

38

7（23）

（41.1）

（33.3）

25.6

18

3 C： 1 8

3 F： 1 8

（49）

47

18 2

3 C：快速接头

3 F： 1 8

3 1

4

2

1 DC（ ）

2 OUT2

3 DC（－）

4 OUT1

配管规格 C（ø4快速接头） C（ø6快速接头） F（G螺纹）

H 13 13.6 19

连数 1 2 3 4 5 6

L1 38 76 114 152 190 228

单位 : mm

ISA3-□□L-□□□(DIN )

（41.1）

（33.3）

H 77

66

1.8 L1

38

7（23）

L3

L2

（30.8）

25.6

18

3 C： 1 8

3 F： 1 8

（49）

（3.7） 18

45

3 C

3 F：

：

1 8 3 1

4

2

1 DC（ ）

2 OUT2

3 DC（－）

H 13 13.6 19 4 OUT1

1 2 3 4 5 6

L1 38 76 114 152 190 228

L2 62.5 125 162.5 200 237.5 275

L3 73 135.5 173 210.5 248 285.5

根据

供给口

供给口

检出口

根据

快速接头

检出口

单位 : mm

配管规格 C（ø4快速接头） C（ø6快速接头） F（G螺纹）

连数

1

3

24 2

2

4

9 33

64.4（ .67.4）

3.5

30 65

5.5

12

41.6 46.2 L1 （23）

66 H 11

57

1.6

52.5 40.4

16

3.1

（49）

30

L2 13

38

IS 3- C：快速接头

IS 3- F： 1 8※2

IS 3- C： 1 4

IS 3- F： 1 4※1

供给口

检出口

ISA3-□□L-□□□B-R □

L1 46.2 41.6 65 30

IS 3- C： 1 4

IS 3- F： 1 4※1

1

3

供给口

ISA3-□□L-□□□B-R □

2

4

0

IS 3- C： 1 4

IS 3- F： 1 4※1

52.5 30

供给口 ※：

※1： ISO16030

※2：根据ISO1179-1

安装方法只限托架安装。

根据

外形尺寸图 (毫米)

新款数字式位置传感器(IO-Link对应)ISA3-L系列

6-21

电

动

执

行

元

件

真

空

元

件

压

力

及

流

量

检

测

元

件

除

静

电

元

件

气

动

辅

助

元

件

其

它

元

件

2.

3.

4.

5.

6.

7.